063]步骤S40，监测置于载片台I的承载面10上的待加工的工件30是否位于第三标准面31，若否，则校准该工件30的位置；若是，则进入步骤S50 ；
[0064]步骤S50，重复上述步骤S10-S40，直至所有的承载面10均承载有待加工的工件30 ；
[0065]步骤S60，待工艺完成之后，旋转载片台1，并实时监测载片台I的其中一个承载面10是否位于第一标准面11，若是，则控制载片台I停止旋转；
[0066]步骤S70，控制机械手2进入反应腔室内，并使其到达反应腔室内的指定位置，同时实时监测机械手2的承载位20是否位于第二标准面21，若是，则控制机械手2将放置于被监测的承载面20上的已加工的工件30取出；若否，则校准该承载位20的位置；
[0067]步骤S80，控制承载有加工的工件机械手2移出反应腔室；
[0068]步骤S90，重复上述步骤S60-S80，直至取出所有置于承载面10上的已加工的工件30。
[0069]在所述步骤S20、S40和S70中，根据监测结果发出载片台1、机械手2和置于载片台I的承载面10上的工件30的位置正常的安全提示，或者位置异常的警告提示。
[0070]在完成步骤S80之后，监测载片台I的承载面10上是否存在已加工的工件30，若是，则提示取片失败；若否，则进入步骤S90。
[0071]本实施例提供的工件的装卸方法，其通过基于上述等离子体加工设备对工件进行装卸，在装卸工件的过程中，可以提高对载片台、机械手和工件定位的准确度，从而可以避免出现取片或放片不成功、工件偏离载片台的承载面等情况。
[0072]可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。
【主权项】
1.一种位置监测装置，其特征在于，所述位置监测装置用于实时监测用于承载工件的载片台的承载面是否位于第一标准面，用于传输工件的机械手的承载位是否位于第二标准面，以及置于所述载片台的承载面上的工件是否位于第三标准面； 所述第一标准面为所述载片台的承载面在装卸工件时所在的预设标准面；所述第二标准面为所述机械手的承载位在装卸工件时所在的预设标准面；所述第三标准面为置于所述载片台的承载面上的工件在装卸工件时所在的预设标准面； 所述第一、第二和第三标准面在竖直方向上相对应。
2.根据权利要求1所述的位置监测装置，其特征在于，所述位置监测装置包括至少三个测距单元和判断单元，其中 所述至少三个测距单元水平排列于所述第一、第二和第三标准面的正上方，且位于对应于各个标准面的边缘位置处，并且在所有的测距单元中，其中至少三个测距单元的位置不在一条直线上；每个所述测距单元用于分别测量其所在位置与所述载片台的承载面之间的第一垂直距离、与所述机械手的承载位之间的第二垂直距离以及与置于所述载片台的承载面上的工件之间的第三垂直距离，并将其发送至所述判断单元； 所述判断单元用于分别计算各个所述第一垂直距离与预设的标准第一垂直距离之间的差值，且判断各个差值是否超出安全阈值，若各个差值均未超出所述安全阈值，则确定所述载片台的承载面位于所述第一标准面；若各个差值中有一个以上的差值超出所述安全阈值，则确定所述载片台的承载面偏离所述第一标准面； 所述判断单元用于分别计算各个所述第二垂直距离与预设的标准第二垂直距离之间的差值，且判断各个差值是否超出安全阈值，若各个差值均未超出所述安全阈值，则确定所述机械手的承载位位于所述第二标准面；若各个差值中有一个以上的差值超出所述安全阈值，则确定所述机械手的承载位偏离所述第二标准面； 所述判断单元用于分别计算各个所述第三垂直距离与预设的标准第三垂直距离之间的差值，且判断各个差值是否超出安全阈值，若各个差值均未超出所述安全阈值，则确定置于所述载片台的承载面上的工件位于所述第三标准面；若各个差值中有一个以上的差值超出所述安全阈值，则确定置于所述载片台的承载面上的工件偏离所述第三标准面。
3.根据权利要求2所述的位置监测装置，其特征在于，所述位置监测装置还包括提示单元， 所述判断单元根据判断结果向所述提示单元发送提示信号； 所述提示单元用于根据所述提示信号分别发出所述载片台、机械手和置于所述载片台的承载面上的工件的位置正常的安全提示，或者位置异常的警告提示。
4.根据权利要求2所述的位置监测装置，其特征在于，所述测距单元包括距离传感器或激光测距仪。
5.根据权利要求2所述的位置监测装置，其特征在于，所述位置监测装置还包括调节单元，所述调节单元用于调节各个所述测距单元在其所在水平面上的位置。
6.一种等离子体加工设备，包括反应腔室、可旋转的载片台、机械手和位置监测装置，其中，所述载片台设置在所述反应腔室内，并且在所述载片台的上表面上设置有沿其周向均匀分布的多个承载面，每个所述承载面用于承载一个工件；所述机械手用于将工件传输至所述载片台的承载面上，或自所述承载面取出所述工件；其特征在于，所述位置监测装置采用了权利要求1-5任意一项所述的位置监测装置。
7.根据权利要求6所述的等离子体加工设备，其特征在于，所述调节单元包括水平导轨，所述水平导轨固定在所述反应腔室内的顶部，各个所述测距单元与所述水平导轨可沿水平方向移动地连接。
8.根据权利要求6所述的等离子体加工设备，其特征在于，在所述载片台的各个承载面上设置有凸台或凹槽，所述工件置于该凸台上或凹槽内。
9.一种工件的装卸方法，其特征在于，其基于权利要求6-8任意一项所述的等离子体加工设备对工件进行装卸，其包括以下步骤: 步骤S10，旋转所述载片台，并实时监测载片台的其中一个承载面是否位于所述第一标准面，若是，则控制所述载片台停止旋转； 步骤S20，控制所述机械手进入所述反应腔室内，并监测承载有待加工的工件的机械手的承载位是否位于所述第二标准面，若是，则控制所述机械手将待加工的工件放置于被监测的所述承载面上；若否，则校准机械手的承载位的位置； 步骤S30，控制空载的机械手移出反应腔室； 步骤S40，监测置于所述载片台的承载面上的待加工的工件是否位于所述第三标准面，若否，则校准该工件的位置；若是，则进入步骤S50 ； 步骤S50，重复上述步骤S10-S40，直至所有的承载面均承载有待加工的工件； 步骤S60，待工艺完成之后，旋转所述载片台，并实时监测载片台的其中一个承载面是否位于所述第一标准面，若是，则控制所述载片台停止旋转； 步骤S70，控制所述机械手进入所述反应腔室内，并实时监测机械手的承载位是否位于所述第二标准面，若是，则控制所述机械手将放置于被监测的所述承载面上的已加工的工件取出；若否，则校准该承载位的位置； 步骤S80，控制承载有加工的工件机械手移出反应腔室； 步骤S90，重复上述步骤S60-S80，直至取出所有置于所述承载面上的已加工的工件。
10.根据权利要求9所述的工件的装卸方法，其特征在于，在所述步骤S20、S40和S70中，根据监测结果发出所述载片台、机械手和置于所述载片台的承载面上的工件的位置正常的安全提示，或者位置异常的警告提示。
11.根据权利要求9所述的工件的装卸方法，其特征在于，在完成步骤S80之后，监测载片台的承载面上是否存在已加工的工件，若是，则提示取片失败；若否，则进入步骤S90。
【专利摘要】本发明涉及位置监测装置、等离子体加工设备及工件的装卸方法；其用于实时监测用于承载工件的载片台的承载面是否位于第一标准面，用于传输工件的机械手的承载位是否位于第二标准面，以及置于所述载片台的承载面上的工件是否位于第三标准面；其中，第一标准面为载片台的承载面在装卸工件时所在的预设标准面；第二标准面为机械手的承载位在装卸工件时所在的预设标准面；第三标准面为置于载片台的承载面上的工件在装卸工件时所在的预设标准面；第一、第二和第三标准面在竖直方向上相对应。本发明提供的位置监测装置可以提高对载片台、机械手和工件定位的准确度，进而可以避免出现取片或放片不成功、工件偏离载片台的承载面等情况。
【IPC分类】H01J37-32, H01L21-68
【公开号】CN104752295
【申请号】CN201310742986
【发明人】马志芳
【申请人】北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
【公开日】2015年7月1日
【申请日】2013年12月30日