1.一种真空抽气装置，包括真空泵(1)、真空腔室(2)，真空泵(1)与真空腔室(2)之间通过抽气管道(3)连通，真空腔室(2)的通气口设置挡板阀(4)，其特征在于，
所述抽气管道(3)上设置有电磁充气阀(6)，所述电磁充气阀(6)设有充气嘴(61)，所述电磁充气阀(6)断电状态下，所述充气嘴(61)处于常开状态。
2.根据权利要求1所述的真空抽气装置，其特征在于，所述电磁充气阀(6)通过三通管(7)与所述抽气管道(3)连接。
3.根据权利要求2所述的真空抽气装置，其特征在于，所述抽气管道(3)包括第一直管(31)、弯管(32)、第二直管(33)；
所述真空泵(1)的进气口通过所述第一直管(31)、弯管(32)、第二直管(33)、挡板阀(4)与所述真空腔室(2)连通；
所述电磁充气阀(6)通过所述三通管(7)连接于所述第一直管(31)上。
4.根据权利要求3所述的真空抽气装置，其特征在于，所述电磁充气阀(6)与所述真空泵(1)的进气口之间的距离小于等于150mm。
5.根据权利要求3所述的真空抽气装置，其特征在于，所述第二直管(33)上设有波纹管(8)。
6.根据权利要求1所述的真空抽气装置，其特征在于，所述电磁充气阀(6)为电磁高真空充气阀。