一种硅片清洗用周转盘的制作方法

本实用新型涉及硅片清洗设备技术领域，具体为一种硅片清洗用周转盘。

背景技术：

目前，硅片清洗周转盘是硅片清洗过程中用来暂时存放脱胶后硅片的辅助工具。现有的硅片清洗周转盘子为长方形塑料盘，使用时将塑料盘子中放满水，然后直接将脱胶后的硅片竖直放入盘中，并将硅片的一面斜靠在塑料盘边沿内侧，硅片与塑料盘边沿内侧呈线接触，这种结构堆叠硅片数量少还能使用，若堆叠的硅片数量较多，硅片叠在一起产生的压力较大，作用在最底下紧靠塑料盘边沿内侧的硅片上，容易造成硅片碎裂。同时由于塑料盘底部比较光滑，斜靠的硅片容易滑倒，从而使得硅片沉入塑料盘底部而难以取出，且容易产生碎片且清洗不便。

技术实现要素：

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种硅片清洗用周转盘，具备摆放方便，清洗简便和防破碎等优点，解决了上述背景技术中所提出的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种硅片清洗用周转盘，包括底座，所述底座的上表面中部开设有电机槽，所述电机槽内固定连接有电机，所述电机槽的上方固定连接有防护框，所述电机的输出端贯穿防护框并延伸至防护框的上方与转轴固定连接，所述转轴的表面中部贯穿有旋转杆，所述旋转杆远离转轴的一端固定连接有转盘，所述转盘的上表面活动连接有周转盘外身，所述周转盘外身内壁的中部固定连接有限位缓冲柱，所述限位缓冲柱包括支撑杆、限位块、第一橡胶垫和第二橡胶垫，所述支撑杆的上表面固定连接限位块，所述限位块的一侧固定连接有第一橡胶垫，所述限位块的另一侧固定连接有第二橡胶垫，所述周转盘外身的两侧均固定连接有把手。

优选的，所述底座的下表面固定连接有减震垫。

优选的，所述把手的表面中部套装有防滑套，所述防滑套的外表面开设有防滑纹。

优选的，所述限位缓冲柱的数量为六个，且六个所述限位缓冲柱两两间距相等。

优选的，所述周转盘外身内部的下表面开设有漏水口。

优选的，所述限位块的内部设置有缓冲弹簧，且缓冲弹簧的两端分别与第一橡胶垫和第二橡胶垫搭接。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种硅片清洗用周转盘，具备以下有益效果：

1、该硅片清洗用周转盘，通过电机、转轴、旋转杆、转盘和周转盘外身的设置，电机带动转轴转动，进而带动旋转杆和转盘转动，从而使得周转盘外身进行旋转，使得硅片在清洗后通过电机转动将硅片进行甩干，同时清洗时旋转，可使得清水的清洗角度更加全面，清洗更加便捷。

2、该硅片清洗用周转盘，通过限位缓冲柱的设置，限位块能有效起到限位的作用，第一橡胶垫和第二橡胶垫能起到保护硅片的效果，防止硅片在清洗过程中受到挤压而破碎，通过缓冲弹簧的设置使得硅片受到的冲击大大的减小，从而达到保护的目的。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型俯视结构示意图；

图3为本实用新型限位缓冲柱结构示意图；

图4为本实用新型图1中A处结构放大示意图。

图中：1底座、2电机槽、3电机、4防护框、5转轴、6旋转杆、7转盘、8周转盘外身、9限位缓冲柱、901支撑杆、902限位块、903第一橡胶垫、904第二橡胶垫、905缓冲弹簧、10把手、11减震垫、12防滑套、13漏水口。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1至图2，本实用新型提供一种技术方案：一种硅片清洗用周转盘，包括底座1，底座1的下表面固定连接有减震垫11，减震垫11能有效的起到减震的作用，底座1的上表面中部开设有电机槽2，电机槽2内固定连接有电机3，电机槽2的上方固定连接有防护框4，防护框4能有效的保护电机3，防止电机3收到外力的冲击，导致电机3损坏，从而提高电机3的使用寿命。电机3的输出端贯穿防护框4并延伸至防护框4的上方与转轴5固定连接，转轴5的表面中部贯穿有旋转杆6，旋转杆6远离转轴5的一端固定连接有转盘7，转盘7的上表面活动连接有周转盘外身8，周转盘外身8内部的下表面开设有漏水口13，漏水口13用于排出清洗后的废水，周转盘外身8内壁的中部固定连接有限位缓冲柱9，限位缓冲柱9的数量为六个，且六个限位缓冲柱9两两间距相等，限位缓冲柱9包括支撑杆901、限位块902、第一橡胶垫903和第二橡胶垫904，支撑杆901的上表面固定连接限位块902，限位块902的一侧固定连接有第一橡胶垫903，限位块902的另一侧固定连接有第二橡胶垫904，限位块902的内部设置有缓冲弹簧905，且缓冲弹簧905的两端分别与第一橡胶垫903和第二橡胶垫904搭接，通过限位缓冲柱9的设置，限位块902能有效起到限位的作用，第一橡胶垫903和第二橡胶垫904能起到保护硅片的效果，防止硅片在清洗过程中受到挤压而破碎，通过缓冲弹簧的设置使得硅片受到的冲击大大的减小，从而达到保护的目的，周转盘外身8的两侧均固定连接有把手10，把手10的表面中部套装有防滑套12，防滑套12的外表面开设有防滑纹，能有效的起到防滑的作用，该硅片清洗用周转盘，通过电机3、转轴5、旋转杆6、转盘7和周转盘外身8的设置，电机3带动转轴5转动，进而带动旋转杆6和转盘7转动，从而使得周转盘外身8进行旋转，使得硅片在清洗后通过电机3转动将硅片进行甩干，同时清洗时旋转，可使得清水的清洗角度更加全面，清洗更加便捷。

该文中出现的电器元件均与外界的主控器及220V市电电连接，并且主控器可为计算机等起到控制的常规已知设备。

综上所述，该硅片清洗用周转盘，通过电机3、转轴5、旋转杆6、转盘7和周转盘外身8的设置，电机3带动转轴5转动，进而带动旋转杆6和转盘7转动，从而使得周转盘外身8进行旋转，使得硅片在清洗后通过电机3转动将硅片进行甩干，同时清洗时旋转，可使得清水的清洗角度更加全面，清洗更加便捷，通过限位缓冲柱9的设置，限位块902能有效起到限位的作用，第一橡胶垫903和第二橡胶垫904能起到保护硅片的效果，防止硅片在清洗过程中受到挤压而破碎，通过缓冲弹簧的设置使得硅片受到的冲击大大的减小，从而达到保护的目的。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。