一种高导电高透光电极及其制备和应用的制作方法

文档序号:23670623发布日期:2021-01-23 05:02阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种高导电高透光电极,其特征在于:包括层叠的底层和高导电高透光的金属层构成的双层电极,或层叠的底层、高导电高透光的中间金属层和减反射上层构成的三明治型电极;所述底层采用的物质包括p型半导体材料中的三氧化钼,三氧化钨中的一种或二种以上;金属层所用的金属包括金、银、铜、铂中的一种或二种以上,纳米筛状金属层的厚度为5纳米至9纳米范围(优选6-8纳米,最优7纳米)。2.根据权利要求1所述的电极,其特征在于:底层氧化物的厚度为10纳米至40纳米范围(优选20-40纳米,最优30纳米)。3.根据权利要求1所述的电极,其特征在于,上层氧化物的厚度为40纳米至90纳米范围(优选50-90纳米,最优80纳米),上层采用的物质包括三氧化钼、三氧化钨中的一种或二种以上。4.根据权利要求1、2或3所述的电极,其特征在于,于双层电极的金属层或三明治型电极的上层上方设有最外层薄膜,其可以是由一种材料组成的单一材料单层膜,也可以是由二种以上材料组成的多种材料单层膜,或也可以是由单一材料单层膜和/或多种材料单层膜层叠组成的多层膜,最外层膜的厚度在30纳米至300纳米范围(优选70-150纳米,最优100纳米);所述材料为氟化镁、氮化硅中的一种或二种以上。5.根据权利要求1、2或3所述的电极,其特征在于:(1)金属层为高导电高透光的纳米筛状金属层,其网状连接提供高导电功能,其孔洞提供高透光功能;(2)双层电极的底层提供大表面张力以促使纳米筛状金属层的生长;或,三明治型电极的纳米筛状金属层两边有高透光低电阻型过渡金属氧化物薄膜,其底层提供大表面张力以促使纳米筛状金属层的生长,其上层结构设计提供减反射性能;(3)纳米筛状金属层的结构呈网状;其孔径约10纳米至20纳米之间。6.一种权利要求1-5任一所述电极的制备方法,其特征在于:热蒸发蒸镀底层条件:真空值2~8
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10-4
pa(优选6
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10-4
pa),蒸发速率:(优选);根据不同材料的升华温度的不同,采用不同的加热方式(温度);其中蒸发三氧化钼放置于陶瓷坩埚中,使用电阻丝加热,温度500~600℃,优选530~560℃;三氧化钨使用镀膜钨舟加热,根据钨舟电阻值的不同,调整经过钨舟的电流,使三氧化钨达到升华温度;热蒸发金属层条件:真空值2~9
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pa(优选6
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10-4
),使用镀膜钨舟加热金属材料,根据钨舟的电阻值,通过控制经过钨舟的电流值来加热金属,以达到金属蒸发的温度,蒸发速率:(优选)。7.根据权利要求6所述电极的制备方法,其特征在于:热蒸发蒸镀上层条件:真空值2~8
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pa(优选6
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pa),蒸发速率:(优选);根据不同材料的升华温度的不同,采用不同的加热温度;其中蒸发三氧化
钼温度500~600℃,优选530~560℃;三氧化钨使用镀膜钨舟加热,根据钨舟电阻值的不同,调整经过钨舟的电流,使三氧化钨达到升华温度;热蒸发最外层薄膜条件:真空值1~20
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pa(优选6
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pa),蒸发速率:(优选);根据材料性质的不同采用不同的加热方式;蒸镀mgf
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时,使用镀膜钨舟加热;根据钨舟的电阻值,控制经过钨舟的电流大小,使达到mgf
2
蒸发温度;蒸镀sin时,使用电子束蒸发,通过控制电子枪的束流大小,使达到sin的蒸发温度。8.一种权利要求1-5任一所述电极作为正极在多结叠层光伏电池中的应用。
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