元件安装装置及元件安装系统的制作方法

本发明涉及元件安装装置及元件安装系统。

背景技术：

以往，在向基板安装元件的元件安装装置中，已知有检查安装于基板的元件的安装状态的结构。例如，在专利文献1的元件安装装置中，在前工序中安装有一部分的元件的基板被搬入时，检查该基板，在元件的安装状态不良时，判定在后工序中是否能够修正。并且，当判定为在后工序中不能修正时，不向基板安装元件，当判定为在后工序中能够修正时，向基板安装元件。由此，在元件的安装状态不能修正那样的不良发生的情况下，防止进一步安装元件，因此能防止元件被白白地浪费。

专利文献

专利文献1：日本特开2011-9605号公报

技术实现要素：

发明要解决的课题

在这样的元件安装装置中，根据元件的种类的不同，也存在高价的结构，因此防止元件的浪费的情况成为重要的课题。在上述的元件安装装置中，虽然记载了按照各工序来判定不良的有无，并当产生了不能修正的不良时在后工序中不安装元件，但是对于在一个工序中安装多个元件的情况下，对于在工序的中途发生的不良未作出考虑。因此，当在工序的中途发生不良时，这以后安装的元件可能会全部浪费。

本发明主要目的在于适当地防止元件的浪费。

用于解决课题的方案

本发明为了实现上述的主要目的而采用以下的方案。

本发明的元件安装装置的主旨在于，具备：安装单元，将元件安装于基板；及检查单元，检查安装于所述基板的元件的安装状态，所述元件包括在安装前不需要确认其他元件的安装状态的不需要确认元件和在安装前需要确认其他元件的安装状态的需要确认元件，在将所述不需要确认元件安装于所述基板之后，在基于所述检查单元的检查结果而确认所述不需要确认元件的安装状态正常之后，所述安装单元将所述需要确认元件安装于所述基板。

该本发明的元件安装装置将不需要确认元件安装于基板之后，在基于检查结果确认不需要确认元件的安装状态正常之后，将需要确认元件安装于基板。由此，在不需要确认元件的安装状态不正常的情况下，不向基板安装需要确认元件，因此能够防止需要确认元件白白地被浪费。因此，在一个安装工序的中途元件的安装状态发生了不良的情况下，能够适当地防止元件的浪费。

另外，在本发明的元件安装装置中，可以是，具备能够拍摄安装于所述基板的元件的拍摄单元，所述检查单元基于由所述拍摄单元拍摄到的图像来检查元件的安装状态，当进行作为检查对象的不需要确认元件的拍摄时，所述安装单元将下一不需要确认元件安装于所述基板。这样的话，不用等待已安装的不需要确认元件的检查结束而能够向基板安装下一不需要确认元件，因此能够抑制安装效率的下降。

在该形态的本发明的元件安装装置中，可以是，当在同一视野范围内所述不需要确认元件包含多个的情况下，在所述多个不需要确认元件被安装于基板之后，所述拍摄单元拍摄该多个不需要确认元件。这样的话，能够缩短不需要确认元件的拍摄所需的时间，因此能够进一步抑制安装效率的下降。

另外，在本发明的元件安装装置中，可以是，所述检查单元省略安装于所述基板的所述不需要确认元件中的一部分不需要确认元件的检查，当确认除了所述一部分不需要确认元件之外的剩余的不需要确认元件的安装状态正常时，所述安装单元将所述需要确认元件安装于所述基板。这样的话，即使不检查全部不需要确认元件，也能够安装需要确认元件，因此与检查全部不需要确认元件的情况相比能够缩短检查时间。

另外，在本发明的元件安装装置中，可以是，在安装多个所述需要确认元件的情况下，在基于所述检查结果而确认先安装的所述需要确认元件的安装状态正常之后，所述安装单元将之后的所述需要确认元件安装于所述基板。这样的话，在安装多个需要确认元件的情况下，能够适当地防止后安装的需要确认元件的浪费。

本发明的元件安装系统具备：上述任一个元件安装装置；及管理所述元件安装装置中的所述元件的安装顺序的管理装置，所述元件安装系统的主旨在于，所述管理装置具备：设定受理单元，受理所述元件是所述不需要确认元件还是所述需要确认元件的设定；存储单元，将被受理的所述设定与各元件建立关联地存储；安装顺序设定单元，作为所述安装顺序，以先安装所述不需要确认元件之后安装所述需要确认元件的方式进行设定；及输出单元，将被设定的所述安装顺序向所述元件安装装置输出。

在该本发明的元件安装系统中，管理装置受理元件是不需要确认元件还是需要确认元件的设定，作为元件的安装顺序，以先安装不需要确认元件之后安装需要确认元件的方式进行设定，并将该安装顺序向元件安装装置输出。而且，元件安装装置基于安装顺序将不需要确认元件安装于基板之后，在基于检查结果而确认不需要确认元件的安装状态正常之后，将需要确认元件安装于基板。由此，在不需要确认元件的安装状态不正常的情况下，不向基板安装需要确认元件，因此能够防止需要确认元件被白白地浪费。而且，由于能够设定是不需要确认元件还是需要确认元件，因此能够缩减不想浪费的对象元件。因此，在一个安装工序的中途元件的安装状态产生了不良的情况下，能够适当地防止需要确认元件的浪费。

另外，在本发明的元件安装系统中，可以是，所述存储单元能够存储作为所述需要确认元件而存储的元件的重要度，所述安装顺序设定单元以从所述重要度低的元件先进行安装的方式设定所述安装顺序中的所述需要确认元件的安装顺序。这样的话，能够防止需要确认元件中的重要度高的元件的浪费，因此能够更适当地防止元件的浪费。元件的重要度可以设为例如元件价格或元件库存数等，元件价格低的元件或元件库存数多的元件对应于重要度低的元件。

附图说明

图1是表示元件安装系统1的元件安装装置10的结构的概略的结构图。

图2是表示元件安装装置10的控制装置70与管理装置80的电连接关系的说明图。

图3是表示基板60的结构的概略的结构图。

图4是表示元件种类设定画面的一例的说明图。

图5是表示重要度设定画面的一例的说明图。

图6是表示管理装置80的hdd83所存储的元件信息的一例的说明图。

图7是表示由管理装置80的cpu81执行的安装顺序设定处理的一例的流程图。

图8是表示管理装置80的hdd83所存储的安装顺序的一例的说明图。

图9是表示由控制装置70的cpu71执行的元件安装处理的一例的流程图。

图10是表示由控制装置70的cpu71执行的安装中检查处理的一例的流程图。

图11是表示变形例的安装中检查处理的流程图。

图12是表示安装后的检查需要与否的设定画面的一例的说明图。

具体实施方式

接下来，说明本发明的实施方式。图1是表示元件安装系统1的元件安装装置10的结构的概略的结构图，图2是表示元件安装装置10的控制装置70与管理装置80的电连接关系的说明图。

如图1所示，元件安装系统1具备：向基板安装元件的元件安装装置10；及管理元件安装系统整体的管理装置80。元件安装装置10构成为能够执行向基板安装比较小型的芯片元件等的处理和向基板安装比较大型的元件或裸片元件等的处理。需要说明的是，虽然图示省略，但是元件安装系统1可以具备多台元件安装装置10。

如图1所示，元件安装装置10具备：供给元件的元件供给装置14；将基板60从图1的x轴方向的左方向右方搬运的基板搬运装置20；对于由基板搬运装置20搬运的基板60从背面侧进行支撑的支撑装置30；能够安装多个(例如4个)吸嘴51且用于通过吸嘴51拾取元件而向基板60上安装的头50；使头50在xy方向上移动的xy机器人40；能够拍摄基板60的表面上附有的各种标记的标记相机46；贮存小径的吸嘴51、大径的吸嘴51等各种吸嘴的吸嘴台49；及负责元件安装装置10的整体的控制的控制装置70(参照图2)。元件供给装置14具备：通过收容有比较大型的板状元件等(包含裸片元件)的托盘来供给元件的托盘式供料器16；及以沿左右方向(x轴方向)排列的方式配置多个且通过收容有比较小型的元件的带来供给元件的带式供料器18。

图3是表示基板60的结构的概略的结构图。在本实施方式中，基板60是具有通过分割槽划分的多个子基板65(作业区域)的集合基板。元件安装系统1通过元件安装装置10向各子基板65安装了元件之后，通过沿着分割槽对基板60进行分割而能够制作安装有元件的多个子基板65。需要说明的是，基板60并不局限于具有多个子基板65的结构，也可以被制作为一个基板。

基板60在成为对角的2个拐角部(图3的左上部和右下部)附有基板位置基准标记62。而且，多个子基板65在成为对角的2个拐角部(图3的左上部和右下部)分别附有子基板位置基准标记66。在通过支撑装置30对基板60进行了定位时，上述的基板位置基准标记62、子基板位置基准标记66由标记相机46拍摄，为了取得基板60、子基板65的位置信息而使用。而且，在本实施方式中，说明向各子基板65安装芯片元件a～c和裸片元件x、y的情况。需要说明的是，芯片元件a安装多个(a1和a2这2个)，除此以外的元件各安装1个。

如图2所示，控制装置70构成为以cpu71为中心的微处理器，除了cpu71之外，还具备rom72、hdd73、ram74、输入输出接口75，它们经由总线76而被电连接。来自xy机器人40的头50的位置信号、来自标记相机46的图像信号等经由输入输出接口75向控制装置70输入。另一方面，从控制装置70经由输入输出接口75输出向元件供给装置14的控制信号、向基板搬运装置20的控制信号、向支撑装置30的控制信号、向xy机器人40的驱动信号、向头50的驱动信号等。而且，控制装置70经由通信网络90以能够进行双向通信的方式与管理装置80连接，相互进行数据、控制信号的收发。

管理装置80例如为通用的计算机，如图2所示，具备cpu81、rom82、hdd83、ram84、输入输出接口85等，它们经由总线86而被电连接。从鼠标、键盘等输入设备87将输入信号经由输入输出接口85向该管理装置80输入，从管理装置80经由输入输出接口85输出向显示器88的图像信号。hdd83存储有与元件向基板60的安装处理相关的各种信息。各种信息包括与安装处理使用的吸嘴51的种类相关的吸嘴信息、与安装位置相关的位置信息等与各元件相关的元件信息、所安装的元件的安装顺序等。在此，在本实施方式中安装的元件包括：无需确认先安装的其他元件的安装状态是否正常就能够安装的不需要确认元件(事前不需要确认元件)；及在确认先安装的元件的安装状态正常之后能够安装的需要确认元件(事前需要确认元件)。

本实施方式的管理装置80通过作业者能够设定安装对象的各元件是不需要确认元件还是需要确认元件。该设定使用显示于显示器88的设定画面来进行。图4是表示元件种类设定画面的一例的说明图。如图所示，在元件种类设定画面中，能够按照安装对象的元件即芯片元件a～c和裸片元件x、y的各元件，来设定是需要确认的“是”还是不需要确认的“否”。作业者通过输入设备87的上下方向的操作，使元件种类设定画面上的选择光标88a沿上下方向移动而选择设定对象元件，通过输入设备87的左右方向的操作，对于设定对象元件来选择“是”或“否”。而且，作业者使选择光标88a移动到“决定”按钮上之后进行输入设备87的决定操作，由此能够决定元件种类设定画面上的设定。在图4中，示出将芯片元件a～c设定为不需要确认元件并将裸片元件x、y设定为需要确认元件的情况。需要说明的是，也可以将芯片元件设定为需要确认元件，或者将裸片元件设定为不需要确认元件。

另外，管理装置80能够以在元件种类设定画面被设定为需要确认元件的元件为对象来设定重要度。图5是表示重要度设定画面的一例的说明图。如图所示，在重要度设定画面中，按照设定为需要确认元件的裸片元件x、y的各元件，能够设定“高”、“低”这两级的重要度中的任一个。需要说明的是，重要度设定画面的操作方法(设定方法)与元件种类设定画面同样，因此省略说明。在此，作业者例如可以将元件价格高等比较重要的元件设定为需要确认元件，但是其中，也可以将价格特别高的元件的重要度设定为“高”，将价格低的元件的重要度设定为“低”。在图5中，示出裸片元件x的重要度设定为“高”，裸片元件y的重要度设定为“低”的情况。

管理装置80将包含通过元件种类设定画面、重要度设定画面设定的内容的元件信息存储于hdd83。图6是表示管理装置80的hdd83所存储的元件信息的一例的说明图。hdd83除了存储各元件的确认需要与否、需要确认元件的重要度之外，也存储与子基板65内的元件的安装位置相关的位置信息。

接下来，说明这样构成的元件安装系统1的动作。首先，说明通过管理装置80设定元件的安装顺序的处理。图7是表示由管理装置80的cpu81执行的安装顺序设定处理的一例的流程图。当执行该安装顺序设定处理时，管理装置80的cpu81首先将存储于hdd83的元件信息读出(s100)，提取不需要确认元件(芯片元件a～c)的元件信息(s110)。接下来，cpu81基于提取出的不需要确认元件的元件信息中的位置信息，来设定不需要确认元件的安装顺序(s120)。cpu81基于各元件的位置信息，来设定头50的移动距离缩短的安装顺序。在本实施方式中，cpu81将不需要确认元件的安装顺序设定为左上的芯片元件a(a1)、芯片元件c、芯片元件b、右下的芯片元件a(a2)这一顺序。

接下来，cpu81提取需要确认元件(裸片元件x、y)的元件信息(s130)，基于提取出的需要确认元件的元件信息中的重要度，以成为从重要度低的元件至重要度高的元件的顺序的方式设定需要确认元件的安装顺序(s140)。在本实施方式中，裸片元件x的重要度“高”且裸片元件y的重要度“低”，因此cpu81将需要确认元件的安装顺序设定为裸片元件y、裸片元件x这一顺序。需要说明的是，在相同重要度的元件存在多个的情况下，cpu81在相同重要度的多个元件之中设定头50的移动距离缩短的安装顺序。

当设定了不需要确认元件的安装顺序和需要确认元件的安装顺序时，cpu81以先安装不需要确认元件之后安装需要确认元件的方式设定安装顺序并存储于hdd83(s150)。图8是表示子基板65内的安装顺序的一例的说明图。如图所示，安装顺序成为从不需要确认元件至需要确认元件的顺序，在不需要确认元件之中成为头50的移动效率良好的顺序，在需要确认元件之中成为重要度由低至高的顺序。cpu81将包含已设定的安装顺序的安装信息经由通信网络90向元件安装装置10输出(s160)，结束安装顺序设定处理。需要说明的是，安装信息除了安装顺序以外，还包含吸嘴信息、元件信息(元件的位置信息)等。而且，基板60具有多个子基板65，因此本实施方式的元件安装装置10在各子基板65分别安装不需要确认元件之后，进行需要确认元件的安装。

接下来，说明基于被设定的安装顺序通过元件安装装置10安装元件的处理。图9是表示由控制装置70的cpu71执行的元件安装处理的一例的流程图。当执行该元件安装处理时，控制装置70的cpu71首先取得从管理装置80经由通信网络90输出的安装信息(s200)，并搬入基板60(s210)。在s210中，cpu71对基板搬运装置20进行控制而将基板60搬运至支撑装置30上的预定位置，对支撑装置30进行控制而将基板60固定在预定位置。接下来，cpu71取得基板60的位置信息(s220)。在s220中，cpu71对xy机器人40和标记相机46进行控制而拍摄基板60上附有的基板位置基准标记62、子基板65上附有的子基板位置基准标记66，通过对得到的图像进行处理来取得位置信息。接下来，cpu71判定吸嘴51所吸附的本次的安装对象的元件是否为需要确认元件(s230)。如前所述，以先安装不需要确认元件的方式设定元件的安装顺序。因此，cpu71在不需要确认元件的安装结束之前，在s230中判定为不是需要确认元件，不用确认其他元件的安装状态而使吸嘴51吸附元件(s240)。在s240中，cpu71对元件供给装置14进行控制而向供给位置供给元件，并对xy机器人40和头50进行控制而使被供给到供给位置的元件由吸嘴51吸附。需要说明的是，在需要对装配于头50的吸嘴51进行更换的情况下，在元件的吸附前，cpu71通过吸嘴台49更换为所需的吸嘴种类的吸嘴51。例如，在将安装对象的元件从芯片元件切换为大型元件或裸片元件的情况下，从小径的吸嘴51更换为大径的吸嘴51或裸片元件用吸嘴51。

当利用吸嘴51吸附了元件时，cpu71将元件向基板60安装(s250)，并判定是否为已安装的元件的拍摄等待状态(s260)。在s250中，cpu71对xy机器人40和头50进行控制而向基于位置信息的位置安装元件。在此，在本实施方式中，cpu71在元件安装处理的执行中并行地进行检查已安装的元件的安装状态的安装中检查处理。因此，cpu71在安装中检查处理中，在进行检查所需的拍摄之前，在s260中判定为是元件的拍摄等待状态。以下，对安装中检查处理进行说明。图10是表示安装中检查处理的一例的流程图。

在安装中检查处理中，cpu71首先判定在基板60是否安装有元件(s400)，当判定为在基板60未安装元件时，直接结束安装中检查处理。另一方面，当判定为在基板60安装有元件时，对所安装的元件进行拍摄(s410)。在s410中，cpu71对标记相机46进行控制，来拍摄安装于基板60的元件。这样，使用用于取得基板60的位置信息的标记相机46，在刚安装了元件之后的头50停止期间进行安装中检查处理中的元件的拍摄。cpu71在s410中拍摄元件时，在前述的s260中判定为不是拍摄等待状态。当这样拍摄图像时，cpu71基于拍摄到的图像来检查元件的安装状态(s420)，并将检查结果存储于ram74(s430)，结束安装中检查处理。在s420中，cpu71对得到的图像进行处理来检测元件的位置偏移量等，通过判定它们是否为容许范围内等，来检查元件的安装状态是否正常。而且，存储于ram74的检查结果与子基板65的识别信息和元件的识别信息建立关联地存储是否正常。这样，在本实施方式中，使用通过标记相机46拍摄到的图像，进行元件的安装状态的检查。需要说明的是，在所安装的元件为子基板65内的最后的元件时即所安装的元件为子基板65内的安装顺序最后的裸片元件x时，cpu71可以不拍摄元件的图像而省略元件的安装状态的检查。这是因为，在同一子基板65内之后无需进行需要确认元件的安装，而不需要检查。

返回到图9的元件安装处理的说明，cpu71在s260中判定为不是拍摄等待状态时，判定吸嘴51上是否存在吸附完的元件(s270)，如果存在吸附完的元件，则返回到s250进行处理。而且，cpu71在s270中判定为没有吸附完的元件时，判定是否存在未向基板60安装的元件(s280)，当判定为未安装的元件存在时，返回到s230进行处理。在反复进行安装处理的期间各子基板65内的不需要确认元件(芯片元件a～c)的安装完成时，cpu71在s230中将安装对象的元件判定为需要确认元件(裸片元件y)，从ram74取得安装对象的子基板65内的安装完元件的检查结果(s290)，基于检查结果来判定全部的元件的安装状态是否正常(s300)。需要说明的是，在无法取得检查结果的元件存在的情况下，cpu71等待至取得该元件的判定结果为止。并且，当判定为安装对象的子基板65内的全部的元件的安装状态正常时，cpu71在s240、s250中使吸嘴51吸附需要确认元件而向基板60安装。需要说明的是，当例如元件的吸附不良等发生时，在废弃了该元件之后，有时会执行对已吸附的元件再次进行安装的复原处理。在本实施方式中，在使吸嘴51吸附需要确认元件之前进行基于检查结果的判定，因此能够在确认到复原处理对象的元件的安装完成这一情况(复原处理对象的元件的检查结果)之后，使吸嘴51吸附并安装需要确认元件。

这样，在子基板65内先安装芯片元件a～c等不需要确认元件，基于这些元件的检查结果而确认各元件的安装状态正常之后，使吸嘴51吸附裸片元件y等需要确认元件并向子基板65内安装。因此，对于因安装状态不正常的元件的存在而在后工序的检查处理中被废弃的可能性高的子基板65，不再新安装裸片元件y等需要确认元件，因此能够防止需要确认元件白白地被浪费。而且，当安装重要度低的裸片元件y时，在安装中检查处理中也检查裸片元件y的安装状态。并且，当向各子基板65安装了裸片元件y时，安装重要度高的裸片元件x。因此，在安装裸片元件x时，基于裸片元件y的检查结果，能够在s290、s300中确认安装对象的子基板65内的裸片元件y被正常地安装之后，安装裸片元件x。因此，在重要度低的裸片元件y的安装状态不正常的情况下，不安装重要度高的裸片元件x，因此不会使重要度高的裸片元件x浪费。需要说明的是，在安装裸片元件y时，由于已经确认不需要确认元件(芯片元件a～c)的安装状态正常，因此在安装裸片元件x时的s290、s300中，只要仅以未确认的其他元件(仅以裸片元件y)为对象来判定安装状态是否正常即可。

当判定为在安装对象的子基板65内的安装完元件中安装状态正常的安装完元件连一个都没有时，cpu71进行错误处理(s310)之后进入s280。cpu71例如进行将本次的安装对象的子基板65设定为不进行元件的安装的跳过板的处理等作为错误处理。

并且，cpu71当在s280中判定为未安装元件不存在时，搬出基板60(s320)，结束元件安装处理。在s320中，cpu71对支撑装置30进行控制而解除了基板60的固定之后，对基板搬运装置20进行控制而将基板60向装置外搬出。需要说明的是，元件安装系统1有时具备检查专用装置，该检查专用装置在元件安装装置10的安装处理后的后工序中检查各元件的安装状态。在本实施方式的元件安装装置10中进行子基板65内的元件的检查，但是检查专用装置也可以检查全部的元件的安装状态。或者，若在元件安装装置10中未检查的元件存在(例如，子基板65内的最后的元件)，则检查专用装置可以仅检查该元件，而省略在元件安装装置10中检查完的元件的检查。

在此，明确本实施方式的构成要素与本发明的构成要素的对应关系。执行本实施方式的图9的元件安装处理的元件安装装置10的控制装置70的cpu71、xy机器人40、头50相当于本发明的安装单元，执行图10的安装中检查处理的s420的处理的控制装置70的cpu71相当于检查单元。而且，标记相机46和执行安装中检查处理的s400、s410的处理的控制装置70的cpu71相当于拍摄单元。而且，显示图4的元件种类设定画面的显示器88、输入设备87、管理装置80的cpu81相当于设定受理单元，管理装置80的hdd83相当于存储单元，执行图7的安装顺序设定处理的s100～s150的处理的管理装置80的cpu81相当于安装顺序设定单元，执行安装顺序设定处理的s160的处理的管理装置80的cpu81、通信网络90相当于输出单元。

以上说明的本实施方式的元件安装装置10向基板60安装在安装前不需要确认其他元件的安装状态的不需要确认元件(芯片元件a～c)和在安装前需要确认其他元件的安装状态的需要确认元件(裸片元件x、y)时，首先，将不需要确认元件安装于基板60而检查了各元件的安装状态之后，在基于检查结果而确认到不需要确认元件的安装状态为正常之后，将需要确认元件安装于基板60，因此在不需要确认元件的安装状态不正常时，不向基板60安装需要确认元件而能够防止其被白白地浪费。

另外，元件安装装置10当将元件安装于基板60时通过标记相机46拍摄元件，基于得到的图像来检查元件的安装状态，另一方面，在拍摄元件时，可以将下一元件安装于基板60，之后并行地进行检查处理和安装处理。

另外，元件安装装置10基于检查结果而确认安装顺序在前的需要确认元件(裸片元件y)的安装状态为正常之后，将安装顺序在后的需要确认元件(裸片元件x)安装于基板60，因此在需要确认元件安装多个的情况下，能够防止后安装的元件的浪费。而且，管理装置80预先存储作为需要确认元件而设定的元件的重要度，以先安装重要度低的元件的方式设定安装顺序，因此能够防止重要度高的元件的浪费。

需要说明的是，本发明不受上述的实施方式的任何限定，只要属于本发明的技术范围当然就能以各种形态实施。

例如，在上述的实施方式中，所安装的元件的拍摄在头50停止期间进行，但是并不局限于此，也可以在头50移动期间进行。例如，如果所安装的元件和识别信息(子基板基准标记66等)包含于标记相机46的同一视野范围，则即便在头50移动期间通过标记相机46拍摄元件，也能够基于图像内的识别信息(子基板基准标记66)的位置来掌握元件的安装位置及位置偏移量而检查安装状态。由此，能够缩短拍摄等待状态的时间而抑制安装效率的下降。

在上述的实施方式中，所安装的元件的拍摄在刚安装元件之后进行，但是并不局限于此，也可以在安装下一元件期间进行。例如芯片元件b和芯片元件c那样安装在相邻的位置，在安装之后的元件(芯片元件b)时先安装的元件(芯片元件c)包含于标记相机46的视野范围内的情况下，可以在之后的元件的安装中拍摄先安装的元件。由此，能够缩短拍摄等待状态的时间而抑制安装效率的下降。

在上述的实施方式中，每当安装元件时拍摄元件，但是并不局限于此，也可以一并拍摄多个元件。图11是表示变形例的安装中检查处理的流程图。需要说明的是，变形例的流程图对于与实施方式相同的处理，标注相同步骤编号而省略详细的说明。在变形例的安装中检查处理中，cpu71在s400中判定为安装有元件时，分别判定为了一并拍摄而等待的等待元件是否存在(s440)，下次的安装对象的元件(下次元件)是否存在(s450、s480)。cpu71当判定为等待元件不存在而下次元件存在时，基于本次安装的元件(本次元件)的位置信息和下次元件的位置信息来判定本次元件和下次元件是否包含于标记相机46的同一视野范围(s460)。cpu71当判定为本次元件和下次元件不包含于标记相机46的同一视野范围内，或者在s440、s450中没有等待元件也没有下次元件时，通过标记相机46拍摄本次元件来检查安装状态，并将其检查结果存储于ram74(s410～s430)，结束安装中检查处理。另一方面，cpu71在s460中判定为本次元件和下次元件包含于标记相机46的同一视野范围时，将本次元件设定为等待元件(s470)，结束安装中检查处理。需要说明的是，当将本次元件设定为等待元件时，在图10的元件安装处理的s260中判定为不是拍摄等待状态。在此，例如，cpu71在首先安装子基板65内的左上的芯片元件a1的情况下，判定为没有等待元件，当判定为左上的芯片元件a1和芯片元件c不包含于标记相机46的同一视野范围时，执行芯片元件a1的拍摄及检查。另一方面，cpu71在安装了子基板65内的芯片元件c的情况下，判定为没有等待元件，当判定为芯片元件c和芯片元件b包含于标记相机46的同一视野范围时，将芯片元件c设定为等待元件。

cpu71在s470中设定了等待元件之后执行安装中检查处理时，在s440中判定为存在等待元件，在s480中判定为下次元件存在时，判定等待元件、本次元件、下次元件是否包含于标记相机46的同一视野范围(s490)。cpu71当判定为等待元件、本次元件、下次元件包含于标记相机46的同一视野范围时，将本次元件重新设定为等待元件(s470)，结束安装中检查处理。另一方面，cpu71在s490中判定为等待元件、本次元件、下次元件不包含于标记相机46的同一视野范围，或者在s480中判定为没有下次元件时，通过标记相机46一并拍摄等待元件和本次元件(s410a)，基于得到的图像而分别检查等待元件和本次元件的安装状态(s420a)，并将检查结果存储于ram74(s430a)，结束安装中检查处理。例如，cpu71在将芯片元件c设定为等待元件的状态下安装了芯片元件b的情况下，在判定为作为等待元件的芯片元件c、作为本次元件的芯片元件b、作为下次元件的右下的芯片元件a2不包含于标记相机46的同一视野范围时，一并拍摄并检查作为等待元件的芯片元件c和作为本次元件的芯片元件b。这样，通过一并拍摄并检查标记相机46的同一视野范围包含的元件，能够缩短拍摄等待状态的时间。因此，通过安装中的检查，能够抑制安装效率的下降。

在上述的实施方式中，检查了全部的不需要确认元件的安装状态，但是并不局限于此，也可以省略一部分不需要确认元件的安装状态的检查。在省略检查的情况下，管理装置80可以受理是否进行检查的设定。图12是表示安装后的检查需要与否的设定画面的一例的说明图。如图12(a)所示，能够按照各元件种类来设定是否检查，例如，可以是对芯片元件a、c进行检查，而对芯片元件b省略检查。或者，如图12(b)所示，也可以是，能够基于安装顺序来设定是否检查，安装顺序为第一个和第二个的芯片元件(芯片元件a1和芯片元件c)进行检查，而安装顺序为第三个和第四个的芯片元件(芯片元件b和芯片元件a2)省略检查。需要说明的是，也可以是，能够将元件种类与安装顺序组合来设定是否检查，例如，安装于子基板65的芯片元件a中的第二个芯片元件a2可以省略检查。管理装置80将经由检查需要与否的设定画面而受理的是否进行检查的设定存储于hdd83，包含在安装信息中向元件安装装置10发送。在省略一部分的元件的检查的情况下，只要在图10的安装中检查处理中，cpu71在s400中判定为安装了元件时，如果该元件为检查省略对象，则直接结束安装中检查处理，在图9的s260中判定为不是拍摄等待状态即可。而且，在图11的变形例的安装中检查处理中，cpu71只要使用不是检查省略对象(进行检查)的下次元件作为下次元件即可。并且，在图9的元件安装处理的s300中，若检查到的元件的安装状态为正常，则cpu71判定为省略检查的元件也包括在内的安装对象的子基板65内的全部元件的安装状态正常。这样的话，与检查全部不需要确认元件(芯片元件a～c)的情况相比能够缩短检查时间。而且，在将同一种类的元件安装多个或者安装比较难以发生安装不良的元件等、可以不用检查全部的元件的安装状态的情况下，能够在抑制过度的检查的同时防止需要确认元件的浪费。

在上述的实施方式中，作为重要度而设定了“高”、“低”这2级的等级，但是并不局限于此，也可以设定3级以上的多个等级。或者，作为重要度，可以设定更具体的数值，例如，可以设定元件的价格。可以在设定元件的价格的情况下，管理装置80能够受理各元件的价格和基准价格(阈值)，将价格小于基准价格的元件设定为重要度低的元件，将价格为基准价格以上的元件设定为重要度高的元件。或者，可以是，能够基于各元件的库存数来设定重要度，将元件的库存数为阈值以上且库存具有富余度的元件设定为重要度低的元件，将元件的库存数小于阈值且库存没有富余度的元件设定为重要度高的元件。需要说明的是，上述的价格、库存数等并不局限于重要度的设定，也可以使用于是不需要确认元件还是需要确认元件的设定。即，管理装置80可以将价格低的元件设定为不需要确认元件，将价格高的元件设定为需要确认元件，也可以将库存数多的元件设定为不需要确认元件，将库存数少的元件设定为需要确认元件。

在上述的实施方式中，用于拍摄安装后的元件的相机兼用作拍摄基板附有的各种标记的标记相机46，但是并不局限于此，也可以设置用于拍摄安装后的元件的专用的相机(拍摄单元)。

工业实用性

本发明能够利用于元件安装装置的制造产业等。

附图标记说明

1元件安装系统

10元件安装装置

12主体框

14元件供给装置

16托盘式供料器

18带式供料器

20基板搬运装置

30支撑装置

40xy机器人

46标记相机

49吸嘴台

50头

51吸嘴

60基板

62基板位置基准标记

65子基板

66子基板位置基准标记

70控制装置

71cpu

72rom

73hdd

74ram

75输入输出接口

76总线

80管理装置

81cpu

82rom

83hdd

84ram

85输入输出接口

86总线

87输入设备

88显示器

90通信网络