本发明涉及一种匣固定装置及具有该装置的运载工具。更具体地，本发明涉及用于防止由运载工具所保持的匣振动和掉落的匣固定装置及具有该匣固定装置的运载工具。
通常，用于制造半导体器件的半导体处理设备可连续布置以在半导体衬底上执行各种处理。半导体器件制造工艺的对象(诸如晶圆)可以容纳于匣中的状态提供给各半导体处理设备，或可从各半导体处理设备上卸下。
匣可由oht(overheadhoisttransport，高架提升传输)传输。oht包括沿半导体生产线的顶板(ceiling)设置的行进轨道和保持匣并沿行进轨道行进的运载工具，半导体处理设备连续布置在半导体生产线中。
当运载工具行进时，匣中可能发生振动，振动可能导致匣从运载工具中掉落。因此，运载工具包括用于防止匣振动和掉落的匣固定装置。
匣固定装置具有用于支撑匣的侧表面的中央部分的支撑构件。支撑构件可在用于支撑匣的支撑位置和缩回位置之间往复运动。
然而，当匣的尺寸增加时，即使支撑构件处于缩回位置，匣和支撑构件也可能在匣旋转时相互干扰。因此，匣的旋转可能是令人讨厌的。
由于运载工具的空间限制，改变匣固定装置的缩回位置以防止匣与支撑构件之间的干扰也是困难的。
技术实现要素：
本发明提供一种匣固定装置，即使匣的尺寸改变，匣固定装置也能够在匣旋转期间防止匣和支撑构件之间的干扰。
本发明还提供了一种具有所述匣固定装置的运载工具。
根据本发明的一方面，匣固定装置可包括支撑构件和驱动部，该支撑构件设置在沿顶板的行进轨道行进的运载工具内部，分别支撑由运载工具所保持的匣的侧表面的前端和后端以防止匣振动，并配置成避免匣旋转时的干扰；驱动部用于使支撑构件沿垂直于匣的前后方向的水平方向在支撑位置和缩回位置之间往复运动，其中在支撑位置处支撑构件支撑匣的侧表面，在缩回位置处支撑元件从支撑位置缩回以使匣接收在运载工具中。
根据本发明的一些示例性实施例，匣固定装置还可包括防掉落构件，其固定至支撑构件的下表面并设置在匣的下方以在匣掉落时支撑匣的下表面。
根据本发明的一些示例性实施例，匣固定装置还可包括基板和可动板，基板固定到运载工具内部并且驱动部安装到基板上，可动板堆叠并安装到基板上，以使其可沿水平方向相对于基板移动，且支撑构件安装到可动板上，其中驱动部使可动板沿水平方向移动以使支撑构件往复运动。
根据本发明的一些示例性实施例，匣固定装置还可包括固定销和螺旋弹簧，固定销通过可动板固定至支撑构件，并连接可动板和支撑构件，螺旋弹簧布置在可动板和支撑构件之间以围绕固定销，以减少支撑构件与匣形成接触时产生的撞击。
根据本发明的一些示例性实施例，匣固定装置还可包括多个传感器，其设置在基板上用于感测可动板的位置以检测支撑构件的位置。
根据本发明的一些示例性实施例，支撑构件可由具有低摩擦系数的材料制成，以防止由于支撑构件和匣之间的摩擦而产生颗粒。
根据本发明的一方面，运载工具可包括行进装置、传送装置和匣固定装置，行进装置沿顶板的行进轨道行进，传送装置连接至行进装置并将匣保持在其中以传递匣，匣固定装置包括支撑构件和驱动部，支撑构件设置在传送装置内部，分别支撑所述匣的侧表面的前端和后端以防止所述匣振动，并配置成避免匣旋转时的干扰，驱动部用于使支撑构件沿垂直于匣的前后方向的水平方向在支撑位置和缩回位置之间往复运动，其中在支撑位置处支撑构件支撑匣的侧表面，在缩回位置处支撑构件从支撑位置缩回以使匣接收在传送装置中。
根据本发明的示例性实施例，匣固定装置的支撑构件可支撑匣的侧表面的前端和后端，从而可增加匣的旋转半径。因此，更大尺寸的匣可容纳在运载工具的壳体中，并且大尺寸的匣可在不与支撑构件干扰的情况下旋转。于是，运载工具可容纳和运输各种尺寸的匣。
而且，可动板可在基板和可动板堆叠的状态下通过驱动部相对于基板沿水平方向移动，匣固定装置因此可容易地安装在壳体中，即使运载工具的壳体具有相对较窄的内部空间。
另外，支撑构件的支撑位置可根据匣的尺寸而改变，并可由传感器精确地检测，因此各种尺寸的匣可由支撑构件稳定地支撑。
本发明的以上概述不旨在描述本发明每个所示实施例或每个实施方式。以下具体实施方式和权利要求更具体地举例说明了这些实施例。
附图说明
结合附图，根据以下说明可更详细地理解示例性实施例，其中：
图1是根据本发明一示例性实施例的运载工具的主视图；
图2是如图1所示的匣固定装置的平面图；
图3是如图2所示的可动板和支撑构件之间连接的放大图；和
图4是如图1所示的匣固定装置的操作的平面图。
虽然各种实施例可作出各种变型和替代形式，其细节已通过附图中的示例示出并将详细描述。然而，应理解，本发明并不旨在将要求保护的发明限制于所描述的特定实施例。相反，本发明覆盖了落入在如权利要求所限定的主题的实质和范围内的所有变型、等同方式和替代形式。
具体实施方式
在下文中，将参照附图详细描述匣固定装置及具有该装置的运载工具的具体实施例。然而，本发明可以不同形式实施，不应解释为限于本文所阐述的实施例。相反，提供这些实施例是为了使本发明全面且完整，并向本领域技术人员充分表达本发明的范围。相同的附图标记始终指代相同的元件。在附图中，为了说明清楚，夸大了层和区域的尺寸。
诸如第一、第二等的术语可用于描述各种元件，但由以上术语描述的上述元件不应受到限制。上述术语仅用于将一个元件与另一个区分开来。例如，在不背离本发明范围的情况下，第一组件可类似地命名为第二组件，且第二组件也可命名为第一组件。
本文中使用的措辞仅用于描述特定示例实施例的目的，并不旨在限制本发明的构思。如本文所使用的，单数形式“一”和“该”旨在包括复数形式，除非上下文另外清楚地指出。应进一步理解，术语“包括”和/或“包含”在用于本说明书中时指定所述特征、整数、步骤、操作、元件和/或组件的存在，但不排除一个或多个其他特征、整数、步骤、操作、元件、组件和/或其群组的存在或添加。
除非另外定义，否则本文使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)具有与本发明构思所属领域的普通技术人员通常理解相同的含义。应进一步理解，诸如常用字典中定义的那些术语应解释为具有与其在相关领域上下文中含义相一致的含义，不应以理想化或过度形式化的意义解释，除非在本文中明确地如此定义。
图1是根据本发明一示例性实施例的运载工具的主视图。
参照图1，运载工具400可具有行进装置100、传送装置200和匣固定装置300。
行进轮110可通过附加的驱动部(未示出)转动，由此行进装置100可沿顶板上的行进轨道10行进。
传送装置200可连接至行进装置100并保持和传送其中的匣20。
传送装置200可包括壳体210、移动部220、升降部230和夹持部240。
壳体210以悬挂方式连接至行进装置100的下部。壳体210可在下侧和前侧敞开以便于匣20的垂直和水平移动。在此，前侧方向可以是垂直于运载工具400行进方向的方向。
移动部220可设置在壳体210的内部上表面上并可水平移动通过壳体210敞开的前侧。
升降部230可固定至移动部220的下表面。升降部230可通过缠绕或松开带232使夹持部240沿垂直方向移动。
夹持部240可连接至带232的下端部分，并可夹持匣20。
由夹持部240所夹持的匣20可通过升降部230垂直移动，并可通过移动部220水平移动。
匣固定装置300可防止匣20由于运载工具400行进而引起的振动和掉落。匣固定装置300可分别设置在壳体210内部的两侧。
图2是如图1所示的匣固定装置的平面图，图3是如图2所示在可动板和支撑构件之间的连接的放大图，图4是如图1所示的匣固定装置的操作的平面图。
参照图2至图4，匣固定装置300可包括支撑构件310、防掉落构件320和驱动部330。
支撑构件310可设置在运载工具400的内部，具体而言在壳体210的内部。可设置一对支撑构件310以分别支撑由夹持部240所夹持的匣20的侧表面的前端和后端。此时，支撑构件310可支撑匣20的侧表面的下端。由于支撑构件310支撑匣20的侧表面，因此可防止匣20振动。
支撑构件310可在前后方向上彼此隔开，使得匣20的侧表面的前端和后端由支撑构件310支撑。由于匣20的侧边缘部分可在由夹持器240夹持的匣20旋转时通过支撑构件310之间的空间，与一个支撑构件支撑匣20的侧表面的中央部分的传统技术相比，匣20的旋转半径(r)可增大。
由于匣20的旋转半径(r)增大，相对较大尺寸的匣20可接收在壳体210中。而且，大尺寸的匣20可在不与支撑构件310相干扰的情况下旋转。因此，运载工具400可接收和传送各种尺寸的匣20。
同时，支撑构件310可由具有低摩擦系数的材料制成。材料的示范例包括特氟龙、尼龙等。因此，可使支撑构件310与匣20之间的摩擦力最小化。于是，可防止由于支撑构件310与匣20之间摩擦而产生颗粒。
防掉落构件320可固定到支撑构件310的下表面。例如，一对防掉落构件320可分别固定到支撑构件310的下表面。或者，防掉落构件320可沿匣20的前后方向延伸并同时固定到支撑构件310的下表面。
防掉落构件320可布置在匣20下面以在运载工具400行进期间当匣20掉落时支撑匣20的下表面。因此，即使匣20脱离夹持部240，也可防止匣20掉落。
驱动部330可使支撑构件310在支撑位置和缩回位置之间往复移动。例如，驱动部330可使支撑构件310沿垂直于前后方向的水平方向移动。
支撑位置是支撑构件310支撑匣20的侧表面的位置。缩回位置是从支撑位置缩回使得匣20被抬起并接收在运载工具400的壳体210中的位置。
由于防掉落构件320固定至支撑构件310，当支撑构件310通过驱动部330移动时，防掉落构件320与支撑构件320一起移动。
匣固定装置300还可包括基板340、可动板350、引导构件360和连接构件370。
基板340可固定至运载工具400的内侧表面，具体而言是壳体210的内侧表面。
可动板350可堆叠在基板340上并联结至基板340，以便相对于基板340沿水平方向可移动。可动板350可设置在基板340的下部或上部。
引导构件360可设置在基板340与可动板350之间以引导可动板350水平移动。特别地，引导构件360可在前后方向的两端上设置在基板340与可动板350之间。因此，引导构件360能够稳定地引导可动板350水平移动。另外，引导构件360可如图2所示配置以便不与匣20的旋转相干扰。
连接构件370可连接可动板350和支撑构件310。
连接构件370可分别包括固定销372和螺旋弹簧374。
固定销372可通过从可动板350的上表面向上突出的突出物352固定至支撑构件310。此时，固定销372可设置成可相对于突出物352移动。这里，固定销372可在与固定至支撑构件310的一端相对的另一端处具有锁定突出物。因此，能够防止固定销372沿支撑构件310的固定方向与突处物352分离。
螺旋弹簧374可设置在可动板350的突出物352与支撑构件310之间以围绕固定销372。当支撑构件310与匣20形成接触时，螺旋弹簧374可在固定销372移动通过突出物352时收缩。因此，螺旋弹簧374可减小由于支撑构件310与匣20接触所引起的碰撞。
驱动部330可安装在基板340上并使可动板350沿水平方向移动从而使支撑构件310在支撑位置和缩回位置之间往复移动。
更特别地，驱动部330可包括马达332、带334、滚珠丝杠336和连接块338。
马达332安装在基板340上并提供用于移动可动板350的旋转力。马达332可根据可动板350的移动距离步进式旋转某一角度。
带334可将马达332的旋转力传递至滚珠丝杠336。
滚珠丝杠336可设置在基板34沿前后方向的两端中的任何一个上。因此，能够防止滚珠丝杠336与旋转的匣20相干扰。
滚珠丝杠336的螺杆轴通过带334传递的旋转力而旋转，于是螺母随着螺杆轴的旋转而直线移动。
连接块338将可动板350与滚珠丝杠336的螺母连接。于是，在螺母直线移动时，可动板350随螺母直线移动。
只要驱动部330能够在基板340和可动板350堆叠的状态下使可动板350沿水平方向相对于基板340移动，驱动部330可改变为各种形式。
由于驱动部330能够使可动板350在基板340和可动板350堆叠的状态下相对于基板340沿水平方向移动，引导构件360和滚珠丝杠336设置在基板34沿前后方向的两端上，因此能够在狭窄的空间内实现使支撑构件310移动的行程。
匣固定装置300还可包括多个传感器380。
传感器380可沿水平方向设置在基板340上。当匣20的尺寸改变时，支撑构件310的支撑位置发生变化。因此，传感器380可在多个支撑位置与缩回位置之间隔开一定距离。
由于支撑构件310与基板340沿水平方向隔开，传感器380难以直接检测支撑构件310。于是，传感器380可感测可动板350的位置以检测支撑构件310的位置。
或者，传感器380可感测连接块338的位置，或者可感测引导构件360中滑块的位置以检查支撑构件310的位置。
当传感器380设置在基板340上以准确地感测支撑构件310的支撑位置和缩回位置时，匣固定装置300的行程可使用驱动装置330的马达332和传感器380精确地实现以便支撑各种尺寸的匣20。
尽管已参照具体实施例描述了匣固定装置及具有该匣固定装置的运载工具，但其不限于此。因此，本领域技术人员容易理解的，在不脱离本发明由所附权利要求限定的实质和范围的情况下，可做出各种修改和变化。