一种垂直结构LED芯片的制作方法

文档序号:18480221发布日期:2019-08-20 23:41阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种垂直结构LED芯片,包括背面金属层、设于背面金属层上的第二衬底、键合层、刻蚀阻挡层、反射层、电流扩散层、外延层、绝缘层和电极层,所述第二衬底设有凹部和凸部,凸部的表面高于凹部的表面,所述键合层包括中心键合层和边缘键合层,所述中心键合层设置在第二衬底的凹部,所述边缘键合层设置在第二衬底的凸部,刻蚀阻挡层和绝缘层依次设置在边缘键合层上,刻蚀阻挡层、反射层、电流扩散层、外延层、绝缘层和电极层依次设置在中心键合层上,所述电极层贯穿所述绝缘层与外延层连接。本实用新型的芯片,翘曲度低,良率和稳定性高。

技术研发人员:颜才满;徐亮;李宗涛;丁鑫锐;郑洪仿;黄经发
受保护的技术使用者:佛山市国星半导体技术有限公司
技术研发日:2019.01.03
技术公布日:2019.08.20

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