降机构54b也具有与第I升降机构54a同样的结构。具体而言，如图5所示，第2升降机构54b在支柱构件53b内包括第I带轮541b、第2带轮542b以及带543b。第2带轮542b连接有图4所示的第2驱动源55b，带543b连接有第2连接部56b。第2升降机构54b如上所述构成，将在第2驱动源55b作用下的旋转运动转换为直线运动，从而使第2输送臂52在铅垂方向上移动。
[0052]另外，第I驱动源55a、第2驱动源55b例如为马达。另外，第I升降机构54a和第2升降机构54b也可以使用例如滚珠丝杠而构成。
[0053]另外，第2输送装置50包括一对导轨57a、57b以及连结构件58a。
[0054]—对导轨57a、57b为在铅垂方向上延伸的轨道构件。一导轨57a设于一支柱构件53a，另一导轨57b设于另一支柱构件53b。
[0055]第I输送臂51借助连结构件58a连结于该一对导轨57a、57b。另外，第2输送臂52借助与连结构件58a同样的连结构件也连结于一对导轨57a、57b。由此，第I输送臂51和第2输送臂52 —边被一对导轨57a、57b引导，一边分别在第I升降机构54a、第2升降机构54b的作用下升降。
[0056]像这样，本实施方式的第2输送装置50包括至少覆盖处理单元41?48的高度范围的一对支柱构件53a、53b，在一支柱构件53a设有使第I输送臂51升降的第I升降机构54a，在另一支柱构件53b设有使第2输送臂52升降的第2升降机构54b。利用该结构，能够使第I输送臂51的升降范围和第2输送臂52的升降范围互相重叠。
[0057]另外，在此，第I输送臂51和第2输送臂52这两者能够进行晶圆W相对于所有的处理单元41?48的送入送出，但也可以是，例如第I输送臂51能够进行晶圆W相对于处理单元41?43、45?47的送入送出，第2输送臂52能够进行晶圆W相对于处理单元42?44、46?48的送入送出。
[0058]另外，在本实施方式的第2输送装置50中，第I输送臂51和第2输送臂52共用一对支柱构件53a、53b。因此，能够抑制第2输送装置50的成本，并且能够抑制基板处理装置I的占有面积的增大。
[0059]在此，参照图6说明以往的基板输送装置的结构。图6是表示以往的基板输送装置结构的示意主视图。
[0060]如图6所不，以往的基板输送装置50’包括:一个输送臂51’、一对支柱构件53’、53’、以及一个输送机构54’。并且，在以往的基板处理装置中，该基板输送装置50’层叠为上下两层。
[0061]像这样，在以往的基板处理装置中，由于两个输送臂51’的升降范围分割为输送区域的上层侧和下层侧，因此，例如在上层侧的输送臂51’发生故障的情况下，配置于上层侧的处理单元有可能全部无法使用，而使生产率降低。
[0062]与此相对，在本实施方式的基板处理装置I中，两个输送臂51、52的升降范围互相重叠，能够使另一输送臂51、52移动到一输送臂51、52的作业范围内，因此，即使在一输送臂51、52发生故障的情况下，也能够抑制生产率的降低。
[0063]接下来，参照图7说明控制装置4的结构。图7是表示控制装置4的结构的框图。另外，在图7中，只表示为了说明控制装置4的特征所必需的构成要素，省略关于通常的构成要素的记载。
[0064]如图7所示，控制装置4包括控制部16以及存储部17。控制部16包括输送控制部16a以及异常应对处理部16b。另外，存储部17用于存储作业数据17a。
[0065]另外，控制部16为例如CPU (Central Processing Unit:中央处理器)，通过读取并执行被存储于存储部17的未图示的程序，从而作为输送控制部16a以及异常应对处理部16b而发挥功能。另外，也可以是，控制部16不使用程序而仅由硬件构成。
[0066]另外，基板处理装置I包括异常检测部80。在本实施方式中，异常检测部80用于检测第I输送臂51和第2输送臂52的驱动系统的异常。具体而言，异常检测部80用于检测第I输送臂51和第2输送臂52的臂的伸缩动作、在铅垂方向上的移动动作、以及以铅垂轴线为中心的旋转动作的异常。另外，异常检测部80在检测出异常的情况下，还进行将该情况输出到控制部16的异常应对处理部16的处理。
[0067]另外，在此，表示了异常检测部80设于控制装置4的外部的情况的例子，但是也可以在控制部16进行与异常检测部80同样的处理。具体而言，也可以是，控制部16构成为，基于对第2输送装置50输出的动作指令与自第2输送装置50输入的动作结果的信息之间的差别，判断第2输送装置50是否按照指令进行了动作，在第2输送装置50未按照指令进行动作的情况下检测出异常。
[0068]输送控制部16a基于存储在存储部17的作业数据17a而控制第2输送装置50的动作。
[0069]控制部16a按照配置于同一高度的处理单元41?48对第I输送臂51和第2输送臂52分配处理单元41?48。例如，在本实施方式中，在多个处理单元41?48中，上侧四个处理单元41、42、45、46被分配到第I输送臂51，剩余的处理单元43、44、47、48被分配到第2输送臂52。另外，第I输送臂51能够使用两个臂部51a、51b将晶圆W —张一张地送入处理单兀41、42、45、46或一张一张地从处理单兀41、42、45、46送出。同样，第2输送臂52能够使用两个臂部52a、52b将晶圆W—张一张地送入处理单元43、44、47、48或一张一张地从处理单元43、44、47、48送出。
[0070]并且，输送控制部16a使第I输送臂51进行晶圆W相对于处理单元41、42、45、46的送入送出，输送控制部16a使第2输送臂52进行晶圆W相对于处理单元43、44、47、48的送入送出。
[0071]在自异常检测部80接收到发生了规定的异常的情况的通知时，异常应对处理部16b执行异常应对处理。在此，参照图8和图9说明异常应对处理的内容。
[0072]图8和图9是表不异常应对处理的动作例的图。另外，在图8和图9中表不在第I输送臂51发生了异常的情况下的异常应对处理的动作例。
[0073]如图8所示，在利用异常检测部80检测到第I输送臂51的异常的情况下，异常应对处理部16b控制第2输送装置50，使第I输送臂51移动到退避空间SI。
[0074]在此，在检测到第I输送臂51的臂伸缩动作的异常或检测到第I输送臂51以铅垂轴线为中心的旋转动作的异常的情况下，进行使第I输送臂51移动到退避空间SI的处理。其原因在于，在检测到第I输送臂51在铅垂方向上的移动动作的异常的情况下、即在第I升降机构54a或第I驱动源55a发生故障的情况下，无法使第I输送臂51移动到退避空间SI。
[0075]接下来，在使第I输送臂51移动到退避空间SI之后，基于作业数据17a，异常应对处理部16b控制第2输送装置50，使第2输送臂52进行应该由第I输送臂51进行的作业。即，异常应对处理部16b使第2输送臂52进行应该由第I输送臂51进行的晶圆W相对于处理单元41、42、45、56的送入送出。
[0076]此时，第I输送臂51处于退避到退避空间SI的状态，因此第2输送臂52能够不被第I输送臂51妨碍地进行晶圆W相对于处理单元41、42、45、46的送入送出。
[0077]另外，在检测到第I输送臂51在铅垂方向上的移动动作的异常的情况下，还可以使第2输送臂52进行晶圆W相对于位于比第I输送臂51靠下方的位置的处理单元41?48 (例如在第I输送臂51在处理单元41的正面停止了的情况下的处理单元42?44、46?48)的送入送出。
[0078]另外，本实施方式的基板处理装置I能够在第I输送臂51分配数量与第2输送臂52之间使处理单元41?48的分配数量不同。参照图10说明该点。图10是表示对第I输送臂51和第2输送臂52分配处理单元41?48的例子的图。
[0079]如图10所示，控制部16的输送控制部16a也能够例如对第I输送臂51分配处理单元41?43、45?47，对第2输送臂52分配处理单元44、48。
[0080]在此，即使在以往的基板处理装置中，也能够以处理时间长的晶圆和处理时间短的晶圆来使处理单元的分配数量不同。但是，在以往的基板处理装置中，两个输送臂的升降范围分为上层和下层，因此在以处理时间长的晶圆与分配数量处理时间短的晶圆来使处理单元的分配数量不同的情况下，一输送臂对处理时间长的晶圆和处理时间短的晶圆这两者进行处理。结果，有可能输送安排表变得复杂，或使处理时间短的晶圆的输送因处理时间长的晶圆的输送而等待。
[0081]相对于此，在本实施方式的第2输送装置50中，第I输送臂51的升降范围和第2输送臂52的升降范围互相重叠。因此，即使以处理时间长的晶圆W与处理时间短的晶圆W来使处理单元41?48的分配数量不同，也能够使第I输送臂51仅输送处理时间长的晶圆W，使第2输送臂52仅输送处理时间短的晶圆W。
[0082]因此，采用本实施方式的基板处理装置1，使处理时间短的晶圆W的输送因处理时间长的晶圆W的输送而等待、或者反过来使处理时间长的晶圆W的输送因处理时间短的晶圆W的输送而等待的情况减少。因此，能够提高在处理时间不同的两个种类的晶圆W混合在一起的情况下的生产率。另外，能够防止输送安排表的复杂化。
[0083]另外，本实施方式的基板处理装置I能够对处理块