非易失性半导体存储器件的制作方法

文档序号:15810384发布日期:2018-11-02 22:09阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供一种非易失性半导体存储器件,包括MOS晶体管以及依次沉积于MOS晶体管的漏极区上方的阻挡层、浮栅、隧穿氧化层和控制栅;其中,栅极区连接至工作电压,当栅极区在工作电压下,源极区至漏极区的沟道导通,使漏极区的电压一致于源极区;源极区连接至第一电压,控制栅连接至第二电压,当第一电压和第二电压使隧穿氧化层两端的电势差超过阈值,隧穿氧化层被隧穿;以及阻挡层用于阻挡浮栅中的电荷向漏极区流失。本发明的技术方案可以提供一种基于DRAM架构的新型非易失性存储器件,实现多位非易失性数据存储功能。

技术研发人员:周步康;张城绪
受保护的技术使用者:长鑫存储技术有限公司
技术研发日:2018.07.18
技术公布日:2018.11.02
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