有机电致发光显示面板的制造方法与流程

技术特征：
1.一种有机电致发光显示面板的制造方法，其在第一像素形成由显示第一发光色的发光材料构成的第一发光层，在与所述第一像素相邻的第二像素形成由显示与所述第一发光色不同的第二发光色的发光材料构成的第二发光层，该有机电致发光显示面板的制造方法的特征在于，依次包括以下工序：在所述第一像素形成显示所述第一发光色的发光材料的膜，从而形成所述第一发光层的工序(1)；对包含所述第一像素和所述第二像素的区域进行蚀刻处理，留下所述第一发光层，并将在所述工序(1)中附着于所述第二像素的比所述第一发光层薄的显示所述第一发光色的发光材料的薄膜除去的工序(2)；在所述第二像素形成显示所述第二发光色的发光材料的膜，从而形成所述第二发光层的工序(3)；和对包含所述第一像素和所述第二像素的区域进行蚀刻处理，留下所述第二发光层，并将在所述工序(3)中附着于所述第一像素的比所述第二发光层薄的显示所述第二发光色的发光材料的薄膜除去的工序(4)。2.如权利要求1所述的有机电致发光显示面板的制造方法，其特征在于：所述工序(2)和所述工序(4)进行所述薄膜的厚度的量的蚀刻处理。3.如权利要求1或2所述的有机电致发光显示面板的制造方法，其特征在于：所述工序(1)与所述工序(2)在不同的腔室内进行，所述工序(3)与所述工序(4)在不同的腔室内进行。4.如权利要求1或2所述的有机电致发光显示面板的制造方法，其特征在于：所述工序(2)与所述工序(3)在相同的腔室内进行。5.如权利要求1或2所述的有机电致发光显示面板的制造方法，其特征在于：所述工序(2)和所述工序(4)的蚀刻处理使用具有一对电极的等离子体处理装置进行。6.如权利要求5所述的有机电致发光显示面板的制造方法，其特征在于：所述等离子体处理装置通过从所述一对电极形成的放电空间向被处理基板照射等离子体而进行等离子体处理。7.如权利要求5所述的有机电致发光显示面板的制造方法，其特征在于：所述等离子体处理装置通过在所述一对电极形成的放电空间内对被处理基板的整个面一并照射等离子体而进行等离子体处理。8.如权利要求1或2所述的有机电致发光显示面板的制造方法，其特征在于：使用包括具有射出蒸镀颗粒的多个喷嘴的蒸镀源和设置有多个开口的掩模的蒸镀装置，一边使被成膜基板或所述蒸镀装置相对移动，一边进行所述工序(1)和所述工序(3)中的膜的形成。