一种垂直结构LED芯片的制作方法

文档序号:18480221发布日期:2019-08-20 23:41阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种垂直结构LED芯片,其特征在于,包括背面金属层、设于背面金属层上的第二衬底、键合层、刻蚀阻挡层、反射层、电流扩散层、外延层、绝缘层和电极层,所述第二衬底设有凹部和凸部,凸部的表面高于凹部的表面,所述键合层包括中心键合层和边缘键合层,所述中心键合层设置在第二衬底的凹部,所述边缘键合层设置在第二衬底的凸部,刻蚀阻挡层和绝缘层依次设置在边缘键合层上,刻蚀阻挡层、反射层、电流扩散层、外延层、绝缘层和电极层依次设置在中心键合层上,所述电极层贯穿所述绝缘层与外延层连接。

2.如权利要求1所述的垂直结构LED芯片,其特征在于,所述中心键合层的厚度等于边缘键合层的厚度。

3.如权利要求1所述的垂直结构LED芯片,其特征在于,所述中心键合层和边缘键合层的结构为Cr/Ti/Pt/Au、Cr/Ti/Pt/Sn或Au/Sn/Pt/Sn。

4.如权利要求1所述的垂直结构LED芯片,其特征在于,所述中心键合层和边缘键合层的厚度为0.4-4μm。

5.如权利要求1所述的垂直结构LED芯片,其特征在于,所述凸部的宽度为5-50μm。

6.如权利要求1所述的垂直结构LED芯片,其特征在于,背面金属层的结构为Cr/Pt/Au、Au/Pt/Au或Ni/Cr/Ti。

7.如权利要求1所述的垂直结构LED芯片,其特征在于,刻蚀阻挡层的结构为Cr/TiW或Cr/Pt/Au。

8.如权利要求1所述的垂直结构LED芯片,其特征在于,反射层由Ag或Al制成,厚度为100-700nm,反射率为80-98%。

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