四腔室结构射频激光器的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及激光器，具体涉及四腔室结构的射频激光器。
【背景技术】
[0002]目前市场上存在的传统的射频激光器都不具有四腔室结构。
[0003]功率大于百瓦的射频激光器都是单腔结构，包括气密激光腔和附着于激光腔外的各功能配件，有的没有安装位置就只能分体，如高功率射频单元、直流电源被分离;这种单腔结构的缺陷就是:结构复杂，装配困难，屏蔽差，调节困难，激光器工效低。
【发明内容】
[0004]鉴于上述背景情况，本发明提供一种结构简单、紧凑、易装配、不泄漏、低辐射、功率高、效果好的四腔室结构射频激光器。
[0005]根据本发明的一方面，提供一种四腔室结构射频激光器，四腔室包括:中心的气密激光腔，和围绕在气密激光腔周围的光束整形腔、低功率射频腔、高功率射频腔；四腔室结构射频激光器主要包括四腔室和附着于四腔室上的各功能配件；四腔室结构射频激光器整体采用气密激光腔在内，光束整形腔、低功率射频腔、高功率射频腔分布于其周围的一体式结构。
[0006]在一个示例实施例中，一种四腔室结构射频激光器，在一块铝材上的中心位置加工出气密激光腔，围绕着气密激光腔再加工出光束整形腔，低功率射频腔，高功率射频腔。在低功率射频腔与气密激光腔之间加工出安装预电离电极孔位;在高功率射频腔与气密激光腔之间加工出安装射频电极孔位。最后在光束整形腔，低功率射频腔，高功率射频腔处各加工出腔室盖板位。
[0007]气密激光腔内安装有正电极板和负电极板，射频电极穿过腔壳和正电极板连接。在气密激光腔的一端安装有全反射镜，另一端安装有部分反射镜，在部分反射镜的外侧安装有折返镜座，在折返镜座上安装有两片反射镜，将部分反射镜窗口输出的激光束折反到光束整形腔内。激光束通过光束整形腔内的光束整形镜整形成接近于圆形光束平行输出。
[0008]高功率射频腔由控制单元、高功率射频单元两部分组成，并且内部安装有大功率穿芯电容用于引入电流，旁边还有负极线连接孔。
[0009]低功率射频腔由驱动分配单元、驱动单元、预电离单元三部分组成，各单元之间都是各自独立的，各单元之间的导线都安装在线槽内，这样确保线路信号不受干扰。控制信号从控制单元进入低功率射频腔是通过同轴的一对穿芯电容实现的，这样防止高功率射频单元内射频电流对控制信号的干扰。
[0010]光束整形腔内安装有光束整形镜和直流电源两部分。
[0011 ]优选地，四腔室结构射频激光器整体呈长方体形。
[0012 ]优选地，气密激光腔位于四腔室结构射频激光器的中心位置。
[0013]优选地，光束整形腔、低功率射频腔、高功率射频腔分布于气密激光腔的外围。
[0014]优选地，气密激光腔、光束整形腔、低功率射频腔、高功率射频腔是在一块铝材上加工而成，它们是一个整体。
[0015]优选地，在光束整形腔、低功率射频腔、高功率射频腔外都有盖板密封各自腔室。
[0016]优选地，在低功率射频腔与气密激光腔之间安装有预电离电极。
[0017]优选地，在高功率射频腔与气密激光腔之间安装有射频电极。
[0018]优选地，在光束整形腔内安装有光束整形镜和直流电源。
[0019]优选地，在气密激光腔内安装有正电极板和负电极板，射频电极穿过腔壳与正电极板连接。
[0020]优选地，高功率射频腔由控制单元、高功率射频单元组成，并且腔内安装有大功率穿芯电容用于引入电流，旁边还有负极线连接孔
[0021]优选地，低功率射频腔由驱动分配单元、驱动单元、预电离单元组成。
[0022]优选地，低功率射频腔内的各单元之间都是各自独立的，各单元之间的导线都安装在线槽内，这样确保线路信号不受干扰。控制信号从控制单元进入低功率射频腔是通过同轴的一对穿芯电容实现的，这样防止高功率射频单元内射频电流对控制信号的干扰。
[0023]优选地，在气密激光腔的一端安装有全反射镜，另一端安装有部分反射镜，在部分反射镜的外侧安装有折返镜座，在折返镜座上装有两片反射镜，将部分反射镜窗口输出的激光束折反到光束整形腔内。激光束通过光束整形腔内的光束整形镜整形成接近于圆形光束平行输出。
[0024]与传统的射频激光器相比，四腔室结构射频激光器具有结构简单、紧凑、易装配、不泄漏、低辐射、功率高、效果好等优点。
【附图说明】
[0025]结合以下附图来详细描述本发明的示例实施例，附图中:
[0026]图1示出了根据本发明的示例实施例的四腔室结构射频激光器的横断面剖视图。
[0027]图2示出了根据本发明的示例实施例的四腔室结构射频激光器的右视图，即低功率射频腔部位；
[0028]图3示出了根据本发明的示例实施例的四腔室结构射频激光器的左视图，即光束整形腔部位；
[0029]图4示出了根据本发明的示例实施例的四腔室结构射频激光器的俯视图，即高功率射频腔部位；
[0030]附图中，相同或相似的部件由相同或相似的参考标号表示。
【具体实施方式】
[0031]以下结合附图来详细描述本发明的示例实施例的四腔室结构射频激光器。
[0032]图1示出了根据本发明的示例实施例的四腔室结构射频激光器的横断面剖视图。
[0033]如图1所示，四腔室结构射频激光器整体成长方体形，采用四腔室结构，四腔室包括中心气密激光腔2，和围绕在气密激光腔2周围的光束整形腔5、低功率射频腔4、高功率射频腔3，四腔室结构射频激光器主要包括四腔室和附着于四腔室上的各功能配件。
[0034]如图1所示一种四腔室结构射频激光器，是在一块铝材上的中心位置加工出