一侧(即P’侧)，比如图中的U’点处；以此方式，电热丝120逐步自Q方向上的一端(即图中的下端，Q’端)延伸至另一端(即图中的上端，Q端)，并大致排满所属区域。
[0091]这种布线方式不但使得电热丝220保留了前面实施例中电热丝120的主要优点，还使得其具有了一些独特的功效。比如，电热丝220 (除交点O处)整体大致位于同一平面内。又如，它不再需要一条单独的竖直部NT2。——竖直部NT2与横向延伸部、连接部等不位于同一层内(或者说同一平面内)，因而，它的存在会增加制造的复杂度及成本。
[0092]需说明的是，电热丝220也存在一个交点(位于圆心O处)。为避免该交点成为加热过程中的热点，可采用前面实施例中相同的方法对其处理；比如，采用隔热材料等。另夕卜，前面实施例中的说明及很多措施也大都适用于此，这里不再重复描述。
[0093]在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“电连接”应做广义理解，例如，可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
[0094]尽管本发明的内容已经通过上述优选实施例作了详细介绍，但应当认识到上述的描述不应被认为是对本发明的限制。在本领域技术人员阅读了上述内容后，对于本发明的多种修改和替代都将是显而易见的。因此，本发明的保护范围应由所附的权利要求来限定。
【主权项】
1.一种电感耦合等离子体处理装置，包括: 反应腔室，所述反应腔室的顶部设置有一绝缘窗； 加热部件，所述加热部件包括设置在所述绝缘窗的上表面的电热丝，所述电热丝整体呈中心对称，所述电热丝具有用于与加热电源电性连接以形成回路的两个接点；所述电热丝环绕形成多个图形，每一图形和与该图形中心对称的图形中的加热电流方向相反； 感应线圈，所述感应线圈设置在所述电热丝的上方，并与射频电源电性连接；所述感应线圈产生的电磁场于所述每一图形所在区域内的磁通量，于与该图形中心对称的图形所在区域内的磁通量，两者总是相等。2.如权利要求1所述的处理装置，其中，所述感应线圈呈圆形，其圆心为所述电热丝的对称中心。3.如权利要求1所述的处理装置，其中，所述电热丝包括多段相互平行的横向延伸部以及连接相邻横向延伸部的连接部。4.如权利要求3所述的处理装置，其中，所述横向延伸部的端点位于所述绝缘窗的边缘处，以使所述电热丝在所述绝缘窗上占据较大的区域。5.如权利要求3所述的处理装置，其中，相邻横向延伸部之间的距离相等。6.如权利要求3所述的处理装置，其中，所述电热丝包括两层，其中，所述横向延伸部与所述延伸部位于靠近所述绝缘窗的下层，一竖直部位于远离所述绝缘窗的上层；所述竖直部的一端连接至所述下层的一横向延伸部或连接部，另一端连接至所述两个接点中的一个。7.如权利要求6所述的处理装置，其中，与所述竖直部相连的所述横向延伸部或连接部，以及与所述竖直部相连的所述接点，分别位于所述电热丝的两端。8.如权利要求3所述的处理装置，其中，所述电热丝整体位于同一层内，所述电热丝实体穿过它的对称中心。9.如权利要求1所述的处理装置，其中，所述电热丝以这样的方式遍布于所述绝缘窗的上表面:在绝缘窗所在的平面或与该平面平行的平面内定义相互垂直的两个方向，即P方向与Q方向；所述电热丝沿P方向自所述绝缘窗的一侧延伸至绝缘窗之相对的另一侧，而后于所述另一侧沿Q方向延伸至另一位置处；在所述另一位置处，所述电热丝沿P方向的反方向又自所述绝缘窗的所述另一侧延伸至所述一侧；以此方式，所述电热丝逐步自Q方向上的一端延伸至另一端。10.如权利要求9所述的处理装置，其中，自所述Q方向上的所述另一端处，所述电热丝又折返至所述Q方向上的所述一端；折返的电热丝与折返点之前的电热丝不位于同一平面内。11.如权利要求10所述的处理装置，其中，所述折返的电热丝呈直线型。12.如权利要求10所述的处理装置，其中，所述两个接点均位于所述Q方向上的所述一端。13.如权利要求10所述的处理装置，其中，折返的电热丝与折返点之前的电热丝之间以绝缘材料隔离。14.如权利要求10所述的处理装置，其中，折返的电热丝为外周包覆绝缘皮的芯线。15.如权利要求10所述的处理装置，其中，折返的电热丝的导电性优于折返点之前的电热丝。16.如权利要求10所述的处理装置，其中，折返的电热丝与折返点之前的电热丝之间以隔热材料隔离。17.如权利要求10所述的处理装置，其中，折返的电热丝悬空于折返点之前的电热丝上方。18.如权利要求1所述的处理装置，其中，所述电热丝整体位于同一层内，包括设置于绝缘窗不同区域的左上部分、右上部分、左下部分与右下部分；其中，所述右下部分于对称中心处与所述左上部分相连，所述左上部分与所述右上部分相连，所述右上部分于对称中心处与所述左下部分相连。19.如权利要求18所述的处理装置，其中，所述电热丝的所述左上部分、右上部分、左下部分与右下部分中的任一个或全部以这样的方式设置:在绝缘窗所在的平面或与该平面平行的平面内定义相互垂直的两个方向，即P方向与Q方向；所述电热丝沿P方向自所述绝缘窗的一侧延伸至绝缘窗之相对的另一侧，而后于所述另一侧沿Q方向延伸至另一位置处；在所述另一位置处，所述电热丝沿P方向的反方向又自所述绝缘窗的所述另一侧延伸至所述一侧；以此方式，所述电热丝逐步自Q方向上的一端延伸至另一端。20.用于电感耦合等离子体处理装置的加热部件，所述加热部件用来对反应腔室顶部的绝缘窗进行温度控制，所述加热部件包括设置在所述绝缘窗的上表面的电热丝，所述电热丝整体呈中心对称，所述电热丝具有用于与加热电源电性连接以形成回路的两个接点；所述电热丝环绕形成多个图形，每一图形和与该图形中心对称的图形中的加热电流方向相反。21.如权利要求20所述的加热部件，其中，所述电热丝包括位于同一平面内的多段相互平行的横向延伸部以及连接相邻横向延伸部的连接部。22.如权利要求20所述的加热部件，其中，所述电热丝以这样的方式设置:在一平面内定义相互垂直的两个方向，即P方向与Q方向；所述电热丝沿P方向自一侧延伸至另一侧，而后于所述另一侧沿Q方向延伸至另一位置处；在所述另一位置处，所述电热丝沿P方向的反方向又自所述另一侧延伸至所述一侧；以此方式，所述电热丝逐步自Q方向上的一端延伸至另一端。23.如权利要求20所述的加热部件，其中，所述电热丝整体位于同一层内，包括设置于不同区域的左上部分、右上部分、左下部分与右下部分；其中，所述右下部分于对称中心处与所述左上部分相连，所述左上部分与所述右上部分相连，所述右上部分于对称中心处与所述左下部分相连。24.如权利要求23所述的加热部件，其中，所述电热丝的所述左上部分、右上部分、左下部分与右下部分中的任一个或全部以这样的方式设置:在一平面内定义相互垂直的两个方向，即P方向与Q方向；所述电热丝沿P方向自一侧延伸至另一侧，而后于所述另一侧沿Q方向延伸至另一位置处；在所述另一位置处，所述电热丝沿P方向的反方向又自所述另一侧延伸至所述一侧；以此方式，所述电热丝逐步自Q方向上的一端延伸至另一端。25.如权利要求20所述的加热部件，其中，所述感应线圈产生的电磁场于所述每一图形所在区域内的磁通量，于与该图形中心对称的图形所在区域内的磁通量，两者总是相等。
【专利摘要】本发明提供一种电感耦合等离子体处理装置及其加热部件，用于改善甚至是完全避免绝缘窗上方的电热丝对感应线圈解离等离子体作用的削弱。其中，所述加热部件用来对反应腔室顶部的绝缘窗进行温度控制，所述加热部件包括设置在所述绝缘窗的上表面的电热丝，所述电热丝整体呈中心对称，所述电热丝具有用于与加热电源电性连接以形成回路的两个接点；所述电热丝环绕形成多个图形，每一图形和与该图形中心对称的图形中的加热电流方向相反。
【IPC分类】H05H1/20
【公开号】CN105578698
【申请号】CN201410550753
【发明人】谢小兵, 黄智林, 万磊, 王俊, 刘身健
【申请人】中微半导体设备(上海)有限公司
【公开日】2016年5月11日
【申请日】2014年10月17日