功能层形成用油墨、功能层形成用油墨的制造方法、有机电致发光元件的制造方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及功能层形成用油墨、功能层形成用油墨的制造方法、有机电致发光元 件的制造方法。
【背景技术】
[0002] 作为使用含有功能层形成材料的溶液作为油墨、在膜形成区域涂布该溶液并使其 固化而形成功能层的方法，采用液滴喷出法，该方法使用能够将油墨从喷嘴以液滴的形式 喷出的喷头。通过使用液滴喷出法，能够将需要量的油墨以液滴的形式高精度地配置在膜 形成区域而形成稳定的膜形状的功能层。
[0003] 作为利用这样的液滴喷出法形成的功能层的例子，可举出配线层、半导体层、滤色 器中的着色层、发光元件中的发光层等。
[0004] 如果含有功能层形成材料的溶液（油墨）中含有异物（颗粒），则在膜形成区域以 含有异物（颗粒）的状态形成功能层，所以功能层中将产生得不到本来的功能的部分。
[0005] 因此，例如，专利文献1中示出了一种涂布液，其在利用湿式成膜法形成有机发光 介质层中的至少1层时使用，是将形成材料溶解或分散溶剂中而成，其中，涂布液所含的 0? 5iim以上的颗粒数为50个/ml以下。
[0006] 另外，例如，专利文献2中公开了一种有机电致发光油墨组合物的制造方法，其具 有将高分子有机电致发光材料溶解于有机溶剂而成的溶液用孔径〇. 03ym~0. 1ym的过 滤器加压过滤的工序。根据专利文献2中记载的实施例，即便使过滤器的孔径为0. 05ym 并调整过滤压力和过滤速度，l〇ml的有机电致发光油墨组合物所含的0. 5iim以上的颗粒 数也为10个。如果换算成lml，则0. 5iim以上的颗粒数为1个。
[0007] 专利文献1:日本特开2007-95516号公报
[0008] 专利文献2:日本特开2013 - 26164号公报
【发明内容】
[0009] 然而，对于具有与各像素对应而电性独立的有机电致发光元件的显示装置而言， 即便使用上述专利文献1的涂布液或上述专利文献2的有机电致发光油墨组合物来形成有 机发光介质层中的1层，若作为膜形成区域的像素的大小较微细，则含有异物的像素也容 易被计成缺陷。换言之，存在难以高成品率地制造显示装置这样的课题。
[0010] 本发明是为了解决上述课题的至少一部分而进行的，通过以下的方式或应用例能 够实现。
[0011] [应用例]
[0012] 本应用例涉及的功能层形成用油墨的特征在于，是形成由多个薄膜层构成的功能 层中的任一薄膜层时使用的功能层形成用油墨，上述功能层形成用油墨含有功能层形成材 料和使上述功能层形成材料溶解的溶剂，其中，0. 5ilm以上的颗粒的个数为10ml中7个以 下。
[0013] 根据本应用例，由于颗粒的大小和个数得到管理，所以使用该功能层形成用油墨 时，能够以高成品率形成薄膜层。
[0014] 应予说明，作为确定液体中所含的颗粒的大小和个数的方法，可举出使用液体颗 粒计数器的方法，为了高精度地测定，认为作为试样的体积至少需要l〇ml。换言之，优选以 10ml为单位确定颗粒的大小和个数。
[0015] 在上述应用例记载的功能层形成用油墨中，优选0.5pm以上的颗粒的个数为 10ml中少于1个。
[0016] 根据该构成，即便涂布功能层形成用油墨的区域小，也能够形成减少了缺陷的产 生的薄膜层。
[0017] [应用例]
[0018] 本应用例涉及的功能层形成用油墨的制造方法的特征在于，是形成由多个薄膜层 构成的功能层中的任一薄膜层时使用的功能层形成用油墨的制造方法，具有：测定调合后 的上述功能层形成用油墨所含的每单位体积的颗粒的大小和个数的第1工序、基于上述第 1工序的结果选定过滤器的孔径的第2工序和使用上述第2工序中选定的孔径的过滤器过 滤上述功能层形成用油墨的第3工序，并且，上述第2工序中，根据过滤器的孔径与过滤后 的0. 5ym以上的大小的颗粒的个数的关系选定过滤器的孔径。
[0019] 根据本应用例，能够制造颗粒的大小和个数得到适当管理的功能层形成用油墨。
[0020] 在上述应用例记载的功能层形成用油墨的制造方法中，上述第2工序中，优选按 照过滤后的0. 5ym以上的颗粒的个数为10ml中7个以下的方式决定过滤器的孔径和过滤 次数。
[0021] 根据该方法，能够制造进一步减少了缺陷的产生的功能层形成用油墨。
[0022] [应用例]
[0023] 本应用例涉及的有机电致发光元件的制造方法的特征在于，是在阳极与阴极之间 具备由多个薄膜层构成的具有发光功能的功能层的有机电致发光元件的制造方法，具备： 使用上述应用例记载的功能层形成用油墨形成上述功能层中的任一薄膜层的工序。
[0024] [应用例]
[0025] 本应用例涉及的有机电致发光元件的制造方法的特征在于，是在阳极与阴极之间 具备由多个薄膜层构成的具有发光功能的功能层的有机电致发光元件的制造方法，具备： 使用由上述应用例记载的功能层形成用油墨的制造方法制造的功能层形成用油墨形成上 述功能层中的任一薄膜层的工序。
[0026] 根据这些应用例，能够减少由颗粒引起的缺陷的产生，以高成品率制造有机电致 发光元件。
【附图说明】
[0027] 图1是表示有机EL装置的电性构成的等效电路图。
[0028] 图2是表示有机EL装置的构成的简要俯视图。
[0029] 图3是表示有机EL装置的像素的结构的简要截面图。
[0030] 图4是表示有机EL装置的像素中的有机EL元件的构成的示意图。
[0031]图5中（a)~（e)是表示有机EL元件的制造方法的简要截面图。
[0032]图6中（f)~（h)是表示有机EL元件的制造方法的简要截面图。
[0033]图7是表示黑点（DS)的大小与异物的大小的关系的图。
[0034]图8是表示黑点（DS)的大小在像素的面积中所占的面积的比例的表。
[0035] 图9(a)是表示稀释后的功能层形成用油墨中的颗粒的测定结果的图，图9(b)是 表示稀释使用的溶剂丙酮的颗粒的测定结果的图。
[0036] 图10是表示使用孔径为0. 2ym的过滤器过滤功能层形成用油墨后的颗粒的测定 结果的图。
[0037] 图11 (a)是表示使用孔径为0. 05ym的过滤器将功能层形成用油墨过滤2次后的 颗粒的测定结果的图，图11(b)是表示过滤20次后的颗粒的测定结果的图。
【具体实施方式】
[0038] 以下，根据附图对将本发明具体化的实施方式进行说明。应予说明，适当扩大或缩 小地表示使用的附图，以达到可识别要说明的部分的状态。
[0039] 另外，在以下的方式中，例如记载为"在基板上"的情况表示以相接的方式配置在 基板上的情况，或者介由其它构成物配置在基板上的情况，或者一部分以相接的方式配置 在基板上，另一部分介由其它构成物配置在基板上的情况。
[0040] <有机电致发光装置>
[0041] 首先，参照图1~图4,在像素具备有机电致发光（EL)元件的自发光型显示装置 的有机EL装置的一个例子进行说明。图1是表示有机EL装置的电性构成的等效电路图， 图2是表示有机EL装置的构成的简要俯视图，图3是表示有机EL装置的像素的结构的简 要截面图，图4是表示有机EL装置的像素中的有机EL元件的构成的示意图。
[0042] 如图1所示，有机EL装置100具有相互交叉的多个扫描线112和多个数据线113， 以及分别与多个数据线113并列的电源线114。具有与多个扫描线112连接的扫描线驱动 电路103和与多个数据线113连接的数据线驱动电路104。另外，还具有与多个扫描线112 和多个数据线113的各交叉部对应地呈矩阵状配置的多个发光像素107。
[0043] 像素107具有作为发光元件的有机EL元件130和控制有机EL元件130的驱动的 像素电路111。
[0044] 有机EL元件130具备作为阳极的像素电极131、作为阴极的对置电极134和设置 于像素电极131与对置电极134之间的、具有发光功能的功能层132。这样的有机EL元件 130在电学上可以表述为二极管。对于功能层132的详细构成后述，功能层132由包含发光 层的多个薄膜层构成。应予说明，对置电极134形成为跨越多个像素107的共用电极。
[0045] 像素电路111包括开关用晶体管121、驱动用晶体管122和储能电容123。2 个晶体管121U22例如可以使用n沟道型或p沟道型的薄膜晶体管（TFT;ThinFilm transistor)、M0S晶体管构成。
[0046] 开关用晶体管121的栅极与扫描线112连接，源极或漏极中的一方与数据线113 连接，源极或漏极中的另一方与驱动用晶体管122的栅极连接。
[0047] 驱动用晶体管122的源极或漏极中的一方与有机EL元件130的像素电极131连 接，源极或漏极中的另一方与电源线114连接。在驱动用晶体管122的栅极与电源线114 之间连接有储能电容123。
[0048] 如果驱动扫描线112而使开关用晶体管121成为开启状态，则此时基于由数据线 113供给的图像信号的电势介由开关用晶体管121保持在储能电容123。根据该储能电容 123的电势即驱动用晶体管122的栅极电势决定驱动用晶体管122的开?关状态。而且，如 果驱动用晶体管122成为开启状态，则与栅极电势对应的大小的电流从电源线114经由驱 动用晶体管122流向夹在像素电极131与对置电极134之间的功能层132。有机EL元件 130根据流过功能层132的电流的大小进行发光。
[0049] 应予说明，像素电路111的构成不局限于此。例如，在驱动用晶体管122与像素电 极131之间也可以具备发光控制用晶体管，该发光控制用晶体管控制驱动用晶体管122与 像素电极131之间的导通。
[0050] 如图2所示，有机EL装置100具有得到红色（R)、绿色（G)、蓝色（B)的发光（发光 色）的像素1071?、1076、1078。各像素1071?、1076、1078大致为矩形，在显示区域￡呈矩阵状 配置。在各像素107R、107G、107B分别设有得到对应的颜色的发光的有机EL元件130 (参 照图3)。得到同色的发光的像素107在图上沿垂直方向（列方向或像素107的长边方向） 排列，不同发光色的像素107在图上沿水平方向（行方向或像素107的短边方向）按R、G、 B的顺序排列。即，不同发光色的像素107R、107G、107B以所谓条纹方式配置。
[0051] 以下，将不同发光色的像素107R、107G、107B有时也统称为像素107。另外，将不同 发光色的像素107排列的方向设为X方向，将同色的像素107排列的方向设为Y方向进行 说明。
[0052] 如果使用这样的有机EL装置100作为显示装置，则将不同发光色的3个像素 107R、107G、107B作为1个显示像素单位108,各像素107R、107G、107B被电性控制。由此能 够成为全彩色显示。
[0053] 应予说明，不同发光色的像素107R、107G、107B的平面形状和配置不局限于此，例 如，可以是三角形方式、嵌镶方式的配置。另外，像素107不限于对应红色（R)、绿色（G)、蓝 色⑶这3色设置，也可以包括得到红色（R)、绿色（G)、蓝色⑶以外的例如黄色（Y)的发 光的像素107。
[0054] 图3所示，有机EL装置100具有设置在元件基板101上的、得到红色的发光的有机 EL元件130R、得到绿色的发光的有机EL元件130G和得到蓝色的发光的有机EL元件130B。 换言之，在像素107R设有有机EL元件130R，在像素107G设有有机EL元件130G，在像素 107B设有有机EL元件130B。有机EL元件130R、130G、130B分别具有作为阳极的像素电极 131和形成于像素电极131上的包含发光层的功能层132。另外，具有以介由功能层132与 像素电极131对置的方式形成的、作为共用电极的对置电极134。
[0055] 有时也与发光色对应地将像素电极131