一种用于移动石墨舟上半导体晶粒的装置的制作方法

本实用新型涉及半导体晶粒移动设备领域，具体为一种用于移动石墨舟上半导体晶粒的装置。

背景技术：

现有的半导体晶粒生产加工工艺过程中经常需要将半导体晶粒从石墨舟搬移到其他物体上，在搬移过程中，吸盘座常会与石墨舟发生磕碰，容易造成晶粒被压坏，移动过程中没有设置暂时存放的结构，容易造成晶粒的脱落，吸气软管与负压箱之间的连接处容易出现松动，导致负压吸引失败，导致无法移动半导体晶粒。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种用于移动石墨舟上半导体晶粒的装置，以解决上述背景技术中提出的容易造成晶粒被压坏，移动过程中没有设置暂时存放的结构以及吸气软管与负压箱之间的连接处容易出现松动的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于移动石墨舟上半导体晶粒的装置，包括底板、软胶套管、吸盘和内筒，所述底板的底端均匀安装有移动轮，所述底板顶端的左侧固定安装有负压箱，且负压箱的左侧设置有漏气管，所述漏气管的内部安装有漏气塞，所述负压箱的正面设置有抽气管，所述负压箱的顶端固定安装有连接管道，所述连接管道的顶端设置有连接头，且连接头的外壁包裹有箍环，所述连接头的顶端设置有气管软管，所述负压箱顶端的右侧固定安装有放置架，且放置架的顶端设置有手握管，所述气管软管贯穿手握管，所述手握管的外壁包裹有防滑套，所述手握管顶端的左侧固定安装有滑动套，所述气管软管远离连接头的一端安装有吸盘，所述滑动套的内部设置有滑动杆，所述吸盘的开口端固定安装有硅胶圈，所述吸盘的内部设置有棉絮包，所述底板顶端的左侧固定安装有外套筒，且外套筒的顶端设置有放置片，所述放置片的底端固定安装有内筒，所述放置片的底端设置环形块，所述外套筒的顶端设置有环形槽，所述环形槽与环形块连接。

优选的，所述连接头的内腔镶嵌有软胶套管，所述连接管道顶端与软胶套管连接，所述连接头底端的两侧皆设置有第一固定块，所述连接管道的两侧皆固定安装有第二固定块。

优选的，所述软胶套管内腔的形状呈圆台状，所述连接管道顶端的形状呈圆台状。

优选的，所述滑动套内腔的直径与滑动杆的直径相等，所述滑动杆与滑动套构成滑动式结构。

优选的，所述滑动杆与吸盘之间设置有铰接轴，所述滑动杆与吸盘构成转动式结构。

优选的，所述外套筒的两侧均匀设置有第一通风口，所述内筒的外壁均匀设置有第二通风口。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该用于移动石墨舟上半导体晶粒的装置通过调节吸盘的角度以及在吸盘内腔和边沿分别增加硅胶圈和棉絮包，避免吸盘将半导体晶粒压坏，在底板顶端增加结构稳定合理的存储结构，便于短时间存放半导体晶粒，提升实用性，加强连接头与连接管道之间的连接，避免连接头和连接管道出现松动，保障装置的稳定性。

(1)通过滑动杆在滑动套内部滑动，使得吸盘发生偏转，使得吸盘更好的对准石墨舟内部，避免与石墨舟出现磕碰，同时在吸盘内部设置有棉絮包以及边沿处添加硅胶圈，避免吸盘将半导体晶粒压坏。

(2)增加有内筒和外套筒，内筒和外套筒皆设置通气结构，避免吸盘将内筒吸动，可以将晶粒放入外套筒内部进行短暂的存放，避免晶粒掉落丢失，加强实用性。

(3)通过软胶套管与连接管道的紧密对接和箍环对连接头的挤压避免出现漏气的现象，同时利用第一固定块与第二固定块的连接加强连接管道与连接头之间连接的稳定性，避免连接头与连接管道之间出现松动，保障装置的稳定性。

附图说明

图1为本实用新型的结构正视示意图；

图2为内筒和外套筒的结构正视剖面示意图；

图3为吸盘的结构正视剖面示意图；

图4为硅胶圈和棉絮包的结构侧视示意图；

图5为连接管道和连接头的结构正视剖面示意图；

图6为滑动杆与吸盘的工作状态示意图。

图中：1、底板；2、移动轮；3、负压箱；4、漏气管；5、漏气塞；6、连接管道；7、连接头；8、箍环；9、软胶套管；10、第一固定块；11、第二固定块；12、气管软管；13、手握管；14、防滑套；15、滑动套；16、吸盘；17、滑动杆；18、放置架；19、硅胶圈；20、棉絮包；21、外套筒；22、放置片；23、内筒；24、第一通风口；25、第二通风口；26、环形槽；27、环形块；28、抽气管。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-5，本实用新型提供的一种实施例：一种用于移动石墨舟上半导体晶粒的装置，包括底板1、软胶套管9、吸盘16和内筒23，底板1的底端均匀安装有移动轮2，底板1顶端的左侧固定安装有负压箱3，负压箱3的具体结构及工作原理均采用本领域现有技术，故不再详细赘述，且负压箱3的左侧设置有漏气管4，漏气管4的内部安装有漏气塞5，负压箱3的正面设置有抽气管28，负压箱3的顶端固定安装有连接管道6，连接管道6的顶端设置有连接头7，且连接头7的外壁包裹有箍环8。

优选的，连接头7的内腔镶嵌有软胶套管9，连接管道6顶端与软胶套管9连接，连接头7底端的两侧皆设置有第一固定块10，连接管道6的两侧皆固定安装有第二固定块11，首先将软胶套管9与连接管道6对接，并向下按压连接头7，使得软胶套管9完全包裹连接管道6的顶端，然后通过螺栓将第一固定块10与第二固定块11进行连接，加强连接头7与连接管道6的固定，接着将箍环8包裹在连接头7底端管壁，横向加强连接头7与连接管道6之间的固定，避免连接头7与连接管道6之间发生松动甚至脱落，保障整体装置的稳定性。

更加优选的，软胶套管9内腔的形状呈圆台状，连接管道6顶端的形状呈圆台状，软胶套管9内腔形状与连接管道6顶端的形状相同，便于连接管道6与软胶套管9之间的对接，同时软胶套管9与连接管道6对接后，软胶套管9与连接管道6之间不易存在缝隙，加强连接管道6与软胶套管9之间的密封性。

连接头7的顶端设置有气管软管12，负压箱3顶端的右侧固定安装有放置架18，且放置架18的顶端设置有手握管13，气管软管12贯穿手握管13，手握管13的外壁包裹有防滑套14，手握管13顶端的左侧固定安装有滑动套15，气管软管12远离连接头7的一端安装有吸盘16，滑动套15的内部设置有滑动杆17。

优选的，滑动套15内腔的直径与滑动杆17的直径相等，滑动杆17与滑动套15构成滑动式结构，大拇指推动滑动杆17时，滑动杆17在滑动套15内部进行滑动，操作简单，结构合理。

优选的，滑动杆17与吸盘16之间设置有铰接轴，滑动杆17与吸盘16构成转动式结构，当滑动杆17向右侧伸长时，吸盘16顺时针发生偏转，便于吸盘16对准石墨舟的槽腔，避免吸盘16与石墨舟出现磕碰。

吸盘16的开口端固定安装有硅胶圈19，吸盘16的内部设置有棉絮包20，底板1顶端的左侧固定安装有外套筒21，且外套筒21的顶端设置有放置片22，放置片22的底端固定安装有内筒23，放置片22的底端设置环形块27，外套筒21的顶端设置有环形槽26，环形槽26与环形块27连接。

优选的，外套筒21的两侧均匀设置有第一通风口24，内筒23的外壁均匀设置有第二通风口25，外套筒21与内筒23通过第一通风口24和第二通风口25与外界空气相连通，当吸盘16依旧处在吸附时，将吸盘16放入内筒23内部，不会将内筒23整体吸附，加强结构的稳定性。

工作原理：使用时，首先将抽气管28外接负压泵，抽气管28与负压泵的具体连接结构采用本领域现有技术，故不再详细赘述，然后将手握管13从放置架18顶端取下，大拇指推动滑动杆17时，滑动杆17在滑动套15内部进行滑动，滑动杆17向右侧伸长通过铰接轴带动吸盘16顺时针发生偏转，便于吸盘16对准石墨舟的槽腔，避免吸盘16与石墨舟出现磕碰，当硅胶圈19或棉絮包20与石墨舟内部的半导体晶体发生接触时，硅胶圈19和棉絮包20皆有一定的缓冲效果，避免将半导体晶粒压坏。

当需要短时间存放半导体颗粒时，首先将手握管13伸入内筒23内部，使得手握管13前端的吸盘16放入内筒23底端，然后将漏气塞5从漏气管4内部扣出，负压箱3通过漏气管4与外界大气连通，气管软管12不再吸气，使得棉絮包20上吸引的半导体晶粒掉落在内筒23底端，可以将晶粒放入外套筒21内部进行短暂的存放，避免晶粒掉落丢失，加强实用性。

当连接连接头7和连接管道6时，首先将软胶套管9与连接管道6对接，并向下按压连接头7，使得软胶套管9完全包裹连接管道6的顶端，然后通过螺栓将第一固定块10与第二固定块11进行连接，加强连接头7与连接管道6的固定，接着将箍环8包裹在连接头7底端管壁，横向加强连接头7与连接管道6之间的固定，避免连接头7与连接管道6之间发生松动甚至脱落，保障整体装置的稳定性。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。