有机电致发光元件以及照明装置的制造方法_5

文档序号:9264970阅读:来源:国知局
,电容易在构成辅助电极7的布线部件8通过,因此能够进一步提高对于光透射性电极2的辅助效果。另外,能够使面内的发光更均匀。
[0101]在图5的方式中,布线连续部16在交叉位置具有弯曲形状。在有弯曲形状的情况下,与直线状的情况相比,能够增大布线部件8连接的部分在面内的扩展。因此,能够使电在面内更均匀地流动。弯曲形状在俯视时的图案形状中,也可以是布线部件8弯曲的形状。
[0102]在图5中,布线部件8成为锯齿状。布线部件8也可以是有棱角的波状。一个连接的布线部件8在倾斜方向上延伸。具体地说,沿纵向方向延伸的部分8a与沿横向方向延伸的部分8b交替地配置。纵向方向以及横向方向是使正交的二个方向与附图相应而适当表现的,在实际的配置中,可以将纵向及横向对调。沿纵向方向延伸的部分8a与沿横向方向延伸的部分8b的边界部分弯曲,该部分成为布线连续部16。并且,在交叉位置,相邻的布线部件8的布线连续部16彼此接近。通过成为这样的图案形状,整体成为格子状图案,同时在交叉位置使布线部件8分离而能够得到具有光可透射部15的辅助电极7。图5的辅助电极7的图案例也可以称为参差不齐状。或者,也可以称为三角波状。
[0103]相邻的布线部件8的最接近的部分的距离可以与在图2A中说明的距离T相同。
[0104]优选的是,一个布线部件8连接的部分能够一笔写下来。由此,辅助电极7的图案形成能够变得容易。关于图案形成方法的详细,后述。更优选的是,布线部件8能够从有机EL元件的一个端部到另一个端部一笔画下来。由此,图案形成变得容易。在图5中,布线部件8在倾斜方向上延伸,因此在上侧与右侧的端部、以及左侧与下侧的端部,能够一笔画下来。布线部件8能够一笔画下来的情况下,绝缘膜10能够一笔画下来是优选的。绝缘膜10能够成为与布线部件8对应的形状。
[0105]另外,在图5中,关于布线部件8的沿纵向方向延伸的部分8a,示出了在沿着纵向方向观看多个部分8a时在横向方向偏移的样子,但在实际的有机EL元件中,与相邻的布线部件8的间隔相比,布线部件8的宽度较小。因此,该偏移几乎能够无视。因此,辅助电极7作为整体成为格子状图案。另外,图5将有机EL元件简化而记载,实际的布线部件8的条数例如能够为100条以上等。
[0106]这里,图5的方式,对将图1的方式中的辅助电极7的图案形状变更后的方式进行了说明,但也可以如图3的方式那样,辅助电极7形成在光透射性电极2的基板I侧。在此情况下,能够将图3A认为是图5的方式的剖视图,将图3B认为是图5的方式的放大图。在以后的方式中,辅助电极7也可以形成在光透射性电极2的任一面。
[0107]图6是对辅助电极7的图案例进行说明的说明图。图6由图6A?图6F构成。辅助电极7具有布线连续部16的方式不限于图5的方式。辅助电极7能够以适当的图案形成。另外,图6的纵向以及横向与附图中的配置相应而适当设定,纵向和横向当然可以替换。
[0108]图6A是图5的方式的辅助电极7的图案的变形例。在图6A中,通过多个平行四边形形成格子。在该例子中,布线部件8的沿纵向方向延伸的部分8a相对于纵向方向倾斜地在倾斜方向上延伸。通过布线部件8上的沿纵向方向延伸的部分8a与沿横向方向延伸的部分8b的边界部分,构成布线连续部16。布线连续部16具有弯曲形状。相邻的布线部件8分离。通过该分离部分形成有光可透射部15。在该图案中,沿纵向方向延伸的部分8a与沿横向方向延伸的部分8b的边界部分(布线连续部16)在多个布线部件8上在沿着纵向方向观看时,横向方向的位置对齐。在图5的图案中,布线部件8变多后,布线部件8的配置沿横向方向偏移,作为整体成为格子花纹的纵线倾斜延伸的平行四边形的格子状的可能性是存在的,但在图6A的图案中,沿纵向方向延伸的部分8a在倾斜方向上延伸,由此吸收偏移。因此,作为整体形成没有偏移的长方形或正方形的格子花纹是容易的。
[0109]图6B是图5的方式的辅助电极7的图案的变形例。在该例子中,布线部件8上的沿纵向方向延伸的部分8a与沿横向方向延伸的部分8b的边界部分(布线连续部16)在倾斜方向上延伸。在图6B中,布线部件8的纵向的部分8a与布线部件8的横向的部分8b的边界部分(布线连续部16)的角变圆,从而布线连续部16在倾斜方向上行进。布线连续部16成为曲线状。布线部件8在布线连续部16的部分弯曲后延伸。当然,布线连续部16也可以在布线部件8的纵向的部分8a与布线部件8的横向的部分8b之间作为在倾斜方向上行进的直线状的部分而设置。另外,布线连续部16也可以形成为W状、或形成为蛇形的形状。相邻的布线部件8分离,通过该分离部分形成有光可透射部15。在该图案中,布线部件8的沿纵向方向延伸的部分8a为,多个部分8a之间纵横的位置对齐。另外,布线部件8的沿横向方向延伸的部分8b为,多个部分Sb之间纵横的位置对齐。在图5的图案中作为整体能够成为平行四边形的格子状,在图6A的图案中各个格子能够成为平行四边形,但在图6B的图案中,布线连续部16在倾斜方向上延伸,由此,使格子形状的纵横的线的位置整齐。因此,作为整体形成没有偏移的长方形或正方形的格子花纹是容易的。图6B的图案可以说是波状。在图6B的图案中,能够不在交叉部C(参照图2A)上形成布线部件8。
[0110]图6C是辅助电极7的图案的变形例。在图6C中,布线部件8的、沿纵向方向延伸的部分8a与沿横向方向延伸的部分8b交替地配置。但是,在图6C中,关于沿纵向方向延伸的部分8a,相邻的部分8a沿相反方向延伸。因此,一个连接的布线部件8沿纵向方向来回同时作为整体沿横向方向延伸。通过布线部件8上的沿纵向方向延伸的部分8a与沿横向方向延伸的部分8b的边界部分,构成布线连续部16。布线连续部16具有弯曲形状。相邻的布线部件8分离。通过该分离部分形成有光可透射部15。在交叉位置,布线连续部16接近。通过成为这样的图案,辅助电极7作为整体成为格子状图案。在图6C中,优选的是,一个连接的布线部件8能够一笔画下来。在图6C中,在左右的两端部之间能够一笔画下来。图6C的图案例可以称为凸凹状。或者,可以称为齿状。或者,可以称为矩形波状。
[0111]这里,在图6A、图6B及图6C中,布线部件8能够一笔画下来。在图6A及图6B中,布线部件8在倾斜方向延伸,因此具有能够进一步提高面内的发光的均匀性的优点。在图6C中,布线部件8沿横向方向延伸,因此具有易于高精度地进行图案形成的优点。
[0112]图6D中,由遍及辅助电极7的图案整体沿横向方向延伸的多个布线部件8的部分8b和在沿该横向方向延伸的多个布线部件8的部分8b之间沿纵向方向延伸的多个布线部件8的部分8a,构成辅助电极7的格子图案。纵向方向的多个布线部件8的部分8a沿横向方向以规定的间隔排列配置。多个纵向方向的布线部件8的部分8a以整体形状沿着纵向方向的方式沿纵向方向排列配置。沿横向方向延伸的布线部件8的部分8b与沿纵向方向延伸的布线部件8的部分8a分离。通过该分离的部分,形成有光可透射部15。图6D的图案可以称为梯子状。在图6D的图案例中,也形成光可透射部15,因此能够使辅助电极7不易视觉识别。
[0113]图6E中,在遍及辅助电极7的图案整体沿横向方向延伸的布线部件8的部分8b上,连接有多个沿纵向方向延伸的布线部件8的部分8a的一端,由此构成辅助电极7的格子图案。沿纵向方向延伸的布线部件8的部分8a的另一端与沿横向方向延伸的布线部件8的部分8b分离。通过该分离的部分,形成有光可透射部15。图6E的图案可以称为梳子状。在图6E的图案例中,也形成光可透射部15,因此能够使辅助电极7不易视觉识别。
[0114]图6F中,在遍及辅助电极7的图案整体沿横向方向延伸的布线部件8的部分8b上,连接有多个沿纵向方向延伸的布线部件8的部分8a的一端,由此构成辅助电极7的格子图案。但是,在图6E中,沿纵向方向延伸的多个布线部件8的部分8a的相同侧的端部相连,与此相对,在图6F中,在多个沿纵向方向延伸的布线部件8的部分8a,交替地连接有其一个端部和另一个端部。沿纵向方向延伸的布线部件8的部分8a的前端部与相邻的布线部件8的沿横向方向延伸的部分Sb分离。通过该分离的部分,形成有光可透射部15。在图6F的图案例中,也形成光可透射部15,因此能够使辅助电极7不易视觉识别。
[0115]在图6D?图6F的图案中,布线连续部16在交叉位置具有大致直线形状。因此,图案形成能够变得容易。在图6E以及图6F的图案中,布线连续部16在交叉位置具有大致直线形状,并且具有弯曲形状。因此,能够提高电气上的辅助效果。
[0116]图7表示格子状的辅助电极7的图案的另一个例子。图7由图7A?图7C构成。
[0117]在上述的各方式中,作为格子状对四边格子状的情况进行了说明。格子状(格子状)不限于四边格子。作为格子状的另一格子形状的例子,举出六边格子。六边格子是六边形以面状配置而成的形状。六边格子也被称为蜂窝状。六边格子也被称为蜂巢状。所谓的格子,包含四边格子以及六边格子。
[0118]图8中示出格子形状。在上述说明的四边格子的格子状中,整体形状成为如图8A那样的四边格子(格子G4)。在图7中的六边格子的格子状中,整体形状成为如图SB那样的六边格子(格子G6)。在图8中,格子图案的交叉位置以交叉位置g表示。
[0119]在图7A?图7C中,在格子状图案的交叉位置也具有未设置布线部件8的部分。通过该部分,形成有光可透射部15。光可透射部15通过布线部件8的分离而形成。
[0120]图7A是在交叉位置(交叉部C)完全未设置有布线部件8的例子。在图7A中,优点是能够提高交叉位置处的发光性。
[0121]图7B以及图7C是在交叉位置具有布线连续部16的例子。布线连续部16具有弯曲形状。在图7B中,布线部件8沿横向方向延伸。在图7C中,布线部件8在倾斜方向上延伸。
[0122]如图7A?图7C那样为六边格子的格子状的情况下,通过具有光可透射部15,能够使辅助电极7不易视觉识别。但是,与六边格子相比,四边格子对于图案形成而言是有利的。
[0123]下面,对有机EL元件的制造进行说明。在下面的说明中,以光透射性电极2和辅助电极7以该顺序层叠的方式为中心进行说明。能够理解为将如图3那样辅助电极7形成于光透射性电极2的基板I侧的方式的制造能够通过使光透射性电极2与辅助电极7的层叠顺序对调来理解。在制造方法的说明中,将适当参照图1、图4、图5及图6等。
[0124]在制造有机EL元件时,首先,在基板I的表面设置透明导电层,并对该透明导电层进行图案形成。透明导电层的中央部分成为光透射性电极2,透明导电层的端部成为电极引出部12。光透射性电极2的区域成为形成有机发光体5的区域。
[0125]然后,在该透明导电层中的形成有机发光体5的区域,用导电材料形成格子状的辅助电极7。辅助电极7的图案形成能够通过适当的方法来进行。
[0126]辅助电极7的形成通过溅射来进行是优选的一个形态。在此情况下,图案形成能够通过掩模溅射、光刻法来进行。该方法尤其能够优选地对如图1?4的方式进行图案形成。当然,该方法也能够应用于其他的方式。在图案形成中,例如,如果使用在格子的交叉位置中断的图案的掩模,则能够容易地形成不完全的格子的图案
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