半导体搬运装置的制造方法
【专利摘要】一种半导体搬运装置，包括支架、上下滑台、支撑杆和握持手，所述支架的前端设有支撑台，所述支撑台的上下侧均设有前后设置的导槽，所述上下滑台的后端上下侧分别向后延伸有前后限位杆，所述限位杆的末端向下延伸有能伸入支撑台的导槽内并沿导槽前后移动的导台，所述上下滑台的前端设有上下延伸的导轨，所述支撑杆的后端设有供所述导轨嵌入的导向槽，所述支撑杆上设有驱动支撑杆沿上下滑台滑动的驱动电机，所述支撑杆的前端滑动设有滑杆，所述滑杆的下端可拆卸的连接有握持手；由此，本实用新型结构简单，操作方便；搬运快速便捷，能搬运至多个方向，适用广泛。
【专利说明】
半导体搬运装置
技术领域
[0001]本实用新型涉及半导体器械的技术领域，尤其涉及一种半导体搬运装置。
【背景技术】
[0002]在半导体封装技术中，经常需要用到搬送机构，将设备模具等从一个地方转移搬运到另外一个地方，现有技术中的半导体封装设备因为自身结构及设计原因，容易造成其受力不均匀，易磨损和变形，使搬送杆行进方向发生偏移，产生搬送不到位和易被模具压坏的问题，致使气缸的使用寿命较短、维护费用高，且需要经常更换，造成人力和资源的浪费。
[0003]为此，本实用新型的设计者有鉴于上述缺陷，通过潜心研究和设计，综合长期多年从事相关产业的经验和成果，研究设计出一种半导体搬运装置，以克服上述缺陷。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的目的在于提供一种半导体搬运装置，其结构简单，操作方便，实现半导体的快速搬运，效率高，适用广泛。
[0005]为解决上述问题，本实用新型公开了一种半导体搬运装置，包括支架、上下滑台、支撑杆和握持手，其特征在于:
[0006]所述支架的前端设有支撑台，所述支撑台的上下侧均设有前后设置的导槽，所述上下滑台的后端上下侧分别向后延伸有前后限位杆，所述限位杆的末端向下延伸有能伸入支撑台的导槽内并沿导槽前后移动的导台，所述支撑台内设有致动汽缸，所述致动汽缸的伸缩杆连接至上下滑台的后端；
[0007]所述上下滑台的前端设有上下延伸的导轨，所述支撑杆的后端设有供所述导轨嵌入的导向槽，所述支撑杆上设有驱动支撑杆沿上下滑台滑动的驱动电机；
[0008]所述支撑杆的前端滑动设有滑杆，所述滑杆的下端可拆卸的连接有握持手。
[0009]其中:支撑杆13的前端设有供滑杆贯穿滑动的导孔，所述支撑杆内设有驱动滑杆上下滑动的伺服电机。
[0010]其中:所述伺服电机的驱动轴固定连接一驱动齿轮，所述滑杆上设有啮合至驱动齿轮的齿条。
[0011 ]通过上述结构可知，本实用新型的半导体搬运装置具有如下效果:
[0012]1、结构简单，操作方便；
[0013]2、搬运快速便捷，能搬运至多个方向，适用广泛。
[0014]本实用新型的详细内容可通过后述的说明及所附图而得到。
【附图说明】
[0015]图1显示了本实用新型的半导体搬运装置的结构示意图。
[0016]附图标记:
[0017]10、支架；11、支撑台；12、上下滑台；13、支撑杆;14、握持手；15、前后限位杆;16、致动汽缸;17、滑杆。
【具体实施方式】
[0018]参见图1，显示了本实用新型的半导体搬运装置。
[0019]所述半导体搬运装置包括支架10、上下滑台12、支撑杆13和握持手14。
[0020]所述支架10的前端设有支撑台11，所述支撑台11的上下侧均设有前后设置的导槽，所述上下滑台12的后端上下侧分别向后延伸有前后限位杆15，所述限位杆15的末端向下延伸有导台，所述导台可伸入支撑台11的导槽内并可沿导槽前后移动，为实现上下滑台12沿支撑台11的前后滑动，所述支撑台11内设有致动汽缸16，所述致动汽缸16的伸缩杆连接至上下滑台12的后端，从而利用致动汽缸16中伸缩杆的前后移动，以及导台和导槽的相互配合，实现上下滑台12的准确移动。
[0021]所述上下滑台12的前端设有上下延伸的导轨，所述导轨为平行设置的两条导轨，所述支撑杆13的后端设有供所述导轨嵌入的导向槽，所述支撑杆13上设有驱动支撑杆13沿上下滑台12滑动的驱动电机，所述驱动电机通过齿轮啮合装置连接至上下滑台12，以实现准确的上下滑动。
[0022]所述支撑杆13的前端滑动设有滑杆17，所述滑杆17的下端可拆卸的连接有握持手14，所述支撑杆13的前端设有供滑杆17贯穿滑动的导孔，所述支撑杆13内设有驱动滑杆17上下滑动的伺服电机，所述伺服电机通过齿轮齿条结构连接至滑杆，即伺服电机的驱动轴固定连接一驱动齿轮，所述滑杆17上设有啮合至驱动齿轮的齿条，以实现滑杆17的准确运动。
[0023]由此，本实用新型的优点在于:
[0024]1、结构简单，操作方便；
[0025]2、移动准确，控制精度高；
[0026]3、寿命更长，维护更为简便。
[0027]显而易见的是，以上的描述和记载仅仅是举例而不是为了限制本实用新型的公开内容、应用或使用。虽然已经在实施例中描述过并且在附图中描述了实施例，但本实用新型不限制由附图示例和在实施例中描述的作为目前认为的最佳模式以实施本实用新型的教导的特定例子，本实用新型的范围将包括落入前面的说明书和所附的权利要求的任何实施例。
【主权项】
1.一种半导体搬运装置，包括支架、上下滑台、支撑杆和握持手，其特征在于: 所述支架的前端设有支撑台，所述支撑台的上下侧均设有前后设置的导槽，所述上下滑台的后端上下侧分别向后延伸有前后限位杆，所述限位杆的末端向下延伸有能伸入支撑台的导槽内并沿导槽前后移动的导台，所述支撑台内设有致动汽缸，所述致动汽缸的伸缩杆连接至上下滑台的后端； 所述上下滑台的前端设有上下延伸的导轨，所述支撑杆的后端设有供所述导轨嵌入的导向槽，所述支撑杆上设有驱动支撑杆沿上下滑台滑动的驱动电机； 所述支撑杆的前端滑动设有滑杆，所述滑杆的下端可拆卸的连接有握持手。2.如权利要求1所述的半导体搬运装置，其特征在于:支撑杆(13)的前端设有供滑杆贯穿滑动的导孔，所述支撑杆内设有驱动滑杆上下滑动的伺服电机。3.如权利要求2所述的半导体搬运装置，其特征在于:所述伺服电机的驱动轴固定连接一驱动齿轮，所述滑杆上设有啮合至驱动齿轮的齿条。
【文档编号】H01L21/677GK205564724SQ201620348646
【公开日】2016年9月7日
【申请日】2016年4月22日
【发明人】姚远, 邓加军
【申请人】华北电力大学