技术总结
本实用新型提供一种气体激光装置,通过在气体激光装置的壳体内部靠近输出端口的位置设置能够拆装的内部光路管,且用于安装该内部光路管的空间能够容纳用于检测激光特性的检测装置。这样,在需要对气体激光装置输出的激光的特性进行检测时,不需要拆卸具有反射镜的外部光路管,因此不需要花费时间进行光轴的调整,另外,也不需要在气体激光装置的外部预留设置检测装置的空间。从而,能够方便快速的设置检测装置。
技术研发人员:若林理
受保护的技术使用者:极光先进雷射株式会社
技术研发日:2018.02.26
技术公布日:2018.10.12