一种顶栅结构及其制备方法、薄膜晶体管、阵列基板以及显示设备的制造方法
【专利摘要】本发明涉及一种顶栅结构及其制备方法，所述顶栅结构包括栅绝缘层以及位于其上方的栅极层，所述栅绝缘层采用光固化有机硅材料制备而成。本发明进一步涉及包含所述顶栅结构的薄膜晶体管、阵列基板以及显示装置。本发明通过采用光固化有机硅材料制备栅绝缘层，并提供优化的制备方法，可以减小偏移区，避免了偏移区增大导致的薄膜晶体管电学性能下降等问题，具有广泛的应用前景。
【专利说明】
-种顶栅结构及其制备方法、薄膜晶体管、阵列基板从及显示 设备
技术领域
[0001] 本发明设及显示技术领域，具体设及一种顶栅结构及其制备方法，W及含有所述 顶栅结构的薄膜晶体管、阵列基板W及显示设备。
【背景技术】
[0002] 顶栅结构薄膜晶体管技术中薄膜晶体管栅极与S/D电极无重叠，因此寄生电容非 常低，同时由于布局灵活，所W在高分辨率、高刷新率、窄边框、低功耗的大尺寸化邸产品应 用方面更具优势。
[0003] 然而，现有技术提供湿刻等工艺中CD偏移较大，从而使得栅极层偏小，导致偏移区 offset出现(如图1所示），而偏移区域增大会导致薄膜晶体管的电学性能下降，从而影响显 示装置的性能。
【发明内容】
[0004] 本发明的目的是克服偏移区域增大导致的薄膜晶体管电学性能下降问题，通过采 用光固化有机娃材料制备栅绝缘层并提供优化的制备方法，从而有效避免偏移区的产生。
[0005] 具体而言，本发明提供了一种顶栅结构，包括栅绝缘层W及位于其上方的栅极层， 所述栅绝缘层采用光固化有机娃材料制备而成。
[0006] 本发明对通过对光固化有机娃材料进行优选，对减小偏移区的效果进行优化。具 体而言，所述光固化有机娃材料为笼型聚倍半硅氧烷或线性有机娃树脂。
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[001^ 上述结构中，R代表光敏基团，Rf代表疏水性基团，n为1-3的整数。
[0013] 本发明所述光敏基团R选自
本发明通过对光 敏基团进行具体优选，可W优化机娃光固化材料的光固化效果。
[0014] 所述Rf基团选自-CF3、-CF2CF3或-CF2CF2CF3。本发明通过对疏水性基团进行具体优 选，增强疏水性和抗刻蚀性;确保栅绝缘层表面是疏水表面，而导体化区域及其他区域是亲 水表面，表面性能的差别更有利于其它固化材料填满栅绝缘层外的区域。
[0015] 本发明优选所述栅绝缘层的厚度为2.Owii~2.5皿。该厚度范围有利于对顶栅结构 进行控制，从而有效避免偏移区的产生。
[0016] 本发明同时提供了所述顶栅结构的制备方法。本发明通过使用特定方法制备顶栅 结构，不仅可W有效避免偏移区的产生，还可W减少现有技术中薄膜沉积及干刻、湿刻等步 骤，缩减了多道工序，有利于工业化生产W及对薄膜晶体管综合性能的有效控制。
[0017] 具体而言，制备顶栅结构的方法包括如下步骤：
[0018] (1)采用光固化有机娃材料制备栅绝缘层；
[0019] (2)在所述栅绝缘层的外侧涂布与所述光固化有机娃材料热膨胀系数不同的固化 材料，固化后，在所述栅绝缘层与所述固化材料形成的平面上，采用瓣射法涂布制备栅极层 所用的金属；
[0020] (3)将与所述光固化有机娃材料热膨胀系数不同的固化材料及其上方的金属剥 离，即可。
[0021] 所述步骤(2)中，采用与制备栅绝缘层采用的光固化有机娃材料热膨胀系数不同 的固化材料，可W确保其与栅绝缘层在交界处有效地断裂，从而将后固化的固化材料顺利 剥离，可得到所需的顶栅结构。
[0022] 具体而言，与所述光固化有机娃材料热膨胀系数不同的固化材料优选为紫外光固 化材料或热固化材料。其中，所述紫外光固化材料进一步优选为丙締酸醋树脂系列感光材 料;所述热固化材料进一步优选为环氧树脂系列热固材料。
[0023] 所述步骤(2)中，应确保所述栅绝缘层与所述热固化材料的上表面形成一个平面， 在该平面上，采用瓣射法涂布一层制备栅极层所用的金属。
[0024] 上述制备方法中，所述栅绝缘层采用包括如下步骤的方法制备而成：W旋转涂布 方式涂布光固化有机娃材料，曝光显影后，烘干。
[0025] 上述制备方法中，优选采用喷墨打印或狭缝涂布方式涂布与所述光固化有机娃材 料的热膨胀系数不同的固化材料。
[0026] 上述制备方法中，所述栅极层采用瓣射法涂布一层金属后形成。
[0027] 本发明进一步提供一种薄膜晶体管，所述薄膜晶体管含有本发明所述的顶栅结构 或本发明所述方法制备而成的顶栅结构。
[0028] 所述薄膜晶体管优选为氧化物薄膜晶体管；具体而言，所述薄膜晶体管包括自下 而上设置的有源层、栅绝缘层W及栅极层;所述有源层中含有金属氧化物。其中，所述金属 氧化物可选自IGZCKZnON或/和口ZO。
[0029] 作为本发明的一种具体方案，所述薄膜晶体管包括自下而上设置的基板、遮挡层、 缓冲层、有源层、栅绝缘层W及栅极层。
[0030] 其中，所述遮挡层可采用AlNd或/和Mo制备而成。所述缓冲层可采用SiOx制备而 成。
[0031] 为了提高各层之间的协同作用效果，本发明对各层的具体厚度进行了优选。具体 而言，所述遮挡层的厚度优选为1.5皿~3.5皿;所述缓冲层的厚度优选为0.5WI1~1.5皿，进 一步优选为1皿;所述有源层的厚度优选为500nm~lOOOnm。
[0032] 所述薄膜晶体管可由本领域的常规方法制备而成，本发明提供其中一种优选方 案，具体包括如下步骤：
[0033] (a)基板预处理；
[0034] (b)采用瓣射法制备遮挡层，再在其上方用化学气相沉积法制备缓冲层；
[0035] (C)在所述缓冲层的上方制备有源层；
[0036] (d)在所述有源层的上方，采用旋转涂布方式涂布光固化有机娃材料，制备栅绝缘 层;等离子处理所述有源层，使其导体化；
[0037] (e)在所述栅绝缘层的外侧涂布与所述光固化有机娃材料热膨胀系数不同的固化 材料，固化后，在所述栅绝缘层与所述固化材料形成的平面上，采用瓣射法涂布制备栅极层 所用的金属；
[0038] (f)将与所述光固化有机娃材料热膨胀系数不同的固化材料及其上方的金属剥 离，即可。
[0039] 本发明进一步保护包含所述薄膜晶体管的阵列基板，W及包含所述阵列基板的显 示设备。所述显示设备优选为有机发光二极管显示器(OLED)或液晶显示器化CD)。
[0040] 本发明提供的方案采用光固化有机娃材料制作栅绝缘层，可有效避免偏移区的产 生，同时减少了工艺难度和制程，省去原有工艺中薄膜的沉积和干刻、湿刻等步骤。本发明 提供的顶栅结构避免了偏移区增大导致的薄膜晶体管电学性能下降等问题，可提升显示装 置的性能，具有广泛的应用前景。
【附图说明】
[0041 ]图1为偏移区(off set)示意图；
[0042] 图2为实施例4所述薄膜晶体管的制备流程示意图；图中：1、玻璃基板;2、遮挡层； 3、缓冲层;4、导体化区域;5、有源层;6、栅绝缘层;7、栅极层；
[0043] 其中，a、b、c、d、e、f依次对应各制备步骤。
【具体实施方式】
[0044] W下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。
[0045] 实施例1
[0046] 本实施例提供了一种顶栅结构，包括栅绝缘层W及位于其上方的栅极层，所述栅 绝缘层采用笼型聚倍半硅氧烷制备而成；
[0047] 所述笼型聚倍半硅氧烷的结构如下所示：
[004引
，'
[0049]其中，R代表光敏基团
Rf代表疏水性基团- CF3、-CF2 肌或-CF2CF2CF3。
[00加]实施例2
[0051] 本实施例提供了一种顶栅结构，包括栅绝缘层W及位于其上方的栅极层，所述栅 绝缘层采用线性有机娃树脂制备而成；
[0052] 所述线性有机娃树脂的结构如下所示：
[0化3]
[0054] Rf代表疏水性基团- 9' C的、-CF2C的或-CF2CF2C的，n为 1、2或 3。
[0化5] 实施例3
[0056] 本实施例提供了一种顶栅结构的制备方法，包括W下具体步骤:采用旋转涂布方 式涂布一层光固化有机娃材料，曝光显影后烘干，形成栅绝缘层;在所述栅绝缘层的外侧， 用狭缝涂布方式涂布一层热固化材料，放置于烘箱固化后，确保所述栅绝缘层与所述热固 化材料的上表面形成一个平面，在该平面上，采用瓣射法涂布一层制备栅极层所用的金属； 采用剥离方式去除所述固化后的热固化材料W及其上方的金属，即可。
[0057] 实施例1或2所述均可采用本实施例所述方法制备得到。
[0化引实施例4
[0059] 本实施例提供了一种薄膜晶体管结构，其制备流程示意图如图2所示，包括W下依 次进行的步骤：
[0060] (a)基板预处理:采用标准方法清洗玻璃基板衬底；
[0061] (b)遮挡层W及缓冲层的制备：用瓣射法涂布一层金属(AIM、或Mo),厚度约为2.5 WH，用曝光显影方式实现图形化;再在其上方用化学气相沉积方式沉积一层Si化，厚度约为 化m;
[0062] (C)有源层的制备:沉积一层金属氧化物（IGZO JnO晒UTZO)，厚度约为750nm，进 行图形化处理；
[0063] (d)栅绝缘层W及导体化区域的制备:采用旋转涂布方式涂布一层光固化有机娃 材料，厚度约2.2皿~2.3WH，曝光显影后烘干，形成栅绝缘层;等离子处理有源层，使金属氧 化物导体化；
[0064] (e)栅极层的制备:在所述栅绝缘层的外侧，用狭缝涂布方式涂布一层环氧树脂系 列热固化材料，放置于烘箱固化后，确保所述栅绝缘层与所述热固化材料形成一个平面，在 该平面上，采用瓣射法涂布一层制备栅极层所用的金属；
[0065] (f)采用剥离方式去除所述固化后的热固化材料W及其上方的金属，即可。
[0066] 采用上述方法制备而成的薄膜晶体管结构如图2中f所示，其包括自下而上设置的 玻璃基板1、遮挡层2、缓冲层3、导体化区域4、有源层5、栅绝缘层6W及栅极层7。
[0067] 其中，所述栅绝缘层采用实施例1所述笼型聚倍半硅氧烷或实施例2所述线性有机 娃树脂制备而成。
[006引实施例5
[0069] 本实施例提供了一种阵列基板，其中含有实施例4提供的薄膜晶体管，采用本领域 常规方法制备而成。
[0070] 实施例6
[0071] 本实施例提供了一种有机发光二极管显示器，其中含有实施例5提供的阵列基板， 采用本领域常规的方法制备而成。
[0072] 实施例7
[0073] 本实施例提供了一种液晶显示器，其中含有实施例5提供的阵列基板，采用本领域 常规的方法制备而成。
[0074] 虽然，上文中已经用一般性说明、【具体实施方式】及试验，对本发明作了详尽的描 述，但在本发明基础上，可W对之作一些修改或改进，运对本领域技术人员而言是显而易见 的。因此，在不偏离本发明精神的基础上所做的运些修改或改进，均属于本发明要求保护的 范围。
【主权项】
1. 一种顶栅结构，包括栅绝缘层W及位于其上方的栅极层，其特征在于，所述栅绝缘层 采用光固化有机娃材料制备而成。2. 根据权利要求1所述的顶栅结构，其特征在于，所述光固化有机娃材料为笼型聚倍半 硅氧烷或线性有机娃树脂； 所述笼型聚倍半硅氧烷的结构如下所示：；> 所述线性有机娃树脂的结构如下所示：所述笼型聚倍半硅氧烷或线性有机娃树脂结构中，R代表光敏基团，Rf代表疏水性基团， η为1~3的整数。3. 根据权利要求2所述的顶栅结构，其特征在于，所述R选自4. 根据权利要求2或3所述的顶栅结构，其特征在于，所述Rf选自-CF3、-CF2CF3或- CF2CF2CF305. 根据权利要求1所述的顶栅结构，其特征在于，所述栅绝缘层的厚度为2. Ομπι~2 .扣 ΓΠ 〇6. 制备权利要求1~5任意一项所述顶栅结构的方法，其特征在于，包括如下步骤： (1) 采用光固化有机娃材料制备栅绝缘层； (2) 在所述栅绝缘层的外侧涂布与所述光固化有机娃材料热膨胀系数不同的固化材 料，固化后，在所述栅绝缘层与所述固化材料形成的平面上，采用瓣射法涂布制备栅极层所 用的金属； (3) 将与所述光固化有机娃材料热膨胀系数不同的固化材料及其上方的金属剥离，即 可。7. 根据权利要求6所述的方法，其特征在于，与所述光固化有机娃材料热膨胀系数不同 的固化材料为紫外光固化材料或热固化材料。8. 根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述紫外光固化材料为丙締酸醋树脂系列 感光材料； 所述热固化材料为环氧树脂系列热固材料。9. 根据权利要求6~8任意一项所述的方法，其特征在于，所述栅绝缘层采用包括如下 步骤的方法制备而成旋转涂布方式涂布光固化有机娃材料，曝光显影后，烘干。10. 根据权利要求6~8任意一项所述的方法，其特征在于，采用喷墨打印或狭缝涂布方 式涂布与所述光固化有机娃材料的热膨胀系数不同的固化材料。11. 根据权利要求6~8任意一项所述的方法，其特征在于，所述栅极层采用瓣射法制备 而成。12. -种薄膜晶体管，其特征在于，包含权利要求1~5任意一项所述顶栅结构或权利要 求6~11任意一项所述方法制备而成的顶栅结构。13. 根据权利要求12所述的薄膜晶体管，其特征在于，包括自下而上设置的有源层、栅 绝缘层W及栅极层;所述有源层中含有金属氧化物IGZO、ZnON或/和口ZO。14. 根据权利要求12或13所述的薄膜晶体管，其特征在于，包括自下而上设置的基板、 遮挡层、缓冲层、有源层、栅绝缘层W及栅极层。15. 根据权利要求14所述的薄膜晶体管，其特征在于，所述遮挡层采用AlNd或/和Mo制 备而成； 或/和，所述缓冲层采用Si化制备而成。16. 根据权利要求14所述的薄膜晶体管，其特征在于，所述遮挡层的厚度为1.5WI1~3.5 μL?; 或/和，所述缓冲层的厚度为0.5μπι~1.5μπι; 或/和，所述有源层的厚度为500nm~lOOOnm。17. 根据权利要求14所述的薄膜晶体管，其特征在于，由包括如下步骤的方法制备而 成： (a) 基板预处理； (b) 采用瓣射法制备遮挡层，再在其上方用化学气相沉积法制备缓冲层； (C)在所述缓冲层的上方制备有源层； (d) 在所述有源层的上方，采用旋转涂布方式涂布光固化有机娃材料，制备栅绝缘层； 等离子处理所述有源层，使其导体化； (e) 在所述栅绝缘层的外侧涂布与所述光固化有机娃材料热膨胀系数不同的固化材 料，固化后，在所述栅绝缘层与所述固化材料形成的平面上，采用瓣射法涂布制备栅极层所 用的金属； (f) 将与所述光固化有机娃材料热膨胀系数不同的固化材料及其上方的金属剥离，即 可。18. -种阵列基板，其特征在于，包含权利要求12~17任意一项所述的薄膜晶体管。19. 一种显示设备，其特征在于，包含权利要求18所述的阵列基板。20. 根据权利要求19所述的显示设备，其特征在于，所述显示设备为有机发光二极管显 不器或液晶显不器。
【文档编号】H01L29/786GK105845721SQ201610342275
【公开日】2016年8月10日
【申请日】2016年5月20日
【发明人】李伟, 宋泳锡, 张建业
【申请人】京东方科技集团股份有限公司