54]另一方面，在金属薄膜层14的表面电阻Rms为最大值0.3 Ω，各向同性导电性粘接剂层16的表面电阻Rcs为超过最大值的1000Ω时，产生裂缝前的电磁波屏蔽层的长度方向的整体电阻Rl为0.600 Ω，产生裂缝后的电磁波屏蔽层的长度方向的整体电阻R2为20.540 Ω。这样，在各向同性导电性粘接剂层16的表面电阻Rcs超过最大值时，因在金属薄膜层14产生裂缝而使电磁波屏蔽层的电阻大幅上升，其结果是，电磁波噪声的屏蔽效果下降。
[0155](其他实施方式)
[0156]本发明的电磁波屏蔽膜只要依次具有绝缘性保护层、特定表面电阻的金属薄膜层、特定表面电阻的各向同性导电性粘接剂层即可，并不限于图1的实施方式。
[0157]例如，在各向同性导电性粘接剂层16的表面的粘着性(夕、y夕性)小时，可省略第二离型膜20。
[0158]在绝缘性保护层12具有充分的柔软性和强度时，可省略第一离型膜18。
[0159]离型膜在仅离型膜主体就具有充分的离型性(脱模性)时，也可不具有离型剂层。
[0160]<带有电磁波屏蔽膜的柔性印刷布线板>
[0161]图7是示出本发明的带有电磁波屏蔽膜的柔性印刷布线板的一个例子的截面图。
[0162]带有电磁波屏蔽膜的柔性印刷布线板I具有柔性印刷布线板30、绝缘膜40和剥离了离型膜的电磁波屏蔽膜10。
[0163]柔性印刷布线板30在基底膜32的至少单面设置印刷电路34。
[0164]绝缘膜40设于柔性印刷布线板30的设有印刷电路34 —侧的表面。
[0165]电磁波屏蔽膜10的各向同性导电性粘接剂层16与绝缘膜40的表面粘接并硬化。另外，各向同性导电性粘接剂层16通过在绝缘膜40形成的贯通孔(图示省略)与印刷电路34电连接。
[0166]在除有贯通孔的部分外的印刷电路34(信号电路、接地电路、接地层等)的附近，电磁波屏蔽膜10的金属薄膜层14隔着绝缘膜40及各向同性导电性粘接剂层16而对向配置。
[0167]除有贯通孔的部分外的印刷电路34和金属薄膜层14的间隔距离为绝缘膜40的厚度及各向同性导电性粘接剂层16的厚度的总和。间隔距离优选为30 μπι以上200 μπι以下，更优选为60 μ m以上200 μ m以下。间隔距离比30 μ m小，则信号电路的阻抗变低，为了具有100Ω等的特性阻抗，必须减小信号电路的线宽，线宽的偏差成为特性阻抗的偏差，因阻抗的失配导致的反射共振噪声容易进入电信号中。间隔距离比200 μπι大时，带有电磁波屏蔽膜的柔性印刷布线板I变厚，可挠性不足。
[0168]间隔距离为30 μπι以上时，信号电路的阻抗变高，特性阻抗无偏差，因阻抗的失配导致的反射共振噪声难以进入电信号。间隔距离在200 μπι以下时，带有电磁波屏蔽膜的柔性印刷布线板I不会变厚，可挠性优异。
[0169](柔性印刷布线板)
[0170]柔性印刷布线板30利用公知的蚀刻法将覆铜层压板的铜箔加工为期望的图案而形成印刷电路34 (电源电路、接地电路、接地层等)。
[0171]作为覆铜层压板，可例举在基底膜32的单面或两面隔着粘接剂层(图示省略)粘贴铜箔而成的板；在铜箔的表面浇铸(?々Λ卜)用于形成基底膜32的树脂溶液等而成的板等。
[0172]作为粘接剂层的材料，可例举环氧树脂、聚酯、聚酰亚胺、聚酰胺-酰亚胺、聚酰胺、酚醛树脂、聚氨酯、丙烯酸树脂、三聚氰胺树脂等。
[0173]粘接剂层的厚度优选为0.5 μπι以上30 μ m以下。
[0174](基底膜)
[0175]作为基底膜32，优选具有耐热性的膜，更优选聚酰亚胺膜、液晶聚合物膜，进一步优选聚酰亚胺膜。
[0176]从电绝缘性的角度来看，基底膜32的表面电阻优选为1Χ106Ω以上。从实际使用上的角度来看，基底膜32的表面电阻优选为I XlO19 Ω以下。
[0177]基底膜32的厚度优选为5 μπι以上200 μm以下，从弯曲性的角度来看，更优选为6 μπι以上25 μm以下，更优选为10 μπι以上25 μπι以下。
[0178](印刷电路)
[0179]作为构成印刷电路34 (信号电路、接地电路、接地层等)的铜箔，可例举压延铜箔、电解铜箔等，从弯曲性的角度来看，优选压延铜箔。
[0180]铜箔的厚度优选为I μπι以上50 μm以下，更优选18 μπι以上35 μπι以下。
[0181]印刷电路34的长度方向的端部(端子)因为焊锡连接、连接器连接、部件搭载等而不被绝缘膜40和电磁波屏蔽膜10覆盖。
[0182](绝缘膜)
[0183]绝缘膜40在基体材料膜(图示省略)的单面通过粘接剂的涂敷、粘接剂片的粘贴等形成粘接剂层(图示省略)。
[0184]从电绝缘性的角度来看，基体材料膜的表面电阻优选为I XlO6 Ω以上。从实际使用上的角度来看，基体材料膜的表面电阻优选为I XlO19 Ω以下。
[0185]作为基体材料膜，优选具有耐热性的膜，更优选聚酰亚胺膜、液晶聚合物膜，进一步优选聚酰亚胺膜。
[0186]基体材料膜的厚度优选为I μπι以上100 μπι以下，从可挠性的角度来看，更优选3μηι以上25μηι以下。
[0187]作为粘接剂层的材料，可例举环氧树脂、聚酯、聚酰亚胺、聚酰胺-酰亚胺、聚酰胺、酚醛树脂、聚氨酯、丙烯酸树脂、三聚氰胺树脂、聚苯乙烯、聚烯烃等。环氧树脂也可包含赋予可挠性的橡胶成分(羧基改性丁腈橡胶等)。
[0188]粘接剂层的厚度优选为Iym以上100 μπι以下，更优选1.5 μπι以上60 μ m以下。
[0189]贯通孔的开口部的形状并无特别限定。作为贯通孔的开口部的形状，可例举例如圆形、椭圆形、四边形等。
[0190](带有电磁波屏蔽膜的柔性印刷布线板的制造方法)
[0191]本发明的带有电磁波屏蔽膜的柔性印刷布线板例如能用具有下述的工序(e)?(g)的方法来制造。
[0192](e)在于基底膜的至少单面具有印刷电路的柔性印刷布线板的设有印刷电路一侧的表面，设置在与印刷电路对应的位置形成有贯通孔的绝缘膜，得到带有绝缘膜的柔性印刷布线板。
[0193](f)在工序(e)后，以使各向同性导电性粘接剂层与绝缘膜的表面接触的方式重叠带有绝缘膜的柔性印刷布线板和本发明的电磁波屏蔽膜，通过对其进行热压，从而在缘膜的表面上粘接各向同性导电性粘接剂层并且各向同性导电性粘接剂层通过贯通孔与印刷电路电连接。
[0194](g)在工序(f)后，剥离第一离型膜得到带有电磁波屏蔽膜的柔性印刷布线板。
[0195]以下，参照图8说明制造带有电磁波屏蔽膜的柔性印刷布线板的方法。
[0196](工序(e))
[0197]如图8所示，在柔性印刷布线板30上重叠在与印刷电路34对应的位置形成有贯通孔42的绝缘膜40，在柔性印刷布线板30的表面粘接绝缘膜40的粘接剂层(图示省略)，使粘接剂层硬化，得到带有绝缘膜的柔性印刷布线板2。也可在柔性印刷布线板30的表面临时粘接绝缘膜40的粘接剂层，在工序(f)中使粘接剂层完全硬化。
[0198]粘接剂层的粘接及硬化通过例如采用压力机(图示省略)等的热压来进行。
[0199](工序⑴)
[0200]如图8所示，在带有绝缘膜的柔性印刷布线板2上重叠剥离了第二离型膜20的电磁波屏蔽膜10，通过热压，得到在绝缘膜40的表面粘接各向同性导电性粘接剂层16且各向同性导电性粘接剂层16通过贯通孔42与印刷电路34电连接的带有电磁波屏蔽膜的柔性印刷布线板的前驱体3。
[0201]各向同性导电性粘接剂层16的粘接及硬化通过例如采用压力机(图示省略)等的热压进行。
[0202]热压的时间是20秒?60分钟，进一步优选30秒?30分钟。如果热压的时间为20秒以上，则各向同性导电性粘接剂层16被粘接在绝缘膜40的表面。如果热压的时间在60分钟以下，则能缩短带有电磁波屏蔽膜的柔性印刷布线板I的制造时间。
[0203]热压的温度(压力机的压板的温度)优选为140°C以上190°C以下，更优选为150°C以上175°C以下。如果热压的温度为140°C以上，则各向同性导电性粘接剂层16被粘接在绝缘膜40的表面。另外，能缩短热压的时间。如果热压的温度为190°C以下，则能抑制电磁波屏蔽膜10、柔性印刷布线板30等的劣化等。
[0204]热压的压力优选为1MPa以上20MPa以下，更优选为1MPa以上16MPa以下。如果热压的压力为1MPa以上，各向同性导电性粘接剂层16被粘接在绝缘膜40的表面。另夕卜，能缩短热压的时间。如果热压的压力为20MPa以下，能抑制电磁波屏蔽膜10、柔性印刷布线板30等的破损等。
[0205](工序(g))
[0206]如图8所示，从绝缘性保护层12剥离第一离型膜18，得到带有电磁波屏蔽膜的柔性印刷布线板I。
[0207]在工序(f)中的热压时间为20秒?10分钟的较短时间时，优选在剥离第一离型膜18前或剥离后进行各向同性导电性粘接剂层16的完全硬化。
[0208]各向同性导电性粘接剂层16的完全硬化例如使用烘箱等的加热装置进行。
[0209]加热时间优选为15?120分钟间，更优选30?60分钟间。如果加热时间为15分钟以上，则能充分地硬化各向同性导电性粘接剂层16。如果加热时间为120分钟以下，则能缩短带有电磁波屏蔽膜的柔性印刷布线板I的制造时间。
[0210]加热温度(烘箱中的气氛温度)优选为120°C以上180°C以下，更优选120°C以上150°C以下。如果加热温度为120°C以上，则能缩短加热时间。如果加热温度为180°C以下，则能抑制电磁波屏蔽膜10、柔性印刷布线板30等的劣化等。
[0211]从可不使用特殊装置的角度来看，优选不加压地进行加热。
[0212](作用效果)
[0213]在以上说明的带有电磁波屏蔽膜的柔性印刷布线板I中，金属薄膜层14的表面电阻为0.3Ω以下，且各向同性导电性粘接剂层16的表面电阻为10Ω以下，因此，即使在金属薄膜层14中产生裂缝，也能维持电磁波噪声的屏蔽效果。
[0214](其他实施方式)
[0215]本发明的带有电磁波屏蔽膜的柔性印刷布线板具有柔性印刷布线板、绝缘膜和本发明的电磁波屏蔽膜即可，并不限定于图示例的实施方式。
[0216]例如，柔性印刷布线板可以在背面侧具有接地层。另外，柔性印刷布线板可以两面具有印刷电路，也可以是在两面粘贴绝缘膜及电磁波屏蔽膜的板。
[0217][实施例]
[0218]以下，示出实施例。此外，本发明并不限于实施例。