非接触式晶圆搬运装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种晶圆搬运装置，尤其涉及一种非接触式晶圆搬运装置。
【背景技术】
[0002]制作一个晶圆需进行数十甚至数百道工艺，例如氧化、蚀刻、清洗、杂质扩散、离子植入及薄膜沉积等，而随着的科技进步，半导体工艺的精密度越来越高，为了避免人为操作上所产生的污染与误差，几乎所有的工艺皆已迈向自动化控制并于无尘室中操作，以提高良率及增加产能。
[0003]目前常见的晶圆搬运方式主要为背接触式，将机械手臂接触于晶圆的底部而进行搬运，如中国台湾专利公告第586996号的「晶圆传送机械手臂」，包含有一手臂本体，该手臂本体具有一晶圆承载平面、一第一真空通道及一第二真空通道，该晶圆承载平面有多个第一真空孔及多个第二真空孔，该些第一真空孔形成于该晶圆承载平面的内缘并与该第一真空通道连接导通，该些第二真空孔形成于该晶圆承载平面的外缘并与该第二真空通道连接导通，该第二真空通道与该第一真空通道不互相连接导通，并分别产生真空，以吸附一晶圆的底部，使该晶圆于搬运过程中不会掉落。当要放置该晶圆于一平台上时，该晶圆承载平面会下降使该晶圆被放置于多设置于该平台的缓冲凸出件上，以缓冲该晶圆下降时所产生的力道，然该些缓冲凸出件需对应该晶圆与该晶圆承载平面的位置而进行设置，而无法全面性的对应设置于该晶圆的底部，于多次搬运后，可能会因受力不均而造成该晶圆弯曲等损坏。
[0004]而其他晶圆搬运方式如中国台湾专利公告第1283036号的「正面吸附式晶圆撷取手臂」，其包含有至少一机械手臂、一上臂模块以及一驱动模块，该至少一机械手臂具有一吸附一晶圆的圆锥面，该上臂模块连接于该至少一机械手臂以移动该至少一机械手臂，该驱动模块电性连接于该上臂模块以控制该上臂模块的运作。藉由该机械手臂的该圆锥面，而可吸附该晶圆的上表面，进而搬运该晶圆。然而，在长期使用后，其取放该晶圆的位置可能会产生偏移，而当要放置该晶圆于一平台上时，由于偏移的关系，可能会使该机械手臂过度下降，而压到该晶圆，故很容易压伤或刮伤该晶圆的表面，造成该晶圆的毁坏。
[0005]因此，如何减少该晶圆的底部因受力不均而造成该晶圆弯曲等损坏，以及减少因机械手臂的偏移而使该晶圆毁坏的问题，实为相关业者所需解决的课题。
【实用新型内容】
[0006]本实用新型的主要目的，在于解决减少该晶圆的底部因受力不均而造成该晶圆损坏的问题。
[0007]本实用新型的另一目的，在于解决减少因机械手臂的偏移而使晶圆毁坏的问题。
[0008]为达上述目的，本实用新型提供一种非接触式晶圆搬运装置，用以搬运一晶圆，其包含有:
[0009]一基座；
[0010]一与该基座枢接并相对该基座移动的移动臂，该移动臂具有一远离该基座的操作端;
[0011]一设置于该移动臂之中的管体，该管体包含有一容置一流体的通道以及一和该通道连通并形成于该操作端的吸取口 ；
[0012]一连接于该通道而使该吸取口产生一吸附该晶圆的吸附力的负压装置；
[0013]—自该操作端朝外延伸而出的上盖，该上盖具有一周缘；以及
[0014]—设置于该周缘的限位模块，包含有一自该周缘延伸而与该上盖之间形成一晶圆容置空间并限制该晶圆水平移动的限位件以及一连接于该限位件和该周缘之间以提供该限位件一垂直往复位移的弹性单元。
[0015]上述的非接触式晶圆搬运装置，其中该上盖为一圆盘形状。
[0016]上述的非接触式晶圆搬运装置，其中该弹性单元为一弹簧。
[0017]上述的非接触式晶圆搬运装置，其中更包含一设置于该操作端的感测元件。
[0018]上述的非接触式晶圆搬运装置，其中该流体为气体或液体。
[0019]上述的非接触式晶圆搬运装置，其中该限位模块更包含有一设置于该限位件远离该晶圆容置空间的一侧的第一辅助件，且该第一辅助件接触于该上盖。
[0020]上述的非接触式晶圆搬运装置，其中该限位模块更包含有一第二辅助件，该第二辅助件设置于该第一辅助件相邻该移动臂的一侧，且该第二辅助件接触于该上盖的一顶面。
[0021]上述的非接触式晶圆搬运装置，其中该限位模块更包含有一设置于该第二辅助件相邻于该顶面的缓冲片。
[0022]综上所述，本实用新型具有以下特点:
[0023]—、藉由该负压装置连接于该通道而使该吸取口产生该吸附力而吸附该晶圆，并使该晶圆与该操作端保持一操作距离，故本实用新型可以在不接触该晶圆的情况下搬运该晶圆，以防止该晶圆损坏。
[0024]二、藉由该限位件的设置，可以限制该晶圆位于该晶圆容置空间，防止该晶圆于搬运过程中因远离位于该操作端的该吸取口而掉落，以减少生产成本以及增加工艺良率。
[0025]三、藉由该限位件与该弹性单元，而可使本实用新型放置该晶圆至一平台时，该限位件会先接触于该平台，该上盖再下压该弹性单元，因该吸附力使该晶圆与该操作端保持该操作距离，因此，该上盖下压时可以使该晶圆的底部受力均匀的被放置于该平台上，减少现有背接触式的搬运方式会使该晶圆的底部非全面性的接触到多设置于该平台上的缓冲凸出件，因受力不均而造成该晶圆弯曲等损害。
[0026]四、当该移动臂长期使用而产生偏移时，该上盖会过度下降而压到该晶圆，因此，该限位件与该弹性单元的设置可以提供一缓冲作用，可以减少该晶圆被该上盖压坏或刮伤。
[0027]以下结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细描述，但不作为对本实用新型的限定。
【附图说明】
[0028]图1，为本实用新型第一实施例的剖视结构示意图；
[0029]图2A?图2D，为本实用新型第一实施例的连续作动示意图；
[0030]图3，为本实用新型第二实施例的剖视结构示意图；
[0031]图4，为本实用新型第三实施例的剖视结构示意图。
【具体实施方式】
[0032]下面结合附图对本实用新型的结构原理和工作原理作具体的描述:
[0033]涉及本实用新型的详细说明及技术内容，现就配合【附图说明】如下:
[0034]请参阅图1及图2A至图2D所示，为本实用新型第一实施例的剖视结构示意图以及连续作动示意图。本实用新型为一种非接触式晶圆搬运装置，是用以搬运一晶圆80，包含有一基座10、一移动臂20、一管体30、一负压装置40、一上盖50以及一限位模块60，该移动臂20与该基座10枢接并相对该基座10移动，且具有一远离该基座10的操作端21，该管体30设置于该移动臂20之中，包含有一容置一流体的通道31以及一和该通道31连通并形成于该操作端21的吸取口 32，该负压装置40连接于该通道31而使该吸取口 32产生一吸附该晶圆80的吸附力，该吸附力使该操作端21与该晶圆80保持一操作距离，而可在不接触到该晶圆80的情况下搬运该晶圆80，防止因接触而造成的损坏，该上盖50自该操作端21朝外延伸而出，具有一周缘，该限位模块60设置于该周缘，包含有一自该周缘延伸而与该上盖50之间形成一晶圆容置空间63并限制该晶圆80水平移动的限位件61以及一连接于该限位件61和该周缘之间以提供该限位件61 —垂直往复位移的弹性单元62。
[0035]于此实施例中，该移动臂20更包含有多个支臂22以及多个设置于该些支臂22之间的转动单元23，藉由该些转动单元23的运作，而可控制该些支臂22的相对位置，使该移动臂20可以于一特定距离内进行操作。此外，该基座10更包含有一枢接件11，而该移动臂20透过该枢接件11而与该基座10枢接，且该管体30可延伸至该基座10再与该负压装置40连接，然该管体30亦可仅设置于该移动臂20，而不延伸至该基座10。
[0036]