有机电致发光元件以及照明装置的制造方法_3

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的线的交叉位置,可以设置有绝缘膜10,也可以未设置绝缘膜10。在格子状图案的线的交叉位置设置绝缘膜10的情况下,绝缘膜10的图案变得简单而容易形成。在格子状图案的线的交叉位置设置绝缘膜10后,绝缘膜10能够成为完全的格子图案。在此情况下,在交叉位置设置有绝缘膜10,因此不发生直接发光,但在交叉位置未设置没有光透射性的布线部件8,因此能够使在周围产生的光通过透明的绝缘膜10而取出到外部。但是,更优选的是,绝缘膜10与辅助电极7同样地,是未设置于格子状图案的线的交叉位置的方式。在此情况下,成为在格子的交叉位置线被分割了的不完全的格子形状的绝缘膜10。若在格子图案的线的交叉位置未设置有绝缘膜10,则在该交叉位置(交叉部C)能够流动电流而发光,能够使该部分发光而取出光,因此能够使不发光部分进一步难以视觉识别。另外,在交叉部C,布线部件8配置得比格子的网眼的内部更近,而且成为4条布线放射状地配置的中心,因此能够使光透射性电极2的电阻更小。因此,在交叉部C能够更多地流动电流,能够提高该部分的发光性,能够使该部分比格子的网眼的内部更强地发光而提高亮度。因此,能够使不发光形状更不易视觉识别。
[0061]如图2B所示,在本方式中,辅助电极7与光透射性电极2不接触的部分被绝缘膜10覆盖。即,在辅助电极7之上以覆盖辅助电极7的方式层叠绝缘膜10,辅助电极7不仅表面被绝缘膜10覆盖,侧面7S也被绝缘膜10覆盖。这样辅助电极7被绝缘膜10覆盖后,能够使得层的分割不易产生,并且能够确保绝缘性,因此能够进一步抑制短路不良。另外,能够使电流更多地流到更容易取出光的辅助电极7以外的部分,因此能够进一步提高发光效率。绝缘膜10的侧面1s倾斜是优选的。由此,能够进一步抑制层的分割。
[0062]辅助电极7是由电极材料构成的层。透明性也可以没有。辅助电极7例如能够由导电性的金属材料形成。具体地说,例示出铜、银、金、铝、镍、钼、铬等。
[0063]辅助电极7的优选的材料之一是,被称为MAM的钼/铝/钼层叠体(Mo/Al/Mo)。在使用了 MAM的情况下,能够有效地辅助并提高光透射性电极2的导电性。在MAM中,例如能够使表面电阻为0.07 Ω。另外,辅助电极7也能够由Cr/Al/Cr等构成。在此情况下,也能够低电阻化。
[0064]作为辅助电极7的优选的其他的材料,举出金属粒子。作为金属粒子,例如银粒子、铜粒子等是优选的。金属粒子如后所述,例如,能够通过印刷法来适当地涂布。
[0065]绝缘膜10由具有绝缘性的材料构成。例如,由绝缘性树脂或无机材料形成。作为绝缘性的树脂,例示出丙烯酸树脂、酚醛树脂、聚酰亚胺树脂等。作为无机材料,例示Si类材料等。
[0066]在本方式中,在格子图案的交叉位置(交叉部C),构成辅助电极7的布线部件8分离。即,作为在交叉部C未设置有布线部件8的构造,也能够为布线部件8的端部位于交叉部C的外缘的构造,但在本方式中,如图2A所示,在比交叉部C更靠外侧配置有布线部件8的端部。因此,在垂直的方向上延伸的布线部件8彼此互不接触。这样,在通过使布线部件8分离而在交叉部C未形成布线部件8时,能够简单地形成在交叉位置未形成布线部件8的图案。另外,若布线部件8分离,在涂布并形成绝缘膜10时,能够容易涂布绝缘膜10。例如,能够在整面地涂布了绝缘材料后,部分地固化并去除不需要部分而形成绝缘膜10,但若此时布线部件8分离,则绝缘材料滞留于格子图案的网眼而不易扩展的情况得到抑制。即,若布线部件8分离,布线部件8的壁中断,格子的网眼在交叉位置处连通,因此,能够通过交叉位置使涂布液在网眼间扩展。因此,能够容易地形成绝缘膜10。
[0067]如图2A所示,构成格子图案的线的间距P被表示为相邻的线的中心间的距离。该间距P例如能够设为200?4000 μ m的范围,优选的是,能够设为400?2000 μ m的范围。构成辅助电极7的布线部件8的布线宽度W例如能够设为10?50 μ m的范围,例如能够设为30 μπι。优选的是,在格子线延伸的方向上相邻的二个布线部件8的端部间的距离T比布线部件8的宽度W大。即,成为T > W的关系。该距离T例如可以为布线宽度W的2倍以上、或者也可以为布线宽度W的3倍以上、或者也可以为布线宽度W的5倍以上。但是,在布线部件8间的距离T过大时,对电极进行辅助的作用可能变小。因此,例如,距离T例如可以为布线宽度W的20倍以下、或者也可以为布线宽度W的10倍以下。
[0068]构成辅助电极7的布线部件8的膜厚例如能够设为100?100nm的范围。例如,在用MAM构成辅助电极7的情况下,能够设为膜厚20?40nm的Mo、膜厚200?400nm的Al、和膜厚20?400nm的Mo的层叠构造。具体地说,能够设为膜厚50nm的Mo、膜厚500nm的Al和膜厚50nm的Mo的层叠构造。
[0069]优选的是,绝缘膜10相对于构成辅助电极7的布线部件8在俯视时鼓出而设置。如图2B所示,绝缘膜10的鼓出量S为布线部件8的布线宽度W的一半以下是优选的,为3分之I以下是更优选的。该鼓出量S例如能够设为小于10 μπι。另外,绝缘膜10的厚度为0.1-1Oym是优选的,是0.5?5 μ m是更优选的。例如,绝缘膜10的厚度能够为I μ m。
[0070]如图2B所示,在截面形状上绝缘膜10的侧面1s相对于基板I的表面倾斜是优选的。在此情况下,绝缘膜10的侧面1s成为倾斜面。绝缘膜10的侧面1s成为倾斜面,从而能够抑制层的分段(日语:段切扎)。辅助电极7在光透射性电极2的表面隆起而形成,因此在沿着辅助电极7的形状层叠并形成功能层3以及对电极4时,层被分割或变薄,电气上可能容易短路。特别地功能层3能够以薄膜的层叠构造构成,层的分割可能容易发生。但是,在使绝缘膜10的侧面1s倾斜时,能够使功能层3以及对电极4层叠于倾斜面,因此能够不易产生层的分割。绝缘膜10的侧面1s的倾斜角Θ例如能够设定于15°?75°或30°?60°的范围。
[0071]在本方式中,在截面形状中辅助电极7(布线部件8)的侧面7s相对于基板I的表面倾斜是优选的。在此情况下,布线部件8的侧面成为倾斜面。布线部件8的侧面成为倾斜面,从而能够简单地抑制层的分段。在使辅助电极7的侧面7s倾斜时,能够简单地使绝缘膜10的侧面1s倾斜。由此,能够使功能层3以及对电极4层叠于倾斜面,因此能够不易产生层的分割。辅助电极7 (布线部件8)的侧面的倾斜角Φ例如能够设定于15?75°或30?60。的范围。
[0072]在本方式中,对布线部件8的侧面成为倾斜面并沿着该形状形成绝缘膜10而成为倾斜面的例子进行表示,但倾斜面的形成并不限定于此。例如也可以是,辅助电极7的侧面成为与基板I的表面大致垂直的面,在其上形成的绝缘膜10的侧面也可以成为倾斜面。另夕卜,例如也可以是,辅助电极7的侧面成为相对于基板I的表面急剧倾斜的面,在其上形成的绝缘膜10的侧面成为比辅助电极7的倾斜平缓的倾斜的倾斜面。例如,倾斜角为θ < φ的关系,但当然也可以成为θ > φ的关系。
[0073]在图1的方式中,在基板I的表面(光透射性电极2侧的表面以及光透射性电极2的相反侧的表面的任意一方或两方),也可以设置有光散射构造。构成辅助电极7的布线部件8的部分通常不具有光透射性,因此无法从该部分取出光。但是,在基板I的表面设置光散射构造时,光被散射,因此能够将光扩散到由辅助电极7形成的不发光的区域。因此,将由辅助电极7引起的不发光去掉或使之不显眼,而能够得到更自然的发光。光散射构造也可以设置光散射层或者在基板I上设置有凹凸构造而形成。光散射层的具体的结构如前所述。
[0074]图3表示有机EL元件的实施方式的另一例。图3由图3A以及图3B构成。在图3的方式中,与图1的方式的不同点在于,辅助电极7形成在基板I与光透射性电极2之间,绝缘膜10形成在光透射性电极2与功能层3之间。这以外的结构与图1的方式是同样的。图3的有机EL元件的俯视图可以认为是图1B。图2A也可以认为是图3的有机EL元件的辅助电极7的放大图。对与图1的方式同样的结构标注相同的附图标记并省略说明。
[0075]图3的有机EL元件与图1的方式同样地,在基板I的表面,形成有具有光透射性电极2、包括发光层的功能层3及对电极4的有机发光体5。有机发光体5被密封部件6覆盖而被密封。与光透射性电极2接触地通过布线部件8设置有格子状图案的辅助电极7。辅助电极7的图案成为与图1B的形状同样的图案,在构成辅助电极7的格子状图案的交叉位置,布线部件8中断。并且,未设置布线部件8,从而形成有光可透射部15 (参照图1B)。辅助电极7形成为所谓的不完全的格子状。在功能层3的辅助电极7侧的表面,在俯视时与辅助电极7重叠的位置设置有绝缘膜10。这样,在本方式的有机EL元件中,设置有辅助电极7,因此能够通过辅助电极7提高光透射性电极2的通电性。另外,构成辅助电极7的布线部件8在格子状图案的交叉位置中断,而形成有透射光的光可透射部15,因此能够使不发光的形状不易视觉识别。另外,在辅助电极7的位置形成有绝缘膜10,因此能够对将光取出到外部的部分进一步供电而使之发光,能够高效率地进行发光。因此,能够通过辅助电极7高效率地提高导电性,并且能够抑制辅助电极7的不发光的形状被视觉识别,能够得到光取出性优的有机电致发光元件。
[0076]在本方式中,在光透射性电极2的基板I侧设置有辅助电极7。辅助电极7可以是以与图1的方式的辅助电极7相同的材料、相同的图案形状形成的电极。即,辅助电极7也可以是如图1B以及图2A所示的不完全的格子状图案。通过设置辅助电极7,能够提高通电性,能够在面内改善电流分布,能够得到面内的发光变得更均匀的有机EL元件。光透射性电极2由具有光透射性的材料(透明金属氧化物等)形成,因此通常电阻率高,通电性不怎么好。因此,以通电性比光透射性电极2高的材料构成布线,并用该布线形成辅助电极7,从而能够补偿光透射性电极2的导电性并进一步提高通电性。辅助电极7与光透射性电极2接触而设置。由此,能够提高光透射性电极2的通电性。
[0077]如图3所示,在本方式中,辅助电极7与基板I的表面接触而设置。这样,在基板I的表面设置辅助电极7时,能够将辅助电极7直接形成在基板I表面上,辅助电极7的图案形成变得简单,能够高效率并容易地形成辅助电极7。当然,在基板I的设置有机发光体5—侧的表面也可以设置有光散射构造。光散射构造也可以由树脂层构成。在此情况下,也能够容易地形成辅助电极7。
[0078]与图1B的方式同样地,辅助电极7成为格子状图案,成为格子状。通过格子状的辅助电极7得到更均匀的电流分布。该格子图案是纵横向延伸的直线状的线以等间隔配置而构成的。构成格子图案的多个布线部件8的配置可以是与图1的方式中说明的配置同样的配置。另外,关于布线宽度W、布线间距P、布线间的距离T,也可以与图2中说明过的相同。
[0079]辅助电极7是由电极材料构成的层。透明性可以没有。例如,能够由导电性的金属材料形成。具体地说,例示出铜、银、金、铝、镍、钼、铬等。辅助电极7可以用与图1的方式的辅助电极7同样的材料构成。
[0080]在本方式中,优选的是,辅助电极7的基板I侧的表面的光反射性,比光透射性电极2的基板I侧的面的光反射性强。由此,能够抑
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