有机el显示装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及有机EL (Electro-Luminescent，电致发光)显示装置。
【背景技术】
[0002]近年来，使用被称为有机发光二极管(Organic Light Emitting D1de)的自发光体的图像显示装置(以下，记作“有机EL显示装置”)已付诸实用。与以往的液晶显示装置相比，该有机EL显示装置由于使用了自发光体，因此不仅在视觉识别性、响应速度方面优异，还不需要背光源这样的辅助照明装置，因此能实现进一步的薄型化。
[0003]专利文献I公开了如下技术内容:有机发光元件的结构按顺序为阴极、电子传输层、电致发光层、空穴传输层、电子受容层及阳极的情况下，在电子受容层与阳极之间还具备阳极覆盖层。
[0004]在先技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1:日本特开2006 - 049906号公报
【发明内容】
[0007]在有机EL显示装置中，在形成于各像素的有机EL元件，通过ITO(Indium TinOxide，氧化铟锡)等在有机EL元件形成阳极电极，为了将堆积于阳极电极的有机物除去，降低有机EL元件的驱动电压，进行02等离子体处理。但是，O 2等离子体处理根据条件有时会发生电路基板的材料分解，因此会对阳极电极的电离电位带来影响，可能使阳极电极的空穴(hole)注入性产生偏差。此外，由于上述之外的因素也可能使阳极电极的空穴注入性发生偏差，空穴注入性的偏差会关系到元件效率的降低及驱动电压的增加，结果可能会缩短元件的寿命。
[0008]本发明是鉴于上述事情而做出的，其目的在于提供一种即使在阳极电极的空穴注入性存在偏差的情况下也能以更高的元件效率、具有更长的元件寿命的有机EL显示装置。
[0009]本发明的有机EL显示装置，包括:由导电性的材料形成的阳极电极；由导电性的材料形成的阴极电极；所述阳极电极及所述阴极电极之间的、形成于所述阳极电极上的电子注入层即阳极侧电子注入层；以及形成于所述阳极侧电子注入层上的电荷发生层即阳极侧电荷发生层。
[0010]此外，本发明的有机EL显示装置中，还可以包括:形成于所述阳极侧电荷发生层上的空穴注入层即阳极侧空穴注入层；形成于所述阳极侧空穴注入层上的空穴传输层即阳极侧空穴传输层；发光部，其形成于所述阳极侧空穴传输层上，且具有由有机发光材料形成的至少一层的发光层；形成于所述发光部上的电子传输层即阴极侧电子传输层；以及形成于所述阴极侧电子传输层及所述阴极电极之间的电子注入层即阴极侧电子注入层。
[0011]此外，本发明的有机EL显示装置中，所述发光部可以包括:由有机发光材料形成的阴极侧发光层；由有机发光材料形成、且形成于比所述阴极侧发光层靠阳极侧的阳极侧发光层；形成于所述阳极侧发光层上的电子传输层即串联电子传输层；形成于所述串联电子传输层上的电子注入层即串联电子注入层；形成于所述串联电子注入层上的电荷发生层即串联电荷发生层；形成于所述串联电荷发生层上的空穴注入层即串联空穴注入层；以及形成于所述串联空穴注入层及阴极侧发光层之间的空穴传输层即串联空穴传输层。
【附图说明】
[0012]图1是概略表示本发明的实施方式的有机EL显示装置的图。
[0013]图2是表示图1的有机EL面板的构成的图。
[0014]图3是概略表示图2的II1-1II线处的TFT基板的某子像素的截面的图。
[0015]图4是概略表示有机EL元件的有机层的层叠构造的图。
[0016]图5是概略表示本发明的比较例的有机层的层叠构造的图。
[0017]图6是表示关于图4的有机层及图5的有机层的亮度相对于通电时间的变化的实测结果的曲线图。
[0018]图7是表示关于图4的有机层及图5的有机层的有机EL元件的驱动电压相对于通电时间的变化的实测结果的曲线图。
[0019]图8是概略表示本实施方式的变形例的串联构造的有机层的层叠构造的图。
[0020]附图标记的说明
[0021]100有机EL显示装置，110上框，120下框，200有机EL面板，202显示区域，220TFT基板，230对置基板，280子像素，281玻璃基板，282TFT电路层，283平坦化膜，284反射层，285阳极电极，286绝缘凸块，287阴极电极，288封固膜，289驱动晶体管，300有机层，311阳极侧电子注入层，312阳极侧电荷发生层，313阳极侧空穴注入层，314阳极侧空穴传输层，320发光部，321发光层，322阳极侧发光层，323串联电子传输层，324串联电子注入层，325串联电荷发生层，326串联空穴注入层，327串联空穴传输层，328阴极侧发光层，331阴极侧电子传输层，332阴极侧电子注入层，340有机EL元件，390有机层，400有机层
【具体实施方式】
[0022]以下，参照【附图说明】了本发明的各实施方式。需要说明的是，所公开的终究不过是一例，对于本领域技术人员容易想到的在保持发明主旨进行的适当变更，当然包含于本发明的范围。此外，为了清楚地进行说明，与实际情况相比，附图中有时对各部分的宽度、厚度、形状等进行示意性表示，但终究不过是一例，并非用来限定本发明的解释。此外，在本说明书与各图中，对于与在图中已说明的要素相同的要素，标注相同附图标记，有时适当省略详细说明。
[0023]图1中概率表示本发明的实施方式的有机EL显示装置100。如该图所示，有机EL显示装置100由以被上框110及下框120夹着的方式固定的有机EL面板200构成。
[0024]图2中示出图1的有机EL面板200的构成。有机EL面板200具有TFT (Thin FilmTransistor:薄膜晶体管)基板220和对置基板230这2张基板，在这些基板之间填充有未图示的透明树脂。TFT基板220在显示区域202具有呈矩阵状的子像素280。子像素280例如将射出彼此不同波长区域的光的3个或4个子像素280组合而构成一像素。在TFT基板220载置有作为驱动电路的驱动IC (Integrated Circuit，集成电路)260，所述驱动电路对配置于各子像素280的像素晶体管的扫描信号线施加用于使源极漏极间导通的电位，并对各像素晶体管的数据信号线施加与子像素280的灰阶值对应的电压。
[0025]图3是概略表示图2的II1-1II线处的TFT基板220的子像素280的截面的图。如该图所示，TFT基板220的子像素280包括:作为绝缘基板的玻璃基板281 ;形成于玻璃基板281上、且形成有具有驱动晶体管289等的电路的TFT电路层282 ;通过绝缘材料形成在TFT电路层282上的平坦化膜283 ;经由在平坦化膜283开设的通孔而与TFT电路层282的电路连接的阳极电极285 ;覆盖阳极电极285的端部、并在子像素280之间使电极间绝缘的绝缘凸块286 ;以覆盖整个显示区域202的方式形成于阳极电极285及绝缘凸块286上的有机层300 ;对在有机层300内的发光部320 (后述)发出的光反射的反射层284 ;以在有机层300上覆盖整个显示区域202的方式形成的阴极电极287 ;为了防止有机层300的劣化而阻隔从外部进入空气、水的封固膜288。各子像素280中的有机层300内的发光部320的发光的亮度在驱动晶体管289被控制。需要说明的是，在本实施方式中，将从阳极电极285到阴极电极287的构成称为有机EL元件340。此外，在图3的方式中，设为顶部发射方式的有机EL显示装置，但作为一例，可以是底部发射方式的有机EL显示装置，也可以使用其他截面构造的TFT基板220。此外，晶体管可以使用由不定型硅、低温多晶硅、其他半导体材料形成的晶体管。此外，在本实施方式中，有机层300是以覆盖整个显示区域202的方式形成，但有机层300可以在各子像素分别形成。在该情况下，可以使在各子像素发光的颜色不同。
[0026]图4是概略表示有机EL元件340的有机层300的层叠构造的图。如该图所示，形成于阳极电极285及阴极电极287之间的有机层300按顺序层叠有:形成于阳极电极285上的电子注入层(EIL:Electron Inject1n Layer)即阳极侧电子注入层311 ;形成于阳极侧电子注入层311上的电荷发生层(CGL:Charge Generat1n Layer)即阳极侧电荷发生层312 ;形成于阳极侧电荷发生层312上的空穴注入层(HIL:Hole Inject1n Layer)即阳极侧空穴注入层313 ;形成于阳极侧空穴注入层313上的空穴传输层(HTL:Hole TransportLayer)即阳极侧空穴传输层314 ;形成于阳极侧空穴传输层314上的发光部320即发光层321 ;形成于发光层321上的电子传输层(ETL-Electron Transport Layer)即阴极侧电子传输层331 ;形成于阴极侧电子传输层331及阴极电极287之间的电子注入层(EIL:Electron