本实用新型涉及致动器，尤其涉及致动器中的连接结构。
背景技术：
以往，为了对应各种不同的情境产生不同的振动，使用户体验丰富的体感，市场上出现了各种致动器。
例如，在专利文献(日本专利特开2016-127789)中记载了一种致动器，能使可动体实现多个方向的振动。具体而言，如图5所示，致动器1X 包括支承体5X、可动体4X和连接于支承体5X与可动体4X之间的连接体 7X。在支承体5X与可动体4X之间构成有第一磁驱动机构10X，上述第一磁驱动机构10X包括第一磁体11X和第一线圈12X，上述第一线圈12X与上述第一磁体11X在第一方向L1上相对，第一磁驱动机构10X产生相对于支承体5X朝与第一方向L1正交的第二方向L2驱动上述可动体4X的驱动力。此外，在支承体5X与可动体4X之间构成有第二磁驱动机构20X，上述第二磁驱动机构20X包括第二磁体21X和第二线圈22X，上述第二线圈22X与第二磁体21X在第一方向L1上相对。第二磁驱动机构20X产生朝与第一方向 L1正交的第三方向L3驱动可动体4X的驱动力。
在如上所述的致动器1X中，上述连接体7X由设置于可动体4X的板状构件41X的四个角部附近的凝胶状减震构件70X构成，上述凝胶状减震构件70X分别配置于板状构件41X与第一壳体51X之间的四个部位以及板状构件41X与第二壳体52X的端板部521X之间的四个部位，并且，上述凝胶状减震构件70X的一端粘贴于支承体5X，另一端粘贴于可动体4X。
然而，在如上所述的致动器1X中，若可动体4X因致动器的掉落等所产生的冲击而相对于支承体5X在与作为所需的振动方向的第二方向L2和第三方向L3正交的第一方向L1上运动，则凝胶状减震构件70X可能会从支承体5X或可动体4X上脱落。
针对上述问题，可考虑如图6A～图6C所示的致动器那样设置限位结构，以限制可动体3Y相对于支承体2Y在与所需的振动方向正交的方向上运动。具体而言，在图6A～图6C所示的致动器中，可动体3Y相对于支承体2Y在X方向上振动，其中，支承体2Y包括上盖体222Y、下盖体221Y 以及夹在上盖体222Y和下盖体221Y之间的中间框架21，上盖体222Y、下盖体221Y和中间框架21围成收纳可动体3Y的空间，并且，在上盖体222Y 和下盖体221Y的朝向可动体3Y的表面对应形成由肋部2227Y分隔开的多个凹槽2226Y，肋部2227Y与可动体3Y在Z方向上隔开较小的间隔，在各凹槽2226Y内设置连接体9X，该连接体9X的一端与凹槽2226Y的底面粘接，该连接体9X的另一端与可动体3Y连接，因此，若可动体3Y因致动器的掉落等所产生的冲击而相对于支承体2Y在与振动方向正交的Z方向上运动，则肋部2227Y会与可动体3Y抵接，可动体3Y在Z方向上相对于支承体2Y 的可动范围较小，从而减小连接体9Y从可动体3Y或支承体2Y上脱落的可能性。
然而，在上述致动器中，如图6B、图6C所示，由于在上盖体222Y和下盖体221Y上分别形成由肋部2227Y分隔开的多个凹槽2226Y且在各凹槽 2226Y中设置与上盖体222Y及下盖体2221Y粘接的连接体9Y，因而连接体 9Y的粘贴操作需要进行多次，导致粘接操作性变差。
另外，由于将多个连接体9Y收纳于被肋部2227Y分隔开的多个凹槽 2226Y，因此连接体9Y的总面积小，刚度也小，不易提高包括可动体3Y在内的振动系统整体的共振频率，导致用户体验不佳。
技术实现要素：
本实用新型是鉴于上述问题而完成的，目的在于提供一种致动器，其能减小连接体从可动体或支承体上脱落的可能性，改善连接体的粘贴操作性，并且，还能提高共振频率以改善用户体验。
为了解决上述技术问题，本实用新型的第一方面提供一种致动器，包括：支承体；可动体；以及连接体，该连接体呈块状，具有粘弹性，并将上述可动体以能相对于上述支承体往复振动的方式与上述支承体连接，上述支承体形成有凹槽，在该凹槽中形成有限位部，该限位部从上述凹槽的底面朝向上述可动体突出，以限制上述可动体在第一方向上的移动范围，上述第一方向与上述可动体的往复振动方向正交，在上述凹槽中收纳有上述连接体，该连接体以环绕上述限位部的方式形成为一个整体。
通过在凹槽中形成从该凹槽的底面朝向可动体突出的限位部，能减小可动体在第一方向上相对于支承体的可动范围，从而能减小连接体从可动体或支承体上脱落的可能性。此外，通过将连接体以环绕限位部的方式形成为一个整体，能减少将连接体粘贴于支承体与可动体之间时的粘贴操作的次数。此外，由于连接体的总面积变大，因而刚度也相应变大，容易提高包括可动体在内的振动系统整体的共振频率，改善用户体验。
本实用新型第二方面的致动器在第一方面的致动器的基础上，上述限位部形成在上述凹槽的第二方向的中央，上述第二方向与上述可动体的往复振动方向及上述第一方向正交，上述连接体具有供上述限位部穿过的中心孔。
通过将上述限位部形成在凹槽的第二方向的中央，在上述连接体上设置供上述限位部穿过的中心孔，可尽可能地将连接体的总面积形成得较大，增加连接体的刚度，从而提高包括可动体在内的振动系统整体的共振频率，改善用户体验。
本实用新型第三方面的致动器在第二方面的致动器的基础上，在致动器未驱动的状态下，在上述连接体的中心孔与上述限位部之间存在间隙。
通过在连接体的中心孔与限位部之间设置间隙，能避免因连接体与限位部之间发生接触而影响往复振动的品质。
本实用新型第四方面的致动器在第二方面的致动器的基础上，上述限位部呈圆柱状，上述中心孔是圆孔，上述限位部的直径小于上述中心孔的内径。
通过将上述限位部形成为直径小于上述中心孔的内径，能保证在限位部与中心孔之间存在间隙，以避免连接体在可动体往复振动时与限位部接触，从而往复振动的品质。
本实用新型第五方面的致动器在第四方面的致动器的基础上，上述连接体的外形呈一条边与第二方向平行的矩形，上述第二方向与上述可动体的往复振动方向及上述第一方向正交，上述一条边的上述第二方向的长度是上述中心孔的内径的三倍以上。
通过将上述连接体的外形形成为一条边与第二方向平行的矩形，并将一条边的长度形成为上述中心孔的内径的三倍以上，能避免连接体的第二方向的中心孔的两侧的部分过小而容易断裂，从而保证往复振动的品质。
本实用新型的第六方面的致动器在第一方面的致动器的基础上，上述限位部从上述凹槽的两个侧壁中的至少一个侧壁朝向上述凹槽的中央延伸。
通过构成为限位部从上述凹槽的两个侧壁中的至少一个侧壁朝向上述凹槽的中央延伸，能在通过限位部来限制可动体在第一方向上的移动范围的同时确保连接体的面积尽可能地大。
本实用新型第七方面的致动器在第一方面的致动器的基础上，在上述可动体的往复振动方向上，上述限位部形成于上述凹槽的中央位置。
通过将限位部在上述可动体的往复振动方向上形成于凹槽的中央位置，能更有效地限制可动体在第一方向上的移动范围。
本实用新型第八方面的致动器在第一方面的致动器的基础上，上述致动器包括磁驱动机构，上述磁驱动机构具有线圈和磁体，上述线圈设置于上述可动体和上述支承体中的一方，上述磁体以与上述线圈相对的方式设置于上述可动体和上述支承体中的另一方。
通过在致动器中设置磁驱动机构，能在通电时产生驱动可动体往复振动的驱动力。
本实用新型第九方面的致动器在第八方面的致动器的基础上，在上述可动体的振动方向上设置有两个上述线圈。
通过在可动体的振动方向上设置两个上述线圈，能在往复振动方向上提供充分的驱动力。
附图说明
图1是示意地表示本实用新型实施方式1的致动器的外观的立体图。
图2是示意地表示本实用新型实施方式1的致动器的剖视立体图。
图3是示意性表示本实用新型实施方式1的致动器的分解立体图。
图4A和图4B是示意地表示仰视观察本实用新型实施方式1的上盖体时的图，其中，图4A表示未安装连接体的状态，图4B表示安装连接体后的状态。
图5是示意地表示现有技术中的连接体的安装状态的图。
图6A～图6C是示意地表示现有技术中的另一连接体的安装状态的图。
(符号说明)
1 致动器
2 支承体
21 保持架
211 贯通孔
212 销
2121 第一销
2122 第二销
213 凹陷部
2131 第一凹陷部
2132 第二凹陷部
214 凹陷部
2141 第三凹陷部
2142 第四凹陷部
215 引导槽
216 第五凹陷部
217 销
218 贯通部
219 线圈保持孔
22 盖体
221 第一盖体
2211 贯通孔
2212 埋头孔
2213 突出部
2214 突起部
2215 凹陷部
2216 凹槽
2217 限位销
222 第二盖体
2221 贯通孔
2223 突出部
2224 突起部
2225 凹陷部
2226 凹槽
2227 限位销
3 可动体
31 第一轭部
32 第二轭部
33 第三轭部
34 第四轭部
6 磁驱动机构
7 线圈
8 磁体
8a 第一磁体
8b 第二磁体
9 连接体
91 第一连接体
92 第二连接体
93 中心孔
15 电路板
151 贯通孔
152 凹槽
具体实施方式
下面，参照图1至图4B对本实用新型的致动器的实施方式1进行说明，其中，图1是示意地表示本实用新型实施方式1的致动器的外观的立体图。图 2是示意地表示本实用新型实施方式1的致动器的剖视立体图。图3是示意性表示本实用新型实施方式1的致动器的分解立体图。图4A和图4B是示意地表示仰视观察本实用新型实施方式1的上盖体时的图，其中，图4A表示未安装连接体的状态，图4B表示安装连接体后的状态。此外，将彼此正交的三个方向为第一方向Z、往复振动方向X和第二方向Y，将第一方向Z的一侧设为Z1，将第一方向Z的另一侧设为Z2，将往复振动方向X的一侧设为X1，将往复振动方向X的另一侧设为X2，将第二方向Y的一侧设为Y1，并将第二方向Y的另一侧设为Y2。
(整体结构)
如图1所示，本实施方式的致动器1整体呈往复振动方向X的尺寸比第二方向Y的尺寸大的长方体形状。
如图2所示，致动器1包括：支承体2；可动体3；连接体9，该连接体9将可动体3以可动的方式与支承体2连接；以及磁驱动机构6，该磁驱动机构6具有线圈7以及在第一方向Z上的一侧Z1与线圈7相对的磁体8 (具体是第一磁体8a)、在第一方向Z上的另一侧Z2与线圈7相对的磁体 8(具体是第二磁体8b)，并且，该磁驱动机构6使可动体3相对于支承体 2在与第一方向Z垂直的往复振动方向X上往复运动。
并且，如图2所示，线圈7设置于支承体2，磁体8设置于可动体3，在第一方向Z上仅设置有一个线圈7。
并且，如图2所示，支承体2包括在第一方向Z上层叠的保持架21和盖体22，在保持架21上保持有线圈7，盖体22覆盖线圈7和磁体8，如图 1所示，在保持架21的与第一方向Z和往复振动方向X正交的第二方向Y 上的一侧Y1以厚度方向沿着第二方向Y的方式设置有与线圈7的引出端电连接的电路板15，并且，在沿第二方向Y观察时，电路板15不从保持架 21朝向第一方向Z上的一侧Z1和另一侧Z2突出。
(盖体的结构)
如图1至图3所示，在本实施方式的致动器1中，盖体22包括第一盖体221和第二盖体222，在沿第一方向Z观察时，第一盖体221和第二盖体 222呈外轮廓相同的大致四边形形状。
如图3所示，在第一盖体221的沿第一方向Z观察时的四个角部分别形成有沿第一方向Z延伸的贯通孔2211和定位用的埋头孔2212，其中，在第一盖体221的同一角部，埋头孔2212(的中心)比贯通孔2211(的中心) 更靠往复振动方向X的中央侧，且比贯通孔2211(的中心)更靠第二方向 Y的外侧。并且，在第一盖体221的往复振动方向X的一侧X1的边缘部和另一侧X2的边缘部分别形成有朝向第一方向Z的另一侧Z2突出的突出部 2213，在第一盖体221的第二方向Y的一侧Y1的边缘部和另一侧Y2的边缘部分别以等间隔的方式形成有朝向第一方向Z的另一侧Z2突出的多个突起部2214。并且，在第一盖体221的第二方向Y的一侧Y1形成有朝向另一侧Y2凹陷的凹陷部2215。并且，在第一盖体221的沿第一方向Z观察时比贯通孔2211靠往复振动方向X的中央侧且比埋头孔2212靠第二方向Y的中央侧的部位设置有供连接体9设置的凹槽2216。
并且，如图3所示，第二盖体222的沿第一方向Z观察时的四个角部分别形成有沿第一方向Z延伸的贯通孔2221和定位用的埋头孔(未图示)，其中，在第二盖体222的同一角部，埋头孔(的中心)比贯通孔2221(的中心)更靠往复振动方向X的中央侧，且比贯通孔2221(的中心)更靠第二方向Y的外侧。并且，在第二盖体222的往复振动方向X的一侧X1的边缘部和另一侧X2的边缘部分别形成有朝向第一方向Z的一侧Z1突出的突出部2223，在第二盖体222的第二方向Y的一侧Y1的边缘部和另一侧Y2 的边缘部分别以等间隔的方式形成有朝向第一方向Z的一侧Z1突出的多个突起部2224。并且，在第二盖体222的第二方向Y的一侧Y1形成有朝向另一侧Y2凹陷的凹陷部2225。并且，在第二盖体222的沿第一方向Z观察时比贯通孔2221靠往复振动方向X的中央侧且比埋头孔靠第二方向Y的中央侧的部位设置有供连接体9设置的凹槽2226(参照图2)。
(保持架的结构)
如图1至图3所示，在沿第一方向Z观察时，保持架21呈外轮廓与第一盖体221及第二盖体222相同的大致四边形形状。
如图3所示，在保持架21的沿第一方向Z观察时的四个角部分别形成有沿第一方向Z延伸的贯通孔211和定位用的销212，销212包括从保持架 21的第一方向Z上的一侧Z1的表面朝向一侧Z1突出的第一销2121以及从保持架21的第一方向Z上的另一侧Z2的表面朝向另一侧Z2突出的第二销 2122，在保持架21的同一角部，销212(的中心)比贯通孔211(的中心) 更靠往复振动方向X的中央侧，且比贯通孔211(的中心)更靠第二方向Y 的外侧。
并且，如图3所示，在保持架21的往复振动方向X的一侧X1的边缘部和另一侧X2的边缘部分别形成有沿第一方向Z延伸的凹陷部213，凹陷部213包括从保持架21的第一方向Z上的一侧Z1的表面朝向另一侧Z2凹陷的第一凹陷部2131以及从保持架21的第一方向Z上的另一侧Z2的表面朝向一侧Z1凹陷的第二凹陷部2132，在保持架21的第二方向Y的一侧Y1 的边缘部和另一侧Y2的边缘部分别以等间隔的方式形成有沿第一方向Z延伸的多个凹陷部214，凹陷部214包括从保持架21的第一方向Z上的一侧 Z1的表面朝向另一侧Z2凹陷的第三凹陷部2141以及从保持架21的第一方向Z上的另一侧Z2的表面朝向一侧Z1凹陷的第四凹陷部2142。
并且，如图3所示，在保持架21的第二方向Y上的一侧Y1形成有对线圈7的引出端进行引导的引导槽215，该引导槽215朝向第二方向Y上的另一侧Y2开口。
并且，如图1和图3所示，在保持架21的第二方向Y的一侧Y1形成有朝向另一侧Y2凹陷的第五凹陷部216，在该第五凹陷部216的往复振动方向X的两侧分别设置有朝向第二方向Y的一侧Y1突出的销217。
并且，如图2所示，在保持架21的沿第一方向Z观察时比贯通孔211 靠往复振动方向X的中央侧且比销212靠第二方向Y的中央侧的部位设置有两个贯通部218和供线圈7配置的两个线圈保持孔219。
(可动体的结构)
如图2所示，可动体3包括第一轭部31和第二轭部32，其中，第一轭部31在第一方向Z上的一侧Z1与线圈7相对，在第一轭部31上固定有在第一方向Z上的一侧Z1与线圈7相对的作为磁体的第一磁体8a，第二轭部32在第一方向Z上的另一侧Z2与线圈7相对，在第二轭部32上固定有在第一方向Z上的另一侧Z2与线圈7相对的作为磁体的第二磁体8b。
并且，如图2所示，可动体3还包括第三轭部33和第四轭部34，其中，第三轭部33一体地形成于第一轭部31的往复振动方向X的一侧X1，且从第一轭部31的往复振动方向X的一侧X1的端部朝向第一方向Z的另一侧Z2延伸，第三轭部33的第一方向Z的另一侧Z2的端部与第二轭部32 的往复振动方向X的一侧X1的端部连接，第四轭部34一体地形成于第一轭部31的往复振动方向X的另一侧X2，且从第一轭部31的往复振动方向 X的另一侧X2的端部朝向第一方向Z的另一侧Z2延伸，第四轭部34的第一方向Z的另一侧Z2的端部与第二轭部32的往复振动方向X的另一侧X2 的端部连接。
此处，第一轭部31、第二轭部32、第三轭部33和第四轭部34的在第二方向Y上的尺寸小于保持架21的贯通部218的在第二方向Y上的尺寸。
(磁驱动机构的结构)
如上所述，磁驱动机构6具有线圈7以及在第一方向Z上与线圈7相对的磁体8。
具体而言，如图2所示，在保持架21的线圈保持孔219内保持有线圈 7，线圈7具有：在往复振动方向X上相对的一对长边部；以及在第二方向 Y上相对的一对短边部。并且，在可动体3的第一轭部31上粘接有在第一方向Z上的一侧Z1与线圈7相对的作为磁体的第一磁体8a，在可动体3 的第二轭部32上粘接有在第一方向Z上的另一侧Z2与线圈7相对的作为磁体的第二磁体8b。
并且，如图2所示，在第一方向Z上仅设置有一个线圈7，在第一方向Z上的一侧Z1与一个线圈7相对的磁体8仅设置有一个，在第一方向Z 上的另一侧Z2与一个线圈7相对的磁体8也仅设置有一个。并且，在往复振动方向X上排列有两个线圈7，与之对应，在往复振动方向X上排列有四个磁体8。
(连接体的结构)
如上所述，连接体9将可动体3以能相对于支承体2往复振动的方式与支承体2连接。
具体而言，连接体9呈块状，并具有粘弹性(所谓粘弹性，是指兼具粘性和弹性这两者的性质，其在凝胶状物质、塑料、橡胶等高分子物质中比较显著)，且通过胶水粘接而固定于可动体3和支承体2。
更具体而言，如图2所示，在第一盖体221的凹槽2216内收纳有作为连接体的第一连接体91，该第一连接体91的第一方向Z的一侧Z1与第一盖体221粘接，该第一连接体91的第一方向Z的另一侧Z2与第一轭部31 粘接，在第二盖体222的凹槽2226内设置有作为连接体的第二连接体92，该第二连接体92的第一方向Z的另一侧Z2与第二盖体222粘接，该第二连接体92的第一方向Z的一侧Z1与第二轭部32粘接。
此处，如图2所示，连接体9设置于支承体2和可动体3的在第一方向Z上相对的部分，并且，在往复振动方向X上仅有一个连接体9。
而且，如图4A和图4B所示，在凹槽2226的中心处一体形成有圆柱状的限位销2227(限位部的一例)，上述限位销2227从凹槽2226的朝向可动体3的底面向可动体3一侧突出，并且在连接体9的与上述限位销2227 的位置对应的位置处形成有供上述限位销2227穿过的圆形的中心孔93，上述限位销2227的直径小于中心孔93的直径。在致动器1未驱动的状态下，在限位销2227与连接体9的中心孔93的边缘之间存在间隙。
同样，在凹槽2216的中心处也一体形成有圆柱状的限位销2217(限位部的一例)，由于限位销2217的形成位置与限位销2227对应，因而在此省略其说明。
如图4B所示，连接体9呈大致矩形，且一条边与第二方向Y平行。中心孔93位于连接体9在往复振动方向X、第二方向Y上的大致中央处，并且上述一条边的第二方向Y的长度是中心孔93的内径的三倍以上。
(致动器的组装)
下面对致动器1的组装方法的一例进行说明。
首先，以使线圈7的引出端收纳在引导槽215内且前端朝向第二方向 Y的一侧Y1突出至电路板15的凹槽152的方式将线圈7安装于保持架21 的线圈保持孔219。
接着，以使两个销217分别插入两个贯通孔151的方式将电路板15设置并粘接于保持架21的第二方向Y上的一侧Y1，并例如将线圈7的引出端的前端焊接于电路板15上的焊盘部。
然后，在可动体3的第一轭部31上粘接第一磁体8a，在可动体3的第二轭部32上粘接第二磁体8b，并将第三轭部33和第四轭部34分别贯穿保持架21的贯通部218，在此基础上，将第三轭部33和第四轭部34的第一方向Z的另一侧Z2的端部与第二轭部32连接(例如卡合并粘接)。
接着，在第一盖体221的凹槽2216内粘接第一连接体91，在第二盖体222的凹槽2226内粘接第二连接体92，并且使凹槽2216、2226中心处的限位销2217、2227分别穿过第一连接体91、第二连接体93的中心孔。
然后，从图3中的下方到上方依次层叠第一盖体221、保持架21和第二盖体222。
此时，第一盖体221的突出部2213与保持架21的第一凹陷部2131嵌合，第一盖体221的突起部2214与保持架21的第三凹陷部2141嵌合，保持架21的第一销2121插入第一盖体221的埋头孔2212。并且，第二盖体 222的突出部2223与保持架21的第二凹陷部2132嵌合，第二盖体222的突起部2224与保持架21的第四凹陷部2142嵌合，保持架21的第二销2122 插入第二盖体222的埋头孔。并且，第一盖体221的贯通孔2211、保持架 21的贯通孔211和第二盖体222的贯通孔2221对齐。
然后，将螺钉18插入第一盖体221的贯通孔2211、保持架21的贯通孔211和第二盖体222的贯通孔2221并在螺钉18的前端拧上螺母(未图示)，即可完成致动器1的组装。
(基本动作)
在本实施方式的致动器1中，在对线圈7施加交流电时，可动体3沿往复振动方向X振动，因此，致动器1的重心在往复振动方向X上变动。藉此，使用者能感受到往复振动方向X上的振动。此时，若调整对线圈7 施加的交流电波形，使可动体3朝向往复振动方向X的一侧X1移动的加速度与可动体3朝向往复振动方向X的另一侧X2移动的加速度不同，则能让使用者感受到在往复振动方向X上具有方向性的振动。
(本实施方式的主要效果)
根据本实施方式的致动器1，在凹槽2216、2226中形成从该凹槽2216、 2226的底面朝向可动体3突出的限位销2217、2227，能减小可动体3在第一方向Z上相对于支承体2的可动范围，从而能减小连接体9从可动体3 或支承体2上脱落的可能性。
另外，由于连接体9在凹槽2216、2226中形成为一个整体，因而在组装致动器1时进行的连接体9的粘贴操作的次数较少，不需要像现有技术那样反复多次地进行粘贴操作，从而改善了粘贴操作性。
另外，本实施方式的连接体9的面积比现有的连接体的面积大，因而连接体9的刚性变大，容易提高包括可动体3在内的振动系统整体的共振频率，改善用户体验。
此外，根据本实施方式的致动器1，连接体9具有粘弹性，且通过粘接而固定于支承体2和可动体3的在第一方向Z上相对的部分，因此，有助于提高可动体3往复运动时的加速度对输入信号的再现性，实现具有细微差别的振动。
上面结合附图对本实用新型进行了示例性描述，显然本实用新型的具体实现并不受上述实施方式的限制。
例如，在上述实施方式中，第一方向Z、往复振动方向X和第二方向Y 彼此正交，但并不局限于此，第一方向Z、往复振动方向X和第二方向Y 只要彼此交叉即可。
此外，在上述实施方式中，也可设置分别从凹槽2216、2226的两个侧壁朝凹槽的中央延伸的限位壁来代替上述限位销2217、2227，当然，并不局限于此，只要限位壁分别从凹槽的两个侧壁中的至少一个侧壁朝凹槽的中央延伸即可。
此外，在上述实施方式中，上述限位销仅设于凹槽的大致中心处，但并不局限于此，只要能对可动体在第一方向Z上的移动范围进行限制，则可以设于任意位置。
此外，在上述实施方式中，仅设有一个限位销，但并不局限于此，也可以设有多个。
此外，在上述实施方式中，线圈7设于支承体3，磁体8以与线圈7 相对的方式设置于可动体4，但并不局限于此，也可以是线圈7设于可动体 4，磁体8以与线圈7相对的方式设置于支承体3。
此外，在上述实施方式中，相对于线圈7在第一方向Z上的一侧Z1和另一侧Z2均设置磁体8，但并不局限于此，也可仅相对于线圈7在第一方向Z上的一侧Z1或另一侧Z2设置磁体。
此外，在上述实施方式中，在第一方向Z上的一侧Z1与一个线圈7相对的磁体8仅设置有一个，在第一方向Z上的另一侧Z2与一个线圈7相对的磁体8也仅设置有一个，但并不局限于此，在第一方向Z上的一侧Z1与一个线圈7相对的磁体8也可设置多个，在第一方向Z上的另一侧Z2与一个线圈7相对的磁体8也可设置多个。
此外，在上述实施方式中，在往复振动方向X上排列有两个线圈7，与之对应，在往复振动方向X上排列四个磁体8，但并不局限于此，只要线圈与磁体在往复振动方向X上对应。