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一种真空抽气装置的制作方法
文档序号:17969135
发布日期:2019-06-21 23:08
阅读:
来源:国知局
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一种真空抽气装置的制作方法
技术总结
本实用新型公开了一种真空抽气装置,包括真空泵、真空腔室,真空泵与真空腔室之间通过抽气管道连通,所述抽气管道上设置电磁充气阀,所述电磁充气阀设有充气嘴,所述电磁充气阀断电状态下,所述充气嘴处于常开状态;本实用新型的真空抽气装置,能够有效避免泵油返入抽气管道,进而避免泵油进入真空腔室,且适用范围广泛。
技术研发人员:
刘二强;马文军;张银库;潘二锋;徐日辉;王富卫;李冰
受保护的技术使用者:
山西米亚索乐装备科技有限公司
技术研发日:
2018.09.21
技术公布日:
2019.06.21
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