一种复合型ald导气装置的制造方法
【专利摘要】本发明公开了一种复合型的ALD导气装置，其包括平面台阶（1）和圆弧壁（2）组成的主体结构、导气孔阵列（3）以及抽气孔（4）。本发明通过对反应腔体抽气进行导气，改善反应腔气流分布，能够有效提升制备薄膜的均匀性；同时，利用复合结构，大幅度的节约了空间，在承载了导气功能的同时，也可作为腔体内样品架的支撑机构，实现了功能的复合化。
【专利说明】一种复合型ALD导气装置发明领域
[0001]本发明涉及一种ALD(原子层沉积)系统中，用于反应腔体内气体导流的装置。
【背景技术】
[0002]根据ALD的反应原理，在现有技术中，ALD前驱体经管路系统进入反应腔体，在有限的时间内与腔体内基底表面发生吸附，连续的两种不同气体在基底表面发生反应，从而导致一个原子层的沉积。为了在有限的时间内，确保反应前驱体能够与墙体内的基底发生充分的均匀的吸附，一般都会对反应腔体结构以及进气喷嘴进行设计，以优化腔内气流分布。但是，对于结构较为复杂的反应腔体或者尺寸较大的反应腔体，仅仅只是对喷嘴或者腔体结构进行有限的设计，是不够的，还需要对抽气部分进行优化设计，才能进一步提升气流均匀性，提升所制备的薄膜的均匀性。
【发明内容】
[0003]为克服现有技术的不足，本发明提出一种复合型的ALD导气装置，通过对抽气的气流分布进行调节，能够有效优化反应腔体内气流分布，解决腔体内因气流不均导致的制备薄膜不均的现象。
[0004]—种复合型的ALD导气装置，其特征在于，其包括平面台阶(I)和圆弧壁(2)组成的主体结构、导气孔阵列(3)以及抽气孔(4)。
[0005]其平面台阶(1)，中间部分用于布置导气孔，两边平台用于腔体内安装样品架。
[0006]其圆弧壁(2)，其弧度与反应腔弧度相同，便于安装于反应腔内壁。
[0007]其导气孔阵列(3)，孔沿着垂直方向贯穿，孔径为l_3mm，呈矩形均匀分布，孔间距为10mm-50mm，与装置内部以及抽气孔连通，用于气体抽气过程中的导流，优化腔体气流分布。
[0008]其抽气孔(4)，与真空抽气管路相连，用于抽气，直径为30mm-50mm。
[0009]本发明提出一种复合型的ALD导气装置，其包括平面台阶和圆弧壁组成的主体结构、导气孔阵列以及抽气孔。
[0010]所述的平面台阶，中间部分用于布置导气孔，两边平台用于腔体内安装样品架； 所述的圆弧壁，其弧度与反应腔弧度相同，便于安装于反应腔内壁；
所述的导气孔阵列，孔沿着垂直方向贯穿，呈矩形均匀分布，与装置内部以及抽气孔连通，用于气体抽气过程中的导流，优化腔体气流分布；
所述的抽气孔，与真空抽气管路相连，用于抽气。
[0011]本发明具有如下优点:
1、本发明通过对反应腔体抽气进行导气，改善反应腔气流分布，能够有效提升制备薄膜的均匀性；
2、本发明，利用复合结构，大幅度的节约了空间，在承载了导气功能的同时，也可作为腔体内样品架的支撑机构，实现了功能的复合化。
【附图说明】
[0012]下面结合附图和实施例对本发明作出详细的说明，其中:
图1为本发明较佳实施例的剖视图；
图2位本发明较佳实施例的俯视图。
【具体实施方式】
[0013]如图1、与2所示，为本发明较佳实施例的结构示意图，所述的一种复合型的ALD导气装置，其包括平面台阶(I)和圆弧壁(2)组成的主体结构、导气孔阵列(3)以及抽气孔(4)。平面台阶(I)，中间部分用于布置导气孔，两边平台用于腔体内安装样品架；圆弧壁(2)，其弧度与反应腔弧度相同，便于安装于反应腔内壁;导气孔阵列(3)，孔沿着垂直方向贯穿，孔径为l-3mm，呈矩形均匀分布，孔间距为1mm?50mm，与装置内部以及抽气孔连通，用于气体抽气过程中的导流，优化腔体气流分布;抽气孔(4)，与真空抽气管路相连，用于抽气，直径为30mm?50mm。本实施例中，导气孔阵列(3)，孔径为2mm，孔间距为25mm;抽气孔(4)，直径为40mm。根据需要，孔径还可以取1_，3_，孔间距可以为I Omm，20mm，30mm，40mm或者50mm。
【主权项】
1.一种复合型的ALD导气装置，其特征在于，其包括平面台阶(I)和圆弧壁(2)组成的主体结构、导气孔阵列(3)以及抽气孔(4)。2.如权利要求1所述的复合型的ALD导气装置，其特征在于，其平面台阶(1)，中间部分用于布置导气孔，两边平台用于腔体内安装样品架。3.如权利要求1所述的复合型的ALD导气装置，其特征在于，其圆弧壁(2)，其弧度与反应腔弧度相同，便于安装于反应腔内壁。4.如权利要求1所述的复合型的ALD导气装置，其特征在于，其导气孔阵列(3)，孔沿着垂直方向贯穿，孔径为l-3mm，呈矩形均勾分布，孔间距为10mm-50mm，与装置内部以及抽气孔连通，用于气体抽气过程中的导流，优化腔体气流分布。5.如权利要求1所述的复合型的ALD导气装置，其特征在于，其抽气孔(4)，与真空抽气管路相连，用于抽气，直径为30mm-50mm。
【文档编号】C23C16/455GK105925959SQ201610314085
【公开日】2016年9月7日
【申请日】2016年5月13日
【发明人】何丹农, 尹桂林, 金彩虹
【申请人】上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司