倾斜半圆门控尖直五棱锥阴极结构的发光显示器的制造方法
【专利摘要】本发明公开了一种倾斜半圆门控尖直五棱锥阴极结构的发光显示器，包括由阴极封装板、阳极封装板和透明玻璃框所构成的真空室；在阳极封装板上有阳极传导层、制备在阳极传导层上面的荧光粉层以及与阳极传导层相连的阳极外延长线层；在阴极封装板上有斜直平行叉门控口字尖三角顶型阴极结构；位于真空室内的支撑柱和消气剂附属元件。具有制作结构简单易行的、发光亮度高的、制作成品率高的优点。
【专利说明】
倾斜半圆门控尖直五棱锥阴极结构的发光显示器
技术领域
[0001]本发明属于真空科学与技术领域、纳米科学与技术领域、光电子科学与技术领域、微电子科学与技术领域、集成电路科学与技术领域以及显示技术领域的相互交叉领域，涉及到平面场发射发光显示器的制作，具体涉及到碳纳米管阴极的平面场发射发光显示器的制作，特别涉及到一种倾斜半圆门控尖直五棱锥阴极结构的发光显示器及其制作工艺。
【背景技术】
[0002]场发射发光显示器是一种新型的显示装置，由于其工作温区广、响应速度快、显示图像质量高等优异特性，而受到了众多科研人员的广泛关注。碳纳米管是一种性能独特的阴极材料，当在其表面的电场强度足够大的时候，无须额外能量的施加，碳纳米管就能够发射出大量电子，因而非常适合于用作场发射发光显示器的冷阴极。在三极结构的场发射发光显示器中，碳纳米管发射的大量电子在阳极高电压作用下，高速向阳极运动;通过对荧光粉层的高能量轰击而使得显示器发出可见光。当然，发光显示器的发光效率、发光强度、发光亮度、功率损耗等技术指标，都是值得关注的。
[0003]不可否认，在目前的三极结构的场发射发光显示器中还存在着许多缺陷。例如，由于门极和碳纳米管层之间的距离偏大，从而导致门极工作电压很高，这不符合低压低功率损耗平面显示器件的主流要求。由于门极和碳纳米管层之间制作结构的不合理，造成门极对碳纳米管层的控制性能较差，即碳纳米管发射电子的多少无法随着门极工作电压的变化而变化，这无形中会极大增加整体发光显示器的功率损耗，在严重情况下，随着门极工作电压调控能力的缺失，从而造成发光显示器的报废。在碳纳米管阴极方面，鉴于阴极制作结构的不合理，使得碳纳米管电子发射效率严重降低，无法使得更多的碳纳米管都参与电子发射，那么提升发光显示器的发光效率和发光亮度也就无从谈起了。
[0004]此外，在制作三极结构场发射发光显示器的过程中，制作工艺的可行性、如何进一步降低整体发光显示器的制作成本、以及如何提升整体发光显示器的制作成品率，这些也都是值得考虑的冋题。
【发明内容】
[0005]发明目的:本发明的目的在于克服上述发光显示器中存在的缺陷和不足，提供一种制作工艺简单的、制作成品率高的、显示器发光亮度高的、制作过程稳定可靠的倾斜半圆门控尖直五棱锥阴极结构的发光显示器及其制作工艺。
[0006]技术方案:本发明的倾斜半圆门控尖直五棱锥阴极结构的发光显示器，包括由后玻璃面板、前玻璃面板和透明玻璃框所构成的真空室；以及位于真空室内的隔离墙和消气剂附属元件;在前玻璃面板上有阳极膜电极层、阳极连接线层和荧光粉层，所述阳极连接线层与阳极膜电极层相连，所述荧光粉层制备在阳极膜电极层上面;在后玻璃面板上有倾斜半圆门控尖直五棱锥阴极结构。
[0007]具体地，所述的倾斜半圆门控尖直五棱锥阴极结构的衬底材料为后玻璃面板;后玻璃面板上的印刷的绝缘浆料层形成黑色遮挡层；黑色遮挡层上的印刷的银浆层形成阴极引线层；阴极引线层上的印刷的绝缘浆料层形成阴极增高层；阴极增高层呈现实心的五棱锥体型，其外侧壁为五棱锥形状，其下表面为平面，其顶部为笔直的尖状，五棱锥体型阴极增高层的中心轴向垂直于后玻璃面板，阴极增高层内部是非空心的；阴极增高层外侧壁上的印刷的银浆层形成阴极连接线层；阴极连接线层和阴极引线层是相互连通的；阴极连接线层为条状，仅覆盖于五棱锥体型阴极增高层外侧壁五个侧面中的一个侧面上；阴极增高层上的刻蚀的金属层形成阴极导电层；阴极导电层覆盖于阴极增高层外侧壁表面的上半部分，即五棱锥体型阴极增高层外侧壁下半部分表面不存在阴极导电层；阴极导电层和阴极连接线层是相互连通的；黑色遮挡层上面的印刷的绝缘浆料层形成门极增高层；门极增高层的下表面为平面；门极增高层中存在圆形孔，圆形孔中暴露出阴极导电层、阴极连接线层和阴极增高层；门极增高层上表面中靠近圆形孔边缘处存在一个向下凹陷的四分之一圆弧面，其弧面的最低高度与阴极增高层外侧壁阴极导电层的下边缘的高度是相同的，门极增高层上表面的其余部分为平面；门极增高层上表面中凹陷的四分之一圆弧面上的印刷的银浆层形成门极电极一层；门极增高层上表面中平面部分上的印刷的银浆层形成门极引线层；阴极引线层和门极电极一层是相互连通的；门极电极一层上的印刷的绝缘浆料层形成门极基层；门极基层呈现倾斜的半圆形状，门极基层的倾斜角度与阴极增高层外侧壁的倾斜角度是相同的；门极基层上半部分表面上的印刷的银浆层形成门极电极二层；门极电极二层和门极电极一层是相互连通的；门极电极二层和门极引线层上的印刷的绝缘浆料层形成门极遮挡层;碳纳米管制备在阴极导电层上。
[0008]所述后玻璃面板的材料为硼硅玻璃或钠钙玻璃。
[0009]所述倾斜半圆门控尖直五棱锥阴极结构的固定位置为后玻璃面板;阴极导电层为金属银、钼、铬、镍、锡或钴。
[0010]本发明同时提供上述倾斜半圆门控尖直五棱锥阴极结构的发光显示器的制作工艺，包括以下步骤:
[0011]I)后玻璃面板的制作:对平面钠钙玻璃进行划割，形成后玻璃面板；
[0012]2)黑色遮挡层的制作:在后玻璃面板上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成黑色遮挡层；
[0013]3)阴极引线层的制作:在黑色遮挡层上印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成阴极引线层；
[0014]4)阴极增高层的制作:在阴极引线层上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成阴极增高层；
[0015]5)阴极连接线层的制作:在阴极增高层上印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成阴极连接线层；
[0016]6)阴极导电层的制作:在阴极增高层上制备出一个金属镍层，刻蚀后形成阴极导电层；
[0017]7)门极增高层的制作:在黑色遮挡层上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成门极增高层；
[0018]8)门极电极一层的制作:在门极增高层上印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成门极电极一层；
[0019]9)门极引线层的制作:在门极增高层上印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成门极引线层；
[0020]10)门极基层的制作:在门极电极一层上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成门极基层；
[0021]11)门极电极二层的制作:在门极基层上印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成门极电极二层；
[0022]12)门极遮挡层的制作:在门极电极二层和门极引线层上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成门极遮挡层；
[0023]13)倾斜半圆门控尖直五棱锥阴极结构的清洁:对倾斜半圆门控尖直五棱锥阴极结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；
[0024]14)碳纳米管层的制作:将碳纳米管印刷在阴极导电层上，形成碳纳米管层；
[0025]15)碳纳米管层的处理:对碳纳米管层进行后处理，改善其场发射特性；
[0026]16)前玻璃面板的制作:对平面钠钙玻璃进行划割，形成前玻璃面板；
[0027]17)阳极膜电极层的制作:对覆盖于前玻璃面板表面的锡铟氧化物膜层进行刻蚀，形成阳极膜电极层；
[0028]18)阳极连接线层的制作:在前玻璃面板上印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成阳极连接线层；
[0029]19)荧光粉层的制作:在阳极膜电极层上印刷荧光粉，经烘烤工艺后形成荧光粉层；
[0030]20)显示器器件装配:将消气剂安装于前玻璃面板的非显示区域;然后，将前玻璃面板、后玻璃面板、透明玻璃框和隔离墙装配到一起，用夹子固定；
[0031]21)显示器器件封装:对已装配的显示器器件进行封装工艺形成成品件。
[0032]其中，所述步骤18具体为:在前玻璃面板上的非显示区域印刷银浆，经过烘烤之后，最高烘烤温度:180°C，最高烘烤温度保持时间:8分钟;放置在烧结炉中进行烧结，最高烧结温度:525 °C，最高烧结温度保持时间:8分钟。
[0033]其中，所述步骤19具体为:在前玻璃面板上的阳极膜电极层上印刷荧光粉，然后放置在烘箱中进行烘烤，最高烘烤温度为120°C，最高烘烤温度保持时间:10分钟。
[0034]其中，所述步骤21具体为:将显示器器件放入烘箱中进行烘烤;放入烧结炉中进行烧结;在排气台上进行器件排气、封离;在烤消机上对消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。
[0035]有益效果:本发明具有如下显著的进步:
[0036]首先，在所述的倾斜半圆门控尖直五棱锥阴极结构中，碳纳米管层制作了阴极导电层上。由于阴极增高层的侧面为五棱锥体型形状，这就不可避免的增大了碳纳米管层的制作面积，能够使得更多的碳纳米管都参与到电子场发射中来，这对进一步增大发光显示器的阳极电流、提升发光显示器的发光亮度是十分有利的。当外加电压通过阴极导电层传递到碳纳米管以后，就会在碳纳米管表面顶端形成强大的电场强度，迫使碳纳米管发射出更多的电子。
[0037]其次，在所述的倾斜半圆门控尖直五棱锥阴极结构中，门极呈现倾斜的半圆形状。随着门极工作电压的变化，使得碳纳米管表面顶端的电场强度也会发生变化，从而迫使碳纳米管发射出不同数量的电子，这就体现了门极对碳纳米管层的强有力控制作用。由于门极电极一层和门极电极二层都呈现层状，这对于碳纳米管表面顶端强大电场强度的形成是十分有利的。另外，在制作结构方面，鉴于门极电极一层和门极电极二层的高度，会使得更多的碳纳米管都进行场发射。
[0038]第三，在所述的倾斜半圆门控尖直五棱锥阴极结构中，门极电极一层和门极电极二层均位于碳纳米管层的旁侧，且分别被门极基层和门极遮挡层所覆盖。这也就意味着，碳纳米管所发射的大部分电子，都会在阳极高电压的作用下形成阳极电流;仅会有很小部分电子被门极所截留而形成门极电流。这对于进一步增加发光显示器的发光强度、提升发光显示器的效率是有利的。
[0039]此外，在所述的倾斜半圆门控尖直五棱锥阴极结构中，并没有采用特殊的制作材料，也没有采用特殊的制作工艺，这有利于进一步降低发光显示器的制作成本。由于整体发光显示器的制作工艺简单易行，这同样也会进一步提升发光显示器的制作成品率。
【附图说明】
[0040]图1给出了倾斜半圆门控尖直五棱锥阴极结构的纵向结构示意图；
[0041]图2给出了倾斜半圆门控尖直五棱锥阴极结构的横向结构示意图；
[0042]图3给出了一种倾斜半圆门控尖直五棱锥阴极结构的发光显示器的结构示意图；
[0043]图中:后玻璃面板1、黑色遮挡层2、阴极引线层3、阴极增高层4、阴极连接线层5、阴极导电层6、门极增高层7、门极电极一层8、门极引线层9、门极基层1、门极电极二层11、门极遮挡层12、碳纳米管层13、前玻璃面板14、阳极膜电极层15、阳极连接线层16、荧光粉层
17、消气剂18、透明玻璃框19、隔离墙20。
【具体实施方式】
[0044]下面结合附图和实施例对本发明进行进一步说明，但本发明并不局限于本实施例。
[0045]本实施例的倾斜半圆门控尖直五棱锥阴极结构的发光显示器如图1、图2和图3所不，包括由后玻璃面板1、前玻璃面板14和透明玻璃框19所构成的真空室;在前玻璃面板14上有阳极膜电极层15、与阳极膜电极层15相连的阳极连接线层16以及制备在阳极膜电极层15上面的荧光粉层17;在后玻璃面板I上有倾斜半圆门控尖直五棱锥阴极结构;位于真空室内的隔尚墙20和消气剂18附属兀件。
[0046]倾斜半圆门控尖直五棱锥阴极结构包括后玻璃面板1、黑色遮挡层2、阴极引线层
3、阴极增高层4、阴极连接线层5、阴极导电层6、门极增高层7、门极电极一层8、门极引线层
9、门极基层1、门极电极二层11、门极遮挡层12和碳纳米管层13。
[0047]倾斜半圆门控尖直五棱锥阴极结构的衬底材料为玻璃，可以为硼硅玻璃、钠钙玻璃，也就是后玻璃面板I;后玻璃面板I上的印刷的绝缘浆料层形成黑色遮挡层2;黑色遮挡层2上的印刷的银浆层形成阴极引线层3;阴极引线层3上的印刷的绝缘浆料层形成阴极增高层4;阴极增高层4呈现实心的五棱锥体型，即阴极增高层4的外侧壁为五棱锥形状，其下表面为平面，其顶部为笔直的尖状，五棱锥体型阴极增高层4的中心轴向垂直于后玻璃面板I，阴极增高层4内部是非空心的；阴极增高层4外侧壁上的印刷的银浆层形成阴极连接线层5;阴极连接线层5和阴极引线层3是相互连通的；阴极连接线层5为条状，仅覆盖于五棱锥体型阴极增高层4外侧壁五个侧面中的一个侧面上；阴极增高层4上的刻蚀的金属层形成阴极导电层6;阴极导电层6覆盖于阴极增高层4外侧壁表面的上半部分，即五棱锥体型阴极增高层4外侧壁下半部分表面不存在阴极导电层6;阴极导电层6和阴极连接线层5是相互连通的；黑色遮挡层2上面的印刷的绝缘浆料层形成门极增高层7;门极增高层7的下表面为平面；门极增高层7中存在圆形孔，圆形孔中暴露出阴极导电层6、阴极连接线层5和阴极增高层4;门极增高层7上表面中靠近圆形孔边缘处存在一个向下凹陷的四分之一圆弧面，其弧面的最低高度与阴极增高层4外侧壁阴极导电层6的下边缘的高度是相同的，门极增高层7上表面的其余部分为平面；门极增高层7上表面中凹陷的四分之一圆弧面上的印刷的银浆层形成门极电极一层8;门极增高层7上表面中平面部分上的印刷的银浆层形成门极引线层9;阴极引线层3和门极电极一层8是相互连通的；门极电极一层8上的印刷的绝缘浆料层形成门极基层10;门极基层10呈现倾斜的半圆形状，门极基层10的倾斜角度与阴极增高层4外侧壁的倾斜角度是相同的；门极基层10上半部分表面上的印刷的银浆层形成门极电极二层11;门极电极二层11和门极电极一层8是相互连通的；门极电极二层11的最高高度低于阴极增高层4的最高高度；门极电极二层11和门极引线层9上的印刷的绝缘浆料层形成门极遮挡层12;碳纳米管层制备在阴极导电层6上。
[0048]倾斜半圆门控尖直五棱锥阴极结构的固定位置为后玻璃面板I;阴极导电层6可以为金属银、钥、络、银、锡、钻。
[0049]该倾斜半圆门控尖直五棱锥阴极结构的发光显示器的制作工艺，其制作工艺如下:
[0050]I)后玻璃面板I的制作:对平面钠钙玻璃进行划割，形成后玻璃面板I;
[0051]2)黑色遮挡层2的制作:在后玻璃面板I上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成黑色遮挡层2;
[0052]3)阴极引线层3的制作:在黑色遮挡层2上印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成阴极引线层3;
[0053]4)阴极增高层4的制作:在阴极引线层3上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成阴极增高层4;
[0054]5)阴极连接线层5的制作:在阴极增高层4上印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成阴极连接线层5 ；
[0055]6)阴极导电层6的制作:在阴极增高层4上制备出一个金属镍层，刻蚀后形成阴极导电层6;
[0056]7)门极增高层7的制作:在黑色遮挡层2上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成门极增高层7;
[0057]8)门极电极一层8的制作:在门极增高层7上印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成门极电极一层8;
[0058]9)门极引线层9的制作:在门极增高层7上印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成门极引线层9;
[0059]10)门极基层10的制作:在门极电极一层8上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成门极基层10;
[0060]11)门极电极二层11的制作:在门极基层10上印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成门极电极二层11;
[0061]12)门极遮挡层12的制作:在门极电极二层11和门极引线层9上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成门极遮挡层12;
[0062]13)倾斜半圆门控尖直五棱锥阴极结构的清洁:对倾斜半圆门控尖直五棱锥阴极结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；
[0063]14)碳纳米管层13的制作:将碳纳米管印刷在阴极导电层6上，形成碳纳米管层13;
[0064]15)碳纳米管层13的处理:对碳纳米管层13进行后处理，改善其场发射特性；
[0065]16)前玻璃面板14的制作:对平面钠钙玻璃进行划割，形成前玻璃面板14;
[0066]17)阳极膜电极层15的制作:对覆盖于前玻璃面板14表面的锡铟氧化物膜层进行刻蚀，形成阳极膜电极层15;
[0067]18)阳极连接线层16的制作:在前玻璃面板14上印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成阳极连接线层16;具体是在前玻璃面板14上的非显示区域印刷银浆，经过烘烤(最高烘烤温度:180°C，最高烘烤温度保持时间:8分钟)之后，放置在烧结炉中进行烧结(最高烧结温度:525 °C，最高烧结温度保持时间:8分钟)。
[0068]19)荧光粉层17的制作:在阳极膜电极层15上印刷荧光粉，经烘烤工艺后形成荧光粉层17;具体是在前玻璃面板14上的阳极膜电极层15上印刷荧光粉，然后放置在烘箱中进行烘烤(最高烘烤温度为120°C，最高烘烤温度保持时间:10分钟)。
[0069]20)显示器器件装配:将消气剂18安装于前玻璃面板14的非显示区域;然后，将前玻璃面板14、后玻璃面板1、透明玻璃框19和隔离墙20装配到一起，用夹子固定；21)显示器器件封装:对已装配的显示器器件进行封装工艺形成成品件。具体是将显示器器件放入烘箱中进行烘烤;放入烧结炉中进行烧结;在排气台上进行器件排气、封离;在烤消机上对消气剂18进行烤消，最后加装管脚形成成品件。
【主权项】
1.一种倾斜半圆门控尖直五棱锥阴极结构的发光显示器，包括由后玻璃面板、前玻璃面板和透明玻璃框所构成的真空室；以及位于真空室内的隔离墙和消气剂附属元件;其特征在于:在前玻璃面板上有阳极膜电极层、阳极连接线层和荧光粉层，所述阳极连接线层与阳极膜电极层相连，所述荧光粉层制备在阳极膜电极层上面;在后玻璃面板上有倾斜半圆门控尖直五棱锥阴极结构。2.根据权利要求1所述的倾斜半圆门控尖直五棱锥阴极结构的发光显示器，其特征在于:所述倾斜半圆门控尖直五棱锥阴极结构的衬底材料为后玻璃面板;后玻璃面板上的印刷的绝缘浆料层形成黑色遮挡层；黑色遮挡层上的印刷的银浆层形成阴极引线层；阴极引线层上的印刷的绝缘浆料层形成阴极增高层；阴极增高层呈现实心的五棱锥体型，其外侧壁为五棱锥形状，其下表面为平面，其顶部为笔直的尖状，五棱锥体型阴极增高层的中心轴向垂直于后玻璃面板，阴极增高层内部是非空心的；阴极增高层外侧壁上的印刷的银浆层形成阴极连接线层；阴极连接线层和阴极引线层是相互连通的；阴极连接线层为条状，仅覆盖于五棱锥体型阴极增高层外侧壁五个侧面中的一个侧面上；阴极增高层上的刻蚀的金属层形成阴极导电层；阴极导电层覆盖于阴极增高层外侧壁表面的上半部分；阴极导电层和阴极连接线层相互连通；黑色遮挡层上面的印刷的绝缘浆料层形成门极增高层；门极增高层的下表面为平面；门极增高层中存在圆形孔，圆形孔中暴露出阴极导电层、阴极连接线层和阴极增高层；门极增高层上表面中靠近圆形孔边缘处存在一个向下凹陷的四分之一圆弧面，其弧面的最低高度与阴极增高层外侧壁阴极导电层的下边缘的高度相同，门极增高层上表面的其余部分为平面；门极增高层上表面中凹陷的四分之一圆弧面上的印刷的银浆层形成门极电极一层；门极增高层上表面中平面部分上的印刷的银浆层形成门极引线层；阴极引线层和门极电极一层相互连通；门极电极一层上的印刷的绝缘浆料层形成门极基层；门极基层呈现倾斜的半圆形状，门极基层的倾斜角度与阴极增高层外侧壁的倾斜角度相同；门极基层上半部分表面上的印刷的银浆层形成门极电极二层；门极电极二层和门极电极一层相互连通；门极电极二层和门极引线层上的印刷的绝缘浆料层形成门极遮挡层;碳纳米管层制备在阴极导电层上。3.根据权利要求2所述的倾斜半圆门控尖直五棱锥阴极结构的发光显示器，其特征在于:所述后玻璃面板的材料为硼硅玻璃或钠钙玻璃。4.根据权利要求1所述的倾斜半圆门控尖直五棱锥阴极结构的发光显示器，其特征在于:所述所述倾斜半圆门控尖直五棱锥阴极结构的固定位置为后玻璃面板；阴极导电层为金属银、钼、铬、镍、锡或钴。5.根据权利要求1所述的倾斜半圆门控尖直五棱锥阴极结构的发光显示器的制作工艺，其特征在于包括以下步骤: 1)后玻璃面板的制作:对平面钠钙玻璃进行划割，形成后玻璃面板； 2)黑色遮挡层的制作:在后玻璃面板上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成黑色遮挡层； 3)阴极引线层的制作:在黑色遮挡层上印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成阴极引线层； 4)阴极增高层的制作:在阴极引线层上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成阴极增尚层； 5)阴极连接线层的制作:在阴极增高层上印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成阴极连接线层； 6)阴极导电层的制作:在阴极增高层上制备出一个金属镍层，刻蚀后形成阴极导电层； 7)门极增高层的制作:在黑色遮挡层上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成门极增尚层； 8)门极电极一层的制作:在门极增高层上印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成门极电极一层； 9)门极引线层的制作:在门极增高层上印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成门极引线层； 10)门极基层的制作:在门极电极一层上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成门极基层; 11)门极电极二层的制作:在门极基层上印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成门极电极二层； 12)门极遮挡层的制作:在门极电极二层和门极引线层上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成门极遮挡层； 13)倾斜半圆门控尖直五棱锥阴极结构的清洁:对倾斜半圆门控尖直五棱锥阴极结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘； 14)碳纳米管层的制作:将碳纳米管印刷在阴极导电层上，形成碳纳米管层； 15)碳纳米管层的处理:对碳纳米管层进行后处理，改善其场发射特性； 16)前玻璃面板的制作:对平面钠钙玻璃进行划割，形成前玻璃面板； 17)阳极膜电极层的制作:对覆盖于前玻璃面板表面的锡铟氧化物膜层进行刻蚀，形成阳极膜电极层； 18)阳极连接线层的制作:在前玻璃面板上印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成阳极连接线层； 19)荧光粉层的制作:在阳极膜电极层上印刷荧光粉，经烘烤工艺后形成荧光粉层； 20)显示器器件装配:将消气剂安装于前玻璃面板的非显示区域;然后，将前玻璃面板、后玻璃面板、透明玻璃框和隔离墙装配到一起，用夹子固定； 21)显示器器件封装:对已装配的显示器器件进行封装工艺形成成品件。6.根据权利要求5所述的倾斜半圆门控尖直五棱锥阴极结构的发光显示器的制作工艺，其特征在于:所述步骤18中，在前玻璃面板上的非显示区域印刷银浆，经过烘烤之后，最高烘烤温度:180 °C，最高烘烤温度保持时间:8分钟;放置在烧结炉中进行烧结，最高烧结温度:525 °C，最高烧结温度保持时间:8分钟。7.根据权利要求5所述的倾斜半圆门控尖直五棱锥阴极结构的发光显示器的制作工艺，其特征在于:所述步骤19中，在前玻璃面板上的阳极膜电极层上印刷荧光粉，然后放置在烘箱中进行烘烤，最高烘烤温度为120°C，最高烘烤温度保持时间:10分钟。8.根据权利要求5所述的倾斜半圆门控尖直五棱锥阴极结构的发光显示器的制作工艺，其特征在于:所述步骤21中，将显示器器件放入烘箱中进行烘烤;放入烧结炉中进行烧结;在排气台上进行器件排气、封离;在烤消机上对消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。
【文档编号】H01J31/12GK106098513SQ201610534853
【公开日】2016年11月9日
【申请日】2016年7月7日
【发明人】李玉魁
【申请人】金陵科技学院