硅通孔深孔填充工艺的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及微电子技术领域，特别是涉及微电子加工工艺中的一种硅通孔深孔填充工艺。
【背景技术】
[0002]目前，磁控溅射，又称为物理气相沉积(PVD)，是集成电路制造过程中沉积金属层和相关材料广泛采用的方法。目前娃通孔(Through Silicon Via)技术的应用越来越广泛，该技术大大降低了芯片之间的互连延迟，并且是三维集成实现的关键技术。
[0003]传统的PVD技术中，金属原子和离子呈一定的角度散射到晶片上，但对于高深宽比(Aspect Rat1)的硅通孔，散射的金属无法有效进入通孔内部，导致通孔的底部薄膜覆盖率很差。现有的PVD深孔沉积技术是在磁控溅射设备的基座上形成一个负偏压来吸引等离子体，负偏压越高，更多的金属正离子就会被吸引到TSV中，为了适应导电性不佳或者绝缘的晶片，目前的磁控溅射PVD中一般都使用射频(RF)来形成基座的负偏压。
[0004]PVD在TSV中的应用主要是在硅通孔内部沉积阻挡层和铜籽晶层，阻挡层的作用是防止铜向硅或者二氧化硅中扩散，铜籽晶层的作用是为后续电镀工艺做一层导电层，因此对于PVD的TSV工艺，对TSV内部的薄膜覆盖率有很高的要求，阻挡层的薄膜覆盖率不佳，会影响TSV器件的可靠性，籽晶层的覆盖率不佳，可能会导致电镀无法进行，或者电镀后的TSV有空洞或缝隙，严重影响器件性能。
[0005]鉴于上述缺陷，本发明人经过长时间的研究和实践终于获得了本发明创造。
【发明内容】
[0006]基于此，有必要针对硅通孔进行沉积时薄膜覆盖率不佳等问题，提供一种提高硅通孔深孔填充的薄膜覆盖率的硅通孔深孔填充工艺。上述目的通过下述技术方案实现:
[0007]一种硅通孔深孔填充工艺，用于提高硅通孔深孔填充的薄膜覆盖率，工作步骤如下:
[0008]步骤Al，向磁控溅射设备中通入工艺气体；
[0009]步骤A2，用第一射频功率、第一气压对所述硅通孔进行薄膜沉积；
[0010]步骤A3，用第二射频功率、第二气压对所述硅通孔进行薄膜沉积；
[0011]重复步骤A2和A3，直至所述硅通孔内部薄膜覆盖率均匀，且达到所需的厚度。
[0012]上述目的还可以通过下述技术方案进一步实现。
[0013]其中，用第一射频功率、第一气压或第二射频功率、第二气压对所述硅通孔进行薄膜沉积之前，施加用于起辉的直流电源。
[0014]其中，用第一射频功率、第一气压或第二射频功率、第二气压对所述硅通孔进行薄膜沉积之后，将所述硅通孔进行冷却。
[0015]其中，所述用第一射频功率、第一气压对所述硅通孔薄膜沉积时，调节直流电源、射频功率和工艺压力。
[0016]其中，所述用第二射频功率、第二气压对所述硅通孔薄膜沉积时，调节直流电源、射频功率和工艺压力。
[0017]还涉及一种硅通孔深孔填充工艺，其工作步骤如下:
[0018]步骤BI，向磁控溅射设备中通入所述工艺气体；
[0019]步骤B2，用第一射频功率、第一气压对所述硅通孔进行薄膜沉积；
[0020]步骤B3，用第三射频功率、第三气压对所述硅通孔进行薄膜沉积；
[0021]步骤B4，用第二射频功率、第二气压对所述硅通孔进行薄膜沉积；
[0022]重复步骤B2、B3和B4，直至所述硅通孔内部薄膜覆盖率均匀，且达到所需的厚度。
[0023]其中，所述第一射频功率的功率范围为200W-600W ；
[0024]所述第二射频功率的功率范围为800W-1500W。
[0025]其中，所述第一射频功率时的第一气压的范围为2mT_10mT ；
[0026]所述第二射频功率时的第二气压的范围小于lmT。
[0027]其中，所述第一射频功率时的第一气压为2mT ；
[0028]所述第二射频功率时的第二气压为0.5mT。
[0029]其中，所述第三射频功率的功率范围为所述第一射频功率或所述第二射频功率的功率范围；
[0030]所述第三射频功率属于所述第一射频功率的功率范围时，所述第三射频功率的功率值与所述第一射频功率的功率值不等；
[0031]所述第三射频功率属于所述第二射频功率的功率范围时，所述第三射频功率的功率值与所述第二射频功率的功率值不等。
[0032]其中，所述第三射频功率属于所述第一射频功率的功率范围时，所述第三气压为所述第一气压；
[0033]所述第三射频功率属于所述第二射频功率的功率范围时，所述第三气压为所述第二气压。
[0034]本发明的有益效果是:
[0035]本发明的硅通孔深孔填充工艺，工艺设计简单合理，通过采用第一射频功率与第二射频功率交替进行薄膜沉积，提升了硅通孔深孔填充的薄膜覆盖率。第一射频功率与第二射频功率的交替，使硅通孔内部的薄膜覆盖率非常均匀，获得了良好的覆盖率，使薄膜最薄处的覆盖率大于4%，可以完美的支持后续的电镀工艺。第一射频功率的薄膜沉积速率高，可以弥补第二射频功率沉积速率低，总体的薄膜沉积速率提高，可以提高产能。
【附图说明】
[0036]图1为本发明的硅通孔深孔填充工艺的流程图；
[0037]图2为本发明的硅通孔深孔填充工艺所采用的磁控溅射设备一实施例的示意图；
[0038]图3为图1所示本发明的硅通孔深孔填充工艺中第一射频功率薄膜沉积工艺的流程图；
[0039]图4为图1所示本发明的硅通孔深孔填充工艺中第二射频功率薄膜沉积工艺的流程图；
[0040]图5为采用本发明的硅通孔深孔填充工艺得到的硅通孔深孔填充的效果图；
[0041]其中；
[0042]1-圆环型反应腔体；2_绝缘材料；3_去离子水；4_靶材；5_直流电源；
[0043]7-侧壁；8_金属卡环；9-卡盘；10_晶片；11_接地；12-负偏压；13_薄膜；
[0044]14-侧壁上部；15-侧壁下部；16_底部；17-顶部转角；18-底部转角。
【具体实施方式】
[0045]为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下通过实施例，并结合附图，对本发明的硅通孔深孔填充工艺进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
[0046]如图1所示，本发明的硅通孔深孔填充工艺用于提高硅通孔深孔填充的薄膜覆盖率，应用于磁控溅射设备，使硅通孔内部的薄膜覆盖率均匀，获得了良好的覆盖率，使薄膜最薄处的覆盖率大于4%，可以完美的支持后续的电镀工艺。
[0047]如图2所示，本实施例采用的磁控溅射设备为直流磁控溅射设备，该设备具有圆环型反应腔体1，侧壁为7，9为承载晶片10的卡盘。4为靶材，被密封在真空腔体上。2为一种绝缘材料(例如G10)，绝缘材料2和靶材4中间充满了去离子水3。
[0048]溅射时直流电源5会施加偏压至靶材4，使靶材4相对于接地11的腔体成为负偏压12，以致氩气放电而产生等离子体，将带正电的氩离子吸引至负偏压的靶材4。当氩离子的能量足够高时，会使金属原子逸出靶材表面并沉积在晶片10上。使用具有一定重量的金属卡环(Clamp Ring)8将晶片10以机械的方式压在卡盘9上进行派射工艺。
[0049]如图1所示，本发明的硅通孔深孔填充工艺，工作步骤如下:
[0050]步骤Al，向磁控溅射设备中通入工艺气体；
[0051]步骤A2，用第一射频功率、第一气压对硅通孔进行薄膜沉积；
[0052]步骤A3，用第二射频功率、第二气压对硅通孔进行薄膜沉积；
[0053]重复步骤A2和步骤A3，直至硅通孔内部薄膜覆盖率均匀，且达到所需的厚度。
[0054]作为一种可实施方式，用第一射频功率、第一气压或第二射频功率、第二气压对娃通孔进行薄膜沉积之前，施加用于起辉的直流电源。
[0055]用第一射频功率、第一气压或第二射频功率、第二气压对硅通孔进行薄膜沉积之后，将硅通孔进行冷却。
[0056]进一步地，如图3所示，用第一射频功率、第一气压对硅通孔薄膜沉积时，步骤A2包括下列步骤:
[0057]步骤A21，施加用于起辉的直流电源；
[0058]步骤A22，用第一射频功率对硅通孔薄膜沉积时，调节直流电源、射频功率和工艺压力；
[0059]步骤A23，将硅通孔进行冷却。
[0060]在本实施例中，用于起辉的直流电源为1000W，将直流电源调节至38KW、射频功率调节至300W、工艺压力调节至2mT，对硅通孔进行薄膜沉积，。
[0061]进一步地，如图4所示，用第二射频功率、