气密激光腔2，围绕着激光腔再加工有光束整形腔5，低功率射频腔4，高功率射频腔3。在低功率射频腔4与气密激光腔2之间加工出安装预电离电极10的孔位，在高功率射频腔3与气密激光腔2之间加工出安装射频电极(正电极)8的孔位。
[0035]如图1所示在气密激光腔2内安装有正电极板6和负电极板7，射频电极8穿过激光器壳体1和正电极板6连接。
[0036]如图2/3/4所示，在气密激光腔2的一端安装有全反镜，全反镜安装在全反法兰15上，另一端安装有部分反射镜，部分反射镜安装在半反法兰16上，在半反法兰16的外侧安装有折返镜座17。
[0037]如图3所示，在折返镜座17上安装有两片反射镜33，将部分反射镜窗口输出的激光束30折反到光束整形腔5内。激光束31通过光束整形腔5内的光束整形镜34整形成接近于圆形激光光束32平行输出。
[0038]如图4所示，高功率射频腔3由控制单元29、高功率射频单元两部分组成，并且内部安装有大功率穿芯电容用于引入电流，旁边还有负极线连接孔。
[0039]如图2所示，低功率射频腔4由驱动分配单元18、驱动单元19、预电离单元20三部分组成，各单元之间都是各自独立的，各单元之间的导线都安装在线槽22/23/24/25/26/27内，这样确保线路信号不受干扰。控制信号从控制单元29进入低功率射频腔4是通过同轴的一对穿芯电容实现的，这样防止高功率射频单元内射频电流对控制信号的干扰。
[0040]如图3所示，光束整形腔5内安装有光束整形镜34和直流电源35两部分。
【主权项】
1.一种四腔室结构射频激光器;其中四腔室包括:中心的气密激光腔，和围绕在气密激光腔周围的光束整形腔、低功率射频腔、高功率射频腔；四腔室结构射频激光器主要包括四腔室和附着于四腔室上的各功能配件；四腔室结构射频激光器整体采用气密激光腔在内，光束整形腔、低功率射频腔、高功率射频腔分布于其周围的一体式结构。2.根据权利要求1所述的四腔室结构射频激光器，其特征在于: 四腔室结构射频激光器整体呈长方体形。3.根据权利要求1所述的四腔室结构射频激光器，其特征在于: 气密激光腔位于四腔室结构射频激光器的中心位置。4.根据权利要求1所述的四腔室结构射频激光器，其特征在于， 光束整形腔、低功率射频腔、高功率射频腔分布于气密激光腔的外围。5.根据权利要求1所述的四腔室结构射频激光器，其特征在于: 气密激光腔、光束整形腔、低功率射频腔、高功率射频腔是在一块铝材上加工而成，它们是一个整体。6.根据权利要求1所述的四腔室结构射频激光器，其特征在于: 还包括:在光束整形腔、低功率射频腔、高功率射频腔外都有盖板密封各自腔室。7.根据权利要求6所述的四腔室结构射频激光器，其特征在于: 在光束整形腔外有一用于密封防尘的盖板。8.根据权利要求6所述的四腔室结构射频激光器，其特征在于: 在低功率射频腔外有一用于密封防尘和屏蔽的盖板。9.根据权利要求6所述的四腔室结构射频激光器，其特征在于: 在高功率射频腔外有一用于密封防尘和屏蔽的盖板。10.根据权利要求1所述的四腔室结构射频激光器，其特征在于: 在低功率射频腔与气密激光腔之间安装有预电离电极。11.根据权利要求1所述的四腔室结构射频激光器，其特征在于: 在高功率射频腔与气密激光腔之间安装有射频电极。12.根据权利要求1所述的四腔室结构射频激光器，其特征在于: 在光束整形腔内安装有光束整形镜和直流电源。13.根据权利要求1所述的四腔室结构射频激光器，其特征在于: 在气密激光腔内安装有正电极板和负电极板，射频电极穿过腔壳与正电极板连接。14.根据权利要求1所述的四腔室结构射频激光器，其特征在于: 在气密激光腔的一端安装有全反射镜，在另一端安装有部分反射镜，在部分反射镜的外侧安装有折返镜座，在折返镜座上装有两片反射镜，将部分反射镜窗口输出的激光束折反到光束整形腔内，激光束通过光束整形腔内的光束整形镜整形成接近于圆形光束平行输出。15.根据权利要求1所述的四腔室结构射频激光器，其特征在于: 高功率射频腔由控制单元、高功率射频单元组成，并且腔内安装有大功率穿芯电容用于引入电流，旁边还有负极线连接孔。16.根据权利要求1所述的四腔室结构射频激光器，其特征在于: 低功率射频腔由驱动分配单元、驱动单元、预电离单元组成。17.根据权利要求16所述的四腔室结构射频激光器，其特征在于:低功率射频腔内的各单元之间都是各自独立的，各单元之间的导线都安装在线槽内，这样确保线路信号不受干扰;控制信号从控制单元进入低功率射频腔是通过同轴的一对穿芯电容实现的，这样防止高功率射频单元内射频电流对控制信号的干扰。18.根据权利要求1所述的四腔室结构射频激光器，其特征在于:四腔室结构射频激光器主要由一体的气密激光腔、光束整形腔、低功率射频腔、高功率射频腔和附着其上的正极板、负极板、射频电极、预电离电极、全反射镜、部分反射镜、全反法兰、半反法兰、折返镜、光束整形镜、直流电源、控制单元、高功率射频单元、驱动分配单元、驱动单元、预电离单元、冷却系统这些部分组成。
【专利摘要】本实用新型提供一种射频激光器，一种四腔室结构的射频激光器；四腔室包括：中心的气密激光腔，和围绕在气密激光腔周围的光束整形腔、低功率射频腔、高功率射频腔；四腔室结构射频激光器主要包括四腔室和附着于四腔室上的各功能配件；四腔室结构的射频激光器整体采用气密激光腔在内，光束整形腔、低功率射频腔、高功率射频腔分布于其周围的一体式结构。
【IPC分类】H01S3/22, H01S3/02
【公开号】CN205122989
【申请号】CN201520866946
【发明人】徐海军
【申请人】北京热刺激光技术有限责任公司
【公开日】2016年3月30日
【申请日】2015年11月3日