一种生产加工用晶圆导送装置的制作方法

本实用新型涉及晶圆导送技术领域，尤其涉及一种生产加工用晶圆导送装置。

背景技术：

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品，晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅，二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅。

中国专利公开（公告）号CN207883668U,公开了一种晶圆加工用导送装置,该结构简单、造价低廉,协同工作，定位准确,可长时间工作，工作距离长、工作角度大、使用效果好,结构简单、定位准确、使用效果好等优点，但是该晶圆加工用导送装置的结构太过简单，以及该晶圆加工用导送装置不能移动，在搬运过程中较为费力，为此，我们提出一种生产加工用晶圆导送装置，来解决现有技术的不足。

技术实现要素：

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出一种生产加工用晶圆导送装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种生产加工用晶圆导送装置，包括底座，所述底座的上表壁固定连接有安装座，所述安装座的上表壁开设有凹槽，所述安装座的内部固定连接有电机，所述电机的输出端固定连接有固定杆，所述固定杆远离电机输出端的一端与转盘底部开设的连接槽固定连接，所述转盘的上表壁固定连接有支撑座，所述底座的两侧均固定连接有连接杆，所述连接杆远离底座的一端固定连接有滚轮，所述支撑座的上表壁固定连接有固定座，所述固定座两侧的内部均开设有滑槽，所述滑槽的内部均固定连接有滑杆，所述滑杆的数量为两个，且两个滑杆的表面分别滑动连接有第一滑块和第二滑块，所述第一滑块和第二滑块的底部分别固定连接有第一液压杆和第二液压杆，所述第一液压杆和第二液压杆远离第一滑块和第二滑块的一端分别与第一液压缸和第二液压缸的输出端固定连接，所述第一液压缸和第二液压缸均固定连接在固定座底部的两侧，所述第一滑块和第二滑块相背的一侧均固定连接有机械臂，所述机械臂远离第一滑块和第二滑块的一端通过固定螺栓固定连接有连接座，所述连接座的底部均固定连接有气动吸盘，所述电机与外部电源电性连接。

优选的，所述滚轮的数量为四个，且四个滚轮以底座的中心轴中心对称。

优选的，所述电机的底部固定连接有放置座。

优选的，所述凹槽的形状为圆形，且凹槽的半径大于转盘的半径。

优选的，所述机械臂的表面涂有防锈漆。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

（1）本实用新型设置了第一液压缸、第二液压缸和电机，利用第一液压缸和第二液压缸推动固定座上的第一滑块和第二滑块，第一滑块和第二滑块的表面均固定连接有机械臂，便于在使用时调节上下的高度，再利有电机带动转盘转动，使得该生产加工用晶圆导送装置可以进行旋转，通过两个机械臂进行来回为晶圆导送，大大提高了该生产加工用晶圆导送装置的工作效率。

（2）本实用新型设置了滚轮，在该生产加工用晶圆导送装置的底部安装有滚轮，方便工作人员搬运时移动，减少了劳动力的搬运，提高了生产效率，大大提高了该生产加工用晶圆导送装置的实用性。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的滑杆结构示意图；

图3为本实用新型的A处放大图。

图中：1、底座；2、连接杆；3、滚轮；4、安装座；5、电机；501、放置座；6、固定杆；7、连接槽；8、转盘；9、支撑座；10、凹槽；11、固定座；12、滑槽；13、滑杆；14、第一滑块；15、第一液压缸；16、第二液压缸；17、第一液压杆；18、第二液压杆；19、第二滑块；20、机械臂；21、固定螺栓；22、连接座；23、气动吸盘。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参照图1-图3所示，本实用新型提供一种技术方案：一种生产加工用晶圆导送装置，包括底座1，底座1的上表壁固定连接有安装座4，安装座4的上表壁开设有凹槽10，安装座4的内部固定连接有电机5，电机5的型号为5IK90RGU-CF，电机5的输出端固定连接有固定杆6，固定杆6远离电机5输出端的一端与转盘8底部开设的连接槽7固定连接，转盘8的上表壁固定连接有支撑座9，底座1的两侧均固定连接有连接杆2，连接杆2远离底座1的一端固定连接有滚轮3，支撑座9的上表壁固定连接有固定座11，固定座11两侧的内部均开设有滑槽12，滑槽12的内部均固定连接有滑杆13，滑杆13的数量为两个，且两个滑杆13的表面分别滑动连接有第一滑块14和第二滑块19，第一滑块14和第二滑块19的底部分别固定连接有第一液压杆17和第二液压杆18，第一液压杆17和第二液压杆18的型号均为HOB40，第一液压杆17和第二液压杆18远离第一滑块14和第二滑块19的一端分别与第一液压缸15和第二液压缸16的输出端固定连接，第一液压缸15和第二液压缸16均固定连接在固定座11底部的两侧，第一滑块14和第二滑块19相背的一侧均固定连接有机械臂20，通过两个机械臂20进行来回为晶圆导送，机械臂20远离第一滑块14和第二滑块19的一端通过固定螺栓21固定连接有连接座22，连接座22的底部均固定连接有气动吸盘23，电机5与外部电源电性连接。

本实施例中，优选的，滚轮3的数量为四个，且四个滚轮3以底座1的中心轴中心对称，便于该生产加工用晶圆导送装置移动，方便搬运。

本实施例中，优选的，电机5的底部固定连接有放置座501，通过设置放置座501，便于安装电机5。

本实施例中，优选的，凹槽10的形状为圆形，且凹槽10的半径大于转盘8的半径，便于转盘8在凹槽10的内部转动。

本实施例中，优选的，机械臂20的表面涂有防锈漆，防止机械臂20上锈，延长机械臂20的使用寿命。

工作原理：使用时，将该生产加工用晶圆导送装置通过滚轮3搬运至需要工作的地方，方便工作人员搬运时移动，减少了劳动力的搬运，提高了生产效率，利用第一液压缸15和第二液压缸16推动固定座11上的第一滑块14和第二滑块19，第一滑块14和第二滑块19的表面固定连接有机械臂20，便于在使用时调节上下的高度，再利有电机5带动转盘8转动，使得该生产加工用晶圆导送装置可以进行旋转，通过两个机械臂20进行来回为晶圆导送，再通过气动吸盘23的吸气与放气对工件的吸取与释放，从而完成晶圆加工的导送大大提高了该生产加工用晶圆导送装置的实用性。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。