专利名称：校准对齐部分的方法、具有校准对齐部分的绘图装置和传送装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种校准对齐部分的方法，并涉及一种其中对齐被校准的绘图装置，还涉及一种传送装置。
背景技术：
通常所使用的绘图装置的实例包括诸如印刷板(柔性板)曝光装置、激光绘图仪和激光打印机的曝光装置。这些装置是扫描型曝光装置，它们使用光束通过扫描记录介质而在记录介质上绘制需要的图形。
在这样的曝光装置中，例如在印刷板曝光装置的情况下，通过在用于印刷线路板的衬底材料上扫描激光而实现绘图，其中所述衬底材料是记录介质。此处所使用的用于印刷线路板的衬底材料，通过在绝缘层上形成导电薄膜并且用光致抗蚀剂覆盖该导电薄膜而构成。
印刷板曝光装置在这样的衬底材料上扫描激光，其中所述激光根据图形数据被调制。需要的衬底图案由此被曝光在光致抗蚀剂层上。
已经过如此曝光处理的用于印刷线路板的衬底材料被从印刷板曝光装置移除，并且经过光刻处理，并由此作为印刷板被完成。
在以此方式所使用的传统的印刷板(柔性衬底)曝光装置，细长、带状记录介质(柔性衬底)在装载机(loader)和卸载机(unloader)之间伸展，其中所述装载机进给出轧制板形式的记录介质，而所述卸载机用于收集记录介质。该记录介质的伸展部分通过固定装置被放置和固定在绘图台的绘图表面上，并且在此状态下，绘图台可以利用滑动装置高精度地滑动。此外，扫描激光的扫描光学系统直接布置在记录介质的上方，其中所述记录介质在装载机和卸载机之间伸展。
当绘图台利用滑动装置高精度地传送时，其中记录介质的伸展部分通过固定装置被固定在所述绘图台的绘图表面上，扫描光学系统通过在与绘图台一起高精度滑动的介质上扫描激光而执行绘图，其中所述激光根据图形数据被调制。
在这种传统的印刷板曝光装置中，在第一绘图处理完成之后，为了再次启动绘图处理，绘图台的固定装置松开，记录介质被装载机的夹紧辊对固定并被卸载机的驱动辊对固定，以便在装载机和卸载机之间伸展的记录介质被设定在不能移动的状态。其后，绘图台被滑动装置朝装载机移动。接下来，记录介质通过绘图台的固定装置被固定在绘图台的绘图表面上。
随后，装载机的夹紧辊对松开，记录介质被装载机的一对抽出辊抽出，以便在所述记录介质上产生松弛。然后，当绘图台被滑动装置朝卸载机移动时，固定在绘图台的绘图表面上的记录介质被扫描光学系统扫描，并且记录介质被卸载机的驱动辊对收集在卸载机中，从而完成接下来的绘图处理。请注意，当随后的绘图处理被执行时，上述操作被重复需要次数。参照例如日本专利申请公开(JP-A)No.2000-235267。
这种传统的印刷板(柔性衬底)曝光装置通常设置有对齐装置，所述对齐装置用于调整对齐以便预定图案被高精度地绘制在细长、带状的记录介质上。在这种用于具有设置有校准标记的不同位置的细长、带状记录介质的每一类型的对齐装置中，必须通过使用与细长、带状记录介质的绘图位置相对应地布置在绘图台上的校准度盘(scale)而执行对齐装置的位置校准。
然而，在上述、传统的印刷板(柔性衬底)曝光装置中，绘图处理总是在以下状态下被执行细长、带状记录介质是跨越的并且在细长、带状记录介质和扫描激光的扫描激光系统之间不存在阻碍部件。因此，用于细长、带状记录介质的传送路径必须设置在布置在绘图台上的校准度盘上。
因此，在细长、带状记录介质被设置在传送路径上的状态下，用于执行对齐装置的位置校准的校准度盘被隐藏在细长、带状、柔性的记录介质之下。因此，当在单一、细长、带状、柔性记录介质的多种类型的衬底上执行绘图处理时，其中在所述多种类型的衬底处校准标记位置是不同的，通过使用用于一种类型的每一细长、带状记录介质不能执行校准装置的位置校准，其中在所述类型的记录介质中设置对准标记的位置是不同的。
因此，在上述的、传统的印刷板(柔性衬底)曝光装置中的问题是绘图处理，并同时通过校准对齐装置的位置而高精度地执行对齐调整，其中对对齐装置的位置的校准是通过使用用于一种类型的每一细长、带状记录介质的校准度盘，在所述类型的记录介质中设置校准标记的位置不同。
发明内容
本发明的第一方面是一种校准对齐部分的方法。该方法包括在对齐被对齐部分调整并且绘图被执行，同时包括多种类型的对齐标记位置的一细长、柔性记录介质被传送的状态下，当柔性记录介质上的对齐标记位置变为不同位置时，限制绘图单元的传送路径上的柔性记录介质。该方法还包括相对地移动校准部件和对齐部分，从而使校准部件和对齐部分彼此相对应。该方法还包括通过使用校准部件，校准对齐部分的参考位置的数据。
根据校准对齐部分的上述方法，即使当细长、柔性记录介质由于它处于在柔性记录介质上执行曝光处理中而不能从扫描用传送部分的传送路径移除时，其中所述柔性记录介质形成为单一细长体并包括具有不同的设置对齐标记的位置的多种类型，在通过使用用于每一种设置对齐标记的位置不同的类型的校准部件校准对齐部分的位置之后，对齐调整被高精度地执行并且绘图处理可以被执行。
本发明的第二方面是一种可以校准对齐的绘图装置。所述绘图装置在绘图单元处执行绘图，同时以给定传送方向在设定在扫描用传送部分处的传送路径上传送细长、柔性记录介质，并且所述绘图装置具有对齐部分，所述对齐部分被布置从而能够在执行对齐处并设定在扫描用传送部分的传送路径上的区域的位置处执行检测，其中细长、柔性记录介质在所述传送路径上被传送；校准部件，所述校准部件被布置在比传送路径更接近对齐部分的位置处；和相对移动机构，所述相对移动机构相对地移动对齐部分和校准部件，以便对齐部分被设定在检测校准部件的状态。
根据上述结构，即使当细长、柔性记录介质由于它处于在柔性记录介质上执行曝光处理中而不能从扫描用传送部分的传送路径移除时，其中所述柔性记录介质形成为单一细长体并包括具有不同的设置对齐标记的位置的多种类型，通过相对移动机构使校准部件和设置在比传送路径更接近对齐部分的位置处的对齐部分彼此相对应，校准对齐部分的位置之后，对齐调整被高精度地执行并且绘图处理可以被执行。
本发明的第三方面是一种校准对齐部分的方法。该校准方法是一种校准细长、柔性记录介质的传送装置中的对齐部分的方法，并且所述方法包括以下步骤在柔性记录介质被设定在传送路径处的状态下，相对地移动对齐部分和校准部件，所述校准部件被布置在比传送路径更接近对齐部分的位置处，并且使对齐部分的位置和校准部件的位置彼此相对；并且通过使用校准部件，执行对齐部分的位置校准。
本发明的第四方面是一种传送装置。该传送装置是一种细长、柔性记录介质的传送装置，并且所述传送装置具有传送部分，所述传送部分在给定传送方向上传送柔性记录介质；对齐部分，所述对齐部分被布置以能够在执行对齐并且设定在传送路径上的区域的位置处执行检测，柔性记录介质被传送部分沿着所述传送路径传送；校准部件，所述校准部件被布置在比传送路径更接近对齐部分的位置处；和相对移动机构，所述相对移动机构相对地移动对齐部分和校准部件，以便对齐部分被设定在检测校准部件的状态中。
图1是透视图，显示了根据本发明实施例的绘图装置的主要部分的示意结构；图2是主视图，显示了根据本发明实施例的绘图装置的主要部分的示意结构；图3是主要部分的示意结构视图，显示了根据本发明实施例的绘图装置的用于扫描的传送部分移动到用于对齐照相机校准的位置的状态，其中所述传送部分设置有用于检测的单元；图4是主要部分的示意结构视图，显示了以下状态根据本发明实施例的绘图装置的装备有用于检测的单元的扫描用传送部分移动到用于光束位置检测的位置；图5是主要部分的示意结构视图，显示了以下状态根据本发明实施例的绘图装置的装备有用于检测的单元的扫描用传送部分移动到用于曝光表面功率校准的位置；图6是主要部分的示意性放大结构视图，显示了以下结构实例在根据本发明实施例的绘图装置中，用于环带的引导件被设置在曝光处理部分的传送路径部分处；图7是主要部分的俯视图，显示了在根据本发明实施例的绘图装置处经过曝光处理的柔性印刷线路板材料的实例。
具体实施例方式
将参照图1到图7说明根据本发明实施例的绘图装置的实施例。
根据本发明的实施例的绘图装置被构造为这样一种柔性印刷线路板曝光装置，所述柔性印刷线路板曝光装置由控制单元自动地控制并且所述柔性印刷线路板曝光装置在扫描方向上移动柔性印刷线路板材料(作为形成细长、带状板的柔性记录介质)的同时，根据在控制单元处从图形数据产生的调制信号空间地调制从光源发出的多束光，并将空间调制后的多束光照射到柔性印刷线路板材料上，由此执行曝光处理。
如图1中所示，在该绘图装置中，曝光处理部分12被布置在底基10的中心部分处。未曝光的记录介质提供部分14布置在曝光处理部分12的一侧部分处(图1中的左侧部分)。曝光后的记录介质收集部分16布置在曝光处理部分12的另一侧部分处(图1中的右侧部分)。
在曝光处理部分12处，衬底传送部分22通过直线移动机构20安装在装置座18的平坦表面上，布置在基底10上的所述装置座18具有隔振功能。
直线移动机构20被构造为，直线电机或另一给送装置安装在具有隔振功能的装置座18的顶部平面部分和移动台21之间，衬底传送部分22安装在所述移动台21上。
当直线移动机构20由例如直线电机构成时，未显示的杆状定子部分(磁体部分)沿着传送方向安装在具有隔振功能的装置座18处。布置在移动台21的底部表面侧的线圈部分(未显示)被设置。由于定子部分的磁场和通电的线圈部分所产生的磁场的作用所产生的驱动力，直线电机在传送方向上移动移动台21。
直线电机可高精度地并通过电控制驱动和控制在衬底传送部分22的传送操作中启动、停止等时候的速度的恒定性、定位精确性和扭矩波动性。
由于直线移动机构20在柔性印刷线路板材料28的传送方向上向上游或向下游地移动整个衬底传送部分22，因此衬底传送部分22可从图1和图2中所示的曝光处理位置移动到图3中所示的用于对齐照相机校准的位置，或者到图4中所示的用于光束位置检测的位置，或者到图5中所示的用于曝光表面功率校准的位置。
如图1和图2中所示，衬底传送部分22被如下地构造。用于衬底厚度调整的Z台24被设定在移动台21上。装备有用于检测的单元的扫描用传送部分26被设定在用于衬底厚度调整的Z台上。
为了调整记录介质的曝光表面的高度位置，用于衬底厚度调整的Z台24被构造为能够平行于装备有用于检测的单元的整个扫描用传送部分26移动，通过使用倾斜表面的细微移动调整机构在高度方向(Z轴线方向)上移动。
如图2中所示，带传送机构被安装到装备有用于检测的单元的扫描用传送部分26上，以便传送作为细长的、带状的柔性记录介质的柔性印刷线路板材料28。该带传送机构由以下部分构造而成布置在传送方向上游侧的夹紧辊对30、布置在传送方向下游侧的夹紧驱动辊对32，和拉在它们之间的环带33。
夹紧驱动辊对32由多个(此处为两个)夹紧辊32B构成，所述夹紧辊32B旋转并同时通过环带33接触驱动辊32A的外周表面。柔性印刷线路板材料28通过环带33被夹紧在驱动辊32A和夹紧辊32B之间。通过旋转驱动辊32A，环带33和柔性印刷线路板材料28被传送而无滑动产生。
在驱动电机34处输出的并在减速机构36处减速的预定旋转速度的旋转驱动力通过带传送机构被传送给驱动辊32A。以此方式，夹紧驱动辊对32以预定扫描速度传送柔性印刷线路板材料28。
布置在装备有用于检测的单元的扫描用传送部分26处的夹紧辊对30被构造为，两个辊旋转并同时通过环带33接触彼此。因此，由于柔性印刷线路板材料28通过夹在夹紧辊对30的夹紧辊之间的环带33被保持在夹紧状态并由于夹紧辊对30旋转，环带33和柔性印刷线路板材料28被给送。
例如如图6中所示，作为圆形通孔的用于吸引的大量孔33A被形成在环形带33中，从而均匀地分布。
吸引箱35设置在装备有用于检测的单元的扫描用传送部分26处。吸引箱35构成吸引装置，并邻近环带33的上伸展部分的相反侧，其中所述环带33的上伸展部分沿着传递路径被布置以便柔性印刷线路板材料28被放置在所述上伸展部分上。
吸引箱35被布置在包括至少对齐被执行的区域和曝光区域的预定范围上，所述两个区域是在稍后将说明的对齐单元46和曝光头单元48正下方的位置。
构成吸引装置的吸引箱35形成为没有盖的矩形箱形状。由于吸引箱35紧邻环带33的上伸展部分的相反侧被布置，由环还33和吸引箱35包围的用于吸引的半封闭空间被形成。
在吸引装置处，从鼓风机(blower)37拉出的吸引管(未显示)的末端部分被连接到吸引箱35。构成吸引装置的鼓风机37吸入由环带33和吸引箱35包围的半封闭空间内的空气，并从用于环带33的吸引的孔33A吸入空气。由于此操作，可执行将柔性印刷线路板材料28吸到环带33的表面的操作。
在以此方式构成的装置有用于检测的单元的扫描用传送部分26中，由于鼓风机37被驱动并吸入由环带33和吸引箱35所包围的半封闭空间内的空气所产生的从用于环带33的吸引的各孔33A吸引的负压，柔性印刷线路板材料28的已被从夹紧辊对30传送到曝光处理部分12的传送路径上的部分被吸引到环带33。在此状态下，柔性印刷线路板材料28与环带33整体地被传送，并从夹紧驱动辊对32传送出。
在柔性印刷线路板材料28以此方式从夹紧辊对30传送到夹紧驱动辊对32的同时，柔性印刷线路板材料28被吸引到环带33上的状态被维持，并且柔性印刷线路板材料28在给定的传送方向上被连续地传送。因此，在装备有用于检测的单元的扫描用传送部分26处，柔性印刷线路板材料28被放置在环带33上，并且曝光处理可被执行并且同时环带33被连续地驱动。因此，连续执行曝光处理的操作始终是可以的。这产生曝光处理的生产能力的增加。
此外，在装备有用于检测的单元的扫描用传送部分26处，使柔性印刷线路板材料28随着具有高平面度的环带33运行，同时紧密地接触环带。因此，曝光头单元48的焦距可以保持恒定，其中所述曝光头单元48的激光使柔性印刷线路板材料28曝光。
特别是在环带33被构造为金属带而不是纤维带的情况下，如果环带33被构造为当大张力被施加到所述环带33上时，所述环带33能够获得更高的平面度，那么吸引在环带33上的柔性印刷板材料28的平面度也被增加。因此，曝光头单元48的焦距被更高精度地保持为恒定。
根据这样的结构，所述结构使柔性印刷线路板材料28随着环带33运行并使在设定连续平坦表面的传送路径上的柔性印刷线路板材料28连续地曝光，当执行例如所谓的平面曝光处理时，其中在所述平面曝光处理中二维图案被二维空间调制元件(DMD)照射，即使曝光区域在给送柔性印刷线路板松材料28的方向上具有其宽度，柔性印刷线路板材料28的平面度是高的。因此，可使焦距在曝光区域内在衬底给送方向上不变化，并获得良好的图形。
此外，在装备有用于检测的单元的扫描用传送部分26的传送路径上，由于柔性印刷线路板材料28被吸引到环带33上，可确保良好的平面度。因此，没有传送方向上拉动的张力被施加到柔性印刷线路板材料28自身上，可防止柔性印刷线路板材料28由于张力而伸长/收缩变形。因此，在以此方式构成的装备有用于检测的单元的扫描用传送部分26中，可以防止在柔性印刷线路板材料28在由于张力而被弹性地拉伸/收缩变形的状态下经受曝光处理、之后所施加的张力被释放并且柔性印刷线路板材料28返回到其原始形状时，被曝光的图形变得偏移(所谓曝光位置偏移)。
在该绘图装置中，鼓风机37的排出空气经过精密空气调节器39，以便灰尘从空气中被移除，并且其后，排出空气在洁净室内循环，其中绘图装置设置在所述洁净室内。为此，一端连接到鼓风机37的空气出口的排气管41的另一端连接到精密空气调节器39的空气入口侧。
由于这样的结构，鼓风机37从吸引箱35吸入从而将柔性印刷线路板材料28吸引到环带33上的空气经过排气管41并在精密空气调节器39中再生。虽然未图示说明，精密空气调节器39利用所谓的HEPA过滤器净化从鼓风机37给送的空气或从绘图装置的外壳的内部吸入的空气，并使空气在洁净室内循环。
当从鼓风机37给送的大量空气被排出到洁净室的外部时，用于提供新鲜、洁净空气到洁净室中的空气调节能力必须是巨大的，并且成本增加。然而，利用上述结构，可防止这种问题，并且还可防止在鼓风机37的排出空气如进入洁净室一样被排出的情况下，来自鼓风机37的灰尘污染洁净室。
此外，在装备有用于检测的单元的扫描用传送部分26的传送路径上，导辊38被布置在夹紧辊对30的上游侧，而导辊40被布置在夹紧驱动辊对32的下游侧。
如图2中所示，作为校准部件的校准度盘(calibration scale)42被布置在装备有用于检测的单元的扫描用传送部分26处的夹紧辊对30的外侧、在用于使柔性印刷线路板材料28曝光的传送路径的传送方向上游侧处的延伸线上的预定位置处，(即，在与形成在柔性印刷线路板材料28上的摄影校准标记M的平面相同的平面上，在用于装备有用于检测的单元的扫描用传送部分26内的用于曝光的传送路径上)其中所述柔性印刷线路板材料28设定在装备有用于检测的单元的扫描用传送部分26内。
此外，光束位置检测装置44和曝光表面功率测量装置45被布置在夹紧驱动辊对32的外侧，其中所述夹紧驱动辊对32在装备有用于检测的单元的扫描用传送部分26处，所述光束位置检测装置44和曝光表面功率测量装置45在用于使柔性印刷线路板材料28曝光的传送路径的传送方向下游侧处的延长线上的预定位置处(即，在与用于装备有用于检测的单元的扫描用传送部分26内的用于曝光的传送路径上的曝光区域的曝光的平面相同的平面上)，其中所述柔性印刷线路板材料28设定在装备有用于检测的单元的扫描用传送部分26中。
即，在绘图装置中，作为校准部分的校准单元46的照相机部分52相对于装备有用于检测的单元的扫描用传送部分26移动。照相机部分52被设定在用于使柔性印刷线路板材料28曝光的传送路径上的执行校准的区域的位置处，其中所述柔性印刷线路板材料28设定在装备有用于检测的单元的扫描用传送部分26处。照相机部分52被设定在作为校准部件的校准度盘42的位置处，其中所述校准度盘42设置在装备有用于检测的单元的扫描用传送部分26处。
请注意，在绘图装置中，相对移动以任意形式实现都满足要求，只要使用相对移动机构，所述相对移动机构可执行相对移动，以便照相机部分52和在用于曝光的传送路径上执行校准的区域彼此对应，并且照相机部分52和作为校准部件的校准度盘42彼此对应。例如，如图1到图5所示，以下结构是可以的，在所述结构中照相机部分52被固定而装备有用于检测的单元的扫描用传送部分26被作为相对移动机构的直线移动机构30移动。或者，可以被使用如下结构装备有用于检测的单元的扫描用传送部分26被固定，以便执行对齐的区域的位置和校准度盘42的位置是不可移动的，并且相对移动机构(未显示)可以使照相机部分52在对齐标记M摄影位置和校准度盘42摄影位置之间移动。
另外，在绘图装置中，可以使用任意类型的相对移动机构并且此外，可以通过任意类型的形式实现相对移动，这样都可满足要求，只要相对运动是可以的，以便光束位置检测装置44和曝光头单元48的各个头组件54彼此对应，以便各个的头组件54和曝光表面功率测量装置45彼此对应。例如，如图1到图5中所示，以下结构是可以的，在所述结构中曝光头单元48的各个头组件54是固定的，并且光束位置检测装置44被移动到曝光位置处，并且装备有曝光表面功率测量装置45的扫描用传送部分26被移动到曝光位置。或者，可以使用以下结构装备有光束位置检测装置44和曝光表面功率测量装置45的扫描用传送部分26是固定的并不可移动的，并且曝光头单元48的各个头组件54被移动。
即，在绘图装置中，用作移动衬底传送部分22的相对移动机构的直线移动机构20构成这样的装置，所述装置将校准度盘42、光束位置检测装置44和曝光表面功率测量装置45分别移动到预定位置。
如图1和图2中所示，在曝光处理部分12处，在衬底传送部分22上方，作为对齐部分的对齐单元46布置在传送方向上游侧，并且用作绘图单元的曝光头单元48布置在传送方向下游侧。
虽然未图示说明，通过安装基部50到诸如绘图装置的外壳等的固定结构上，作为对齐部分的对齐单元46被设定。一对平行轨道(未显示)被设置在基部50上。多个(本实施例中为四个)照相机部分52通过被滚珠螺杆(ball screw)机构移动的照相机底座安装到轨道部分上，以便照相机部分52可以移动，从而使透镜部分的光轴与柔性印刷线路板材料28的横向方向上的需要位置相匹配。
虽然未图示说明，在每一个照相机部分52，透镜部分设置在照相机主体的底部表面，并且环状闪光源(LED闪光源)安装到透镜部分的突起的末端部分。在照相机部分52，来自闪光源的光照射到柔性印刷线路板材料28上，柔性印刷线路板材料28反射的光通过透镜部分在照相机主体处被获取，并且柔性印刷线路板材料28的端部或标记M(如图8中所示)等被检测。
虽然未图示说明，用作绘图单元的并如图1和图2中所示被布置在曝光处理部分12处的曝光头单元48，被设定为安装在支架上，所述支架直立地竖立在正被传送的柔性印刷线路板材料28的横向两端部分的外侧处。
用作绘图单元的曝光头单元48被构造为激光曝光装置。多个头组件54被布置为m行和n列的大致矩阵形式(在本实施例中，为两行和四列，总数为八个)。多个头组件54的行被布置为沿柔性印刷线路板材料28的横向方向(该方向垂直于传送方向，并与垂直于作为柔性印刷线路板材料28的传送方向的扫描方向的方向相同)延伸。
如图1中所示，光源单元56被布置在绘图装置主体内。虽然未图示说明，光源单元56容纳多个激光(半导体激光)光源。从各个激光光源发出的光束被光学纤维分别地导入对应的头组件54中。
每一头组件54被构造为，在导入其中的光束被作为空间光调制器的数字微镜装置(DMD)(未显示)调制之后，光束被自动聚焦机构聚焦到柔性印刷线路板材料28上并照亮二维图案(即，头组件54执行所谓的平面曝光处理)。
每一头组件54的数字微镜装置(DMD)根据控制单元58的图像处理部分处的图形数据以点为单位被控制，并在柔性印刷线路板材料28上曝光点图案。
用作绘图单元的曝光头单元48通过以下方式执行曝光处理在以均匀速度传送柔性印刷线路板材料28的同时，在预定时间将从各个头组件54辐射的多个光束照射到柔性印刷线路板材料28上。在曝光的时候，各个头组件54在焦点已被自动对焦机构调整之后执行曝光。因此，即使此时柔性印刷线路板材料28的高度位置存在变化，合适的曝光处理可以被执行。
虽然未图示说明，在曝光头单元48处，被头组件54之一曝光的曝光区域是矩形区域，所述矩形区域以预定的倾斜角度相对于扫描方向倾斜并且其短边沿扫描方向延伸。带状曝光区域由每一头组件54形成在在扫描方向上被传送的柔性印刷线路板材料28上。
在所述曝光区域以预定倾斜角度相对于扫描方向倾斜的状态下，曝光头单元48执行曝光。因此，由于被曝光的二维布置的点图案相对于扫描方向倾斜，在扫描方向上排列的各个点经过在与扫描方向交叉的方向上排列的点之间，以便点之间的真实间距变窄，并且因此，可实现更高的分辨率。
另外，在绘图装置中，当在曝光头单元48和正传送的柔性印刷线路板材料28之间的相对位置关系产生偏离时，照相机部分52对设置在柔性印刷线路板材料28上的标记M等照相，并检测柔性印刷线路板材料28和曝光头单元48的位置的偏置量，并校正曝光头单元48的曝光处理，以便可以在柔性印刷线路板材料28上执行适当的曝光处理。
如图1和图2所示，为了使绘图装置在传送设定在曝光处理部分12处的传送路径上的柔性印刷线路板材料28的同时连续执行曝光处理，连接到曝光处理部分12的传送路径的上游侧上的未曝光记录介质提供部分14被设置，并且连接到曝光处理部分12的传送路径的下游侧的曝光后记录介质收集部分16被设置。
未曝光记录介质提供部分14由供带盘(supply reel)60和间隔带卷起盘(spacer tape take-up reel)62构成，其中未曝光的细长的柔性印刷线路板材料28以卷的形式卷绕在所述供带盘60上，而所述间隔带卷起盘62被安装在驱动单元64上。
未曝光记录介质提供部分14被构造为，通过作为张力设定装置的张力调节辊(dancer roller)机构，将从供带盘60拉出的柔性印刷线路板材料28传送到曝光处理部分12的记录介质传送路径的入口，以使柔性印刷线路板材料28被传送，并同时沿着环带33被设定并平坦地紧密地配合到环带33。
虽然未图示说明，用于调整传送速度差异的第一张力调节辊机构可以被设置在供带盘60和曝光处理部分12的记录介质传送路径的入口之间，并且作为张力设定装置的第二张力调节辊机构可以通过清洁辊被布置。
张力调节辊机构例如布置并构造以旋转张力调节辊68，所述张力调节辊68在使柔性印刷线路板材料28在未曝光记录介质提供部分14的出口侧辊66和曝光处理部分12的入口导辊38之间松弛为U形形状的部分处。请注意，张力调节辊机构可以由所谓的空气浮辊(air dancer)构成，所述空气浮辊被构造为利用空气吸住柔性印刷线路板材料28。此外，作为张力设定装置的第二张力调节辊机构被构造为施加所需的相对弱的张力，从而使柔性印刷线路板材料28平坦地紧密地接触环带33。
由于驱动单元64旋转和驱动供带盘60，以此方式构造的未曝光记录介质提供部分14拉出柔性印刷线路板材料28，并通过张力调节辊机构，在曝光处理部分12的环带33和夹紧辊对30之间传送所述柔性印刷线路板材料28，并连续地提供柔性印刷线路板材料28以便它在传送路径上的环带33上不滑动。
在供带盘60处，间隔带(spacer tape)61被夹在并卷在卷绕的柔性印刷线路板材料28的层之间，以便层彼此不直接接触。因此，在未曝光记录介质提供部分14处，间隔带卷起盘62被驱动单元64旋转并驱动，以便与正传送出的柔性印刷线路板材料28一起伸出的间隔带61被卷起到间隔带卷起盘62上。
曝光记录介质收集部分16被构造为，卷起盘70和间隔带提供盘72被安装在驱动单元74上，其中所述卷起盘70卷起曝光的、细长的柔性印刷线路板材料28。
在曝光记录介质收集部分16处，从曝光处理部分12传送出的曝光后的柔性印刷线路板材料28通过用作张力设定装置的张力调节辊机构被卷起到卷起盘70上，并被连接到曝光处理部分12的记录介质传送路径的出口。
张力调节辊机构例如布置并构造为旋转张力调节辊68，所述张力调节辊68在使柔性印刷线路板材料28在布置在曝光处理部分12的出口导辊40的传送方向下游侧处的支持辊76和曝光记录介质收集部分16的入口侧辊78之间松弛为U形形状的部分处。
在曝光记录介质收集部分16处，夹紧辊对80被设定在入口侧辊78和卷起盘70之间。由于曝光柔性印刷线路板材料28被拉从而被卷起盘70卷起而起作用的张力在夹紧辊对80处被吸收，并且张力不被传递到布置在曝光记录介质收集部分16的传送路径上游侧的张力调节辊机构。
以此方式构造的曝光记录介质收集部分16被构造为，由于驱动单元74旋转和驱动卷起盘70，通过张力调节辊机构从曝光处理部分12给送出的柔性印刷线路板材料28被连续地卷起并收集。
在曝光记录介质收集部分16处，在将柔性印刷线路板材料28卷起到卷起盘70上的时候，间隔带61被夹紧并卷绕在卷绕表面之间，以便卷绕在供带盘60上的柔性印刷线路板材料28的层彼此不直接接触。因而，在曝光记录介质收集部分16处，间隔带提供盘72被驱动单元74旋转，从而从间隔带提供盘72拉出间隔带61，以便间隔带61可以被卷绕并同时沿着被传送入的柔性印刷线路板材料28延伸。
如图1和图2中所示，在上述结构的绘图装置中，带传送机构被设置在夹紧驱动辊对32和曝光处理部分12的用于曝光的传送路径的夹紧辊对30之间。
在曝光处理部分12的用于曝光的传送路径处，曝光处理由曝光头单元48执行，同时在该带式传送机构的环带33上传送的柔性印刷线路板材料28的部分在主运行方向(主扫描方向)上以预定速度被夹紧驱动辊对32的旋转驱动力传送，并整体地处于以下状态中由于鼓风机37被驱动并且环带33和吸引箱35包围的半封闭空间内正被吸引以及被从环带33的用于吸引的孔33A吸引的空气的作用，所述柔性印刷线路板材料28被吸在环带33的表面上。
当曝光处理在曝光处理部分12处被执行时，柔性印刷线路板材料28被环带33在对应于对齐单元46下方的位置处以及在对应于曝光头单元48下方的位置处平坦地支撑在用于曝光的传送路径上。请注意，在曝光处理部分12的用于曝光的传送路径上伸展的柔性印刷线路板材料28，利用由于布置在传送方向上游侧的张力调节辊机构和布置在传送方向下游侧的张力调节辊机构所产生的预定张力的作用，被稳固地保持在环带33上而没有滑动。
因此，曝光处理部分12可利用曝光头单元48的各个头组件54，在平坦地保持在环带33处的柔性印刷线路板材料28的表面上，以二维图案正确地执行曝光处理。
此外，在曝光处理部分12处，曝光处理可以由曝光头单元48在柔性印刷线路板材料28上连接地执行，其中所述柔性印刷线路板材料28正以均匀的速度在主运行方向上被传送。因此，可消除在曝光头单元48正下方往复地操作柔性印刷线路板材料28的操作，并可通过迅速地执行曝光处理并以流水线的方式提高操作效率。
此外，在绘图装置中，根据识别柔性印刷线路板材料28的对齐单元46所获得的标记M或端部的位置数据，控制单元58确定曝光头单元48的曝光处理时的曝光起始位置，以及与柔性印刷线路板材料28的横向方向上的点的移位位置有关的校正系数。然后，根据该校正系数，控制单元58执行控制从而通过曝光头单元48的各个头组件54校正诸如二维绘案或者图形记录起始时间等因数，并从而执行曝光处理，以便在柔性印刷线路板材料28上曝光的图形的位置被校正至合适位置。
在绘图装置的曝光处理部分12处，作为在对齐单元46正下方的柔性印刷线路板材料28的检测对象的部分，以及作为在曝光头单元48正下方的柔性印刷线路板材料28的检测对象的部分，两者都接收相同的张力并在主运行方向(主扫描方向)上以相同的速度被传送。因此，由于对齐单元46的检测结果可在曝光头单元48处无误差地利用，因此可进一步提高曝光处理的精度。
接下来，将解释在绘图装置中所使用的对齐单元46的校准过程。在绘图装置中，校准由对齐单元46执行，从而正确地调整柔性印刷线路板材料28和曝光头单元48之间的相对位置关系。
在绘图装置的对齐过程中，当柔性印刷线路板材料28的尺寸数据在输入部分(未显示)被输入时，根据所输入的尺寸数据，对齐单元46的照相机部分52的位置被移动并被调整，从而适应柔性印刷线路板材料28的横向方向位置。
在绘图装置中，正在主扫描方向上移动的柔性印刷线路板材料28的纵向方向上的预定范围被各个照相机部分52照相，柔性印刷线路板材料28上的用于曝光位置检测的预先形成的标记M被检测，标记M被与各个照相机部分52的参考位置相比较，并产生用于曝光的校正数据。根据该校正数据通过使用例如脉冲计数器(未显示)，通过力求柔性印刷线路板材料28的曝光起始位置到达曝光头单元48的曝光光束照射位置的时间，执行曝光处理操作。
此外，在绘图装置中，为了力求合适的对齐，用于对齐的照相机部分52的位置校准被执行。在该用于对齐的照相机部分52的位置校准中，通过使用校准度盘42执行位置校准。
为此，在绘图装置中，直线移动机构20被驱动，以便整个衬底传送部分22((此处设置有移动台21，用于衬底厚度调整的Z台24，夹紧辊对30，和夹紧驱动辊对32)和用于扫描的传送部分26(在所述传送部分26处设置有校准度盘42))从图2中所示的曝光等待位置朝图2中右方移动，并被设定在图3中所示的用于对齐照相机校准位置处。
即，在绘图装置中，装备有校准度盘42的扫描用的并且布置在衬底传送部分22处的传送部分26被直线移动机构20移动，其中所述直线移动机构20移动衬底传送部分22，以便校准度盘42与照相机部分52重合。
在图3中所示的用于对齐照相机校准的位置处，各个照相机部分52和与其相对应的校准度盘42处于彼此相对的状态。在此状态下，根据被指明的对齐标记M的横向位置信息，用于对齐的照相机部分52在衬底的横向方向上被移动。
绘图装置被构造为，校准度盘42被布置为比柔性印刷线路板材料28的传送路径更接近照相机部分52。因此，用于对齐的照相机部分52的位置校准可以在以下状态下被执行柔性印刷线路板材料28已被传送到装置有用于检测的单元的扫描用传送部分26的传送路径上。即，在绘图装置中，用于对齐的照相机部分52的位置校准可以被执行，而不用从装备有用于检测的单元的扫描用传送部分26的传送路径移除柔性印刷线路板材料28。
在绘图装置中，校准度盘42被用于对齐的照相机部分52照相，校准度盘42和照相机部分52之间的位置关系从校准度盘42的图案被照相的位置处被校准。
请注意，在绘图装置中，在对齐照相机校准操作被完成之后，直线移动机构20被驱动，并且整个衬底传送部分22从图3中所示的用于对齐照相机校准的位置返回到图2中所示的曝光等待位置。
接下来，将解释绘图装置中所使用的校准装置，校准装置涉及各个头组件54的曝光位置以及曝光区域内的功率分布。
在绘图装置中，首先，为了测量各个头组件54的光束位置，装备有用于检测的单元的扫描用传送部分26从图2中所示的曝光等待位置朝附图中左侧移动到图4中所示的光束位置检测位置，在所述光束位置检测位置处各个头组件54和与其相对应的光束位置检测装置44彼此相对。
在绘图装置中，以与上述移动校准度盘42到照相机部分52时相同的方式，光束位置检测装置44被移动衬底传送部分22的直线移动机构20移动以与各个头组件54重合，其中所述光束位置检测装置44被设定在用于扫描的传送部分26处，所述传送部分26装备有用于衬底传送部分22的检测的单元。
然后，各个头组件54的光束位置被光束位置检测装置44所测量，并且头组件54的曝光位置被校准。
接下来，在绘图装置中，为了测量每一头组件54的曝光区域内功率分布，装备有用于检测的单元的扫描用传送部分26从图4中所示的光束位置检测位置朝附图中左侧移动到曝光表面功率校准位置，在所述曝光表面功率校准位置处头组件54和与其相对应的曝光表面功率测量装置45彼此相对。
请注意，在绘图装置中，以与上述在移动校准度盘42到照相机部分52时相同的方式，曝光表面功率测量装置45被移动衬底传送部分22的直线移动机构20移动，从而与各个头组件54重合，其中所述曝光表面功率测量装置45被设定在装备有用于衬底传送部分22的检测的单元的扫描用传送部分26处。
然后，各个头组件54的曝光区域内的功率分布由对应的曝光表面功率测量装置45所测量，并且所有曝光区域中的功率被校准，并且合适的二维图案的绘图被执行。
绘图装置被构造为，光束位置检测装置44和曝光表面功率测量装置45被布置为比柔性印刷线路板材料28的传送路径更接近曝光头单元48。因此，即使在柔性印刷线路板材料28已被传送到装备有用于检测的单元的扫描用传送部分26的传送路径上的状态下，柔性印刷线路板材料28不介于各个头组件54和光束位置检测装置44或者曝光表面功率测量装置45之间。因此，各个头组件54的曝光位置的校准，和在各个头组件54的所有曝光区域处的功率校准可以被执行。即，在绘图装置中，各个头组件54的曝光位置的校准，和各个头组件54的所有曝光区域处的功率校准可以被执行，而不用从装备有用于检测的单元的扫描用传送部分26的传送路径移除柔性印刷线路板材料28。
此外，在绘图装置中，在校准各个头组件54的曝光位置的操作以及校准所有曝光区域处的功率的操作被完成之后，直线移动机构20被驱动，并且整个衬底传送部分22从图5中所示的曝光表面功率校准位置返回到图2中所示的曝光等待位置。
在绘图装置中，在执行如上所述的对齐照相机校准操作或者校准曝光位置的操作或者校准所有曝光区域处的功率的操作的时候，在装备有用于检测的单元的扫描用传送部分26的传送路径上的柔性印刷线路板材料28被限制而不移动。因此，在绘图装置中，在当装备有用于检测的单元的扫描用传送部分26被移动时，吸引装置的鼓风机37被驱动，被吸引箱35包围的半封闭空间内的空气被吸引，并且空气从被制动的环带33的用于吸引的孔33A被吸入。由于该操作，柔性印刷线路板材料28被设定在以下状态中所述柔性印刷线路板材料28被吸引在静止的环还33的表面上，并且柔性印刷线路板28以不移动状态保持在装备有用于检测的单元的扫描用传送部分26的传送路径上。或者，绘图装置可以被构造为，在当装备有用于检测的单元的扫描用传送部分26被移动时，在装备有用于检测的单元的扫描用传送部分26的传送方向上游侧处的夹紧辊对30被制动，夹紧在夹紧辊对30之间的柔性印刷线路板材料28被限制，在装备有用于检测的单元的扫描用传送部分26的传送方向下游侧处的夹紧驱动辊对32被制动，并且夹紧在夹紧辊对30之间的柔性印刷线路板材料28被限制。
接下来，将说明当柔性印刷线路板材料28包括具有不同对齐标记位置的多种类型时，绘图装置中的处理操作，其中所述柔性印刷线路板材料28是串联连接的并以卷形式卷绕在供带盘60上的细长、带状、柔性记录介质。
当一柔性印刷线路板材料28包括以此方式具有不同对齐标记位置的多种类型时，绘图装置通过使用如上所述的校准度盘42执行用于对齐的照相机部分52的位置校准，从而使各个照相机部分53对应于形成在柔性印刷线路板材料28上的不同对齐标记M位置，位置校准每一次在起始另一种类型的绘图处理之前的阶段执行，在所述另一种类型中形成在柔性印刷线路板材料28上的对齐标记的位置在不同位置处。
即，在绘图装置中，即使在由于柔性印刷线路板材料28处于曝光处理卷绕在供带盘60上的柔性印刷线路板材料28的一卷中时柔性印刷线路板材料28不能从装备有用于检测的单元的扫描用传送部分26的传送路径移除的情况下，校准度盘42可以被移动到用于对齐的照相机部分52的图形拾取位置。因此，即使在一柔性印刷线路板材料28包括多种类型而所述多种类型对于每一不同类型而言对齐标记M位置是不同的这一情况下，用于对齐的照相机部分52的位置校准被执行，照相机部分52的参考位置的数据被校准，对齐被高精度地调整，而曝光处理可以在各个头组件54处被执行。
在绘图装置中，光束位置检测装置44或者曝光表面功率测量装置45可以被移动到各个头组件54的曝光区域，而不从装备有用于检测的单元的扫描用传送部分26的传送路径移除柔性印刷线路板材料28。因此，即使在一柔性印刷线路板材料28中包括对齐标记M位置不同的多种类型的情况下，合适的光束位置校准和曝光表面功率校准被执行，并且曝光处理可在每一头组件54处被执行。
此外，通过使用移动校准度盘的机构，曝光光束位置测量装置可以相对于曝光头被移动。因此即使在曝光一卷中也可执行光束位置的校准。
接下来，将说明如上所述构造的绘图装置的工作和操作。
在绘图装置中，在曝光处理被开始之前，用于校准对齐照相机部分52的上述过程、和各个头组件54的曝光区域内的曝光位置和功率分布的校准被执行。请注意，用于校准对齐照相机部分52的过程，和用于校准各个头组件54的曝光区域内的曝光位置和功率分布的过程可以在任意时间被执行。
接下来，在绘图装置中，作为将被执行曝光处理的对象的柔性印刷线路板材料28，被设定在传送路径上，所述传送路径从未曝光介质提供部分14经过曝光处理部分12并到达曝光记录介质收集部分16。为此，作为记录介质的柔性印刷线路板材料28从供带盘60取出，沿在曝光处理部分12处的传送路径通过，并且所述柔性印刷线路板材料28的前端被固定到卷起盘70上。
其后，在绘图装置中，供带盘60被旋转直到检测到以下状态在设定在传送路径上的柔性印刷线路板材料28的、在供带盘60侧的出口侧辊66和在曝光处理部分12侧的入口引导辊38之间的部分处，松弛已变成预定量(松弛的最上限值)，其中预定量是该部分是最松弛的状态，并且张力调节辊68被设定在松弛部分处。其后，当检测到松弛已变成松弛量的下限值(柔性印刷线路板材料28处于最少松弛状态)时，调整被执行从而旋转和驱动供带盘60，直到检测到松弛已变成松弛量的上限值。
接下来，在绘图装置中，夹紧驱动辊对32被旋转和被驱动直到检测到以下状态在曝光处理部分12的传送路径出口侧保持辊76和曝光记录介质收集部分16的入口侧辊78之间的部分处，松弛已变成预定量(松弛的最下限值)，其中预定量为该部分是最小松弛的状态，并且张力调节辊68被设定在松弛部分处。其后，当检测到松弛已变为松弛量的上限值(柔性印刷线路板材料28最松弛的状态)时，调整被执行从而旋转和驱动卷起盘70直到检测到松弛已变为松弛量的下限值。
接下来，在绘图装置中，夹紧驱动辊对32被旋转和驱动，同时柔性印刷线路板材料28被传送，柔性印刷线路板材料28的表面以预定间隔被对齐照相机部分52照相。当设置在柔性印刷线路板材料28上的曝光起始位置的标记M被照相(检测到)时，夹紧驱动辊对32被停止并被设定在等待状态中。
随后，在绘图装置中，夹紧驱动辊对32被旋转，并且当柔性印刷线路板材料28已经被传送预定量时，对齐照相机部分52对在先前工作过程中设置在柔性印刷线路板材料28上的单位曝光区域L的对齐标记M照相，并测量单位曝光区域L的标记M的位置。单位曝光区域L的标记M的位置测量优选地在图8中所示的柔性印刷线路板材料28的给送方向上、在曝光区域L内的两个或多个位置处进行(在单位曝光区域L的周边处的四个或多个位置)。然而，在衬底不能被伸长/收缩变形的情况下，两个位置就满足需要(在单位曝光区域L的顶部和底部或者在左侧和右侧)。
接下来，当单位曝光区域L的标记M的位置的测量被完成时，控制单元58从单位曝光区域L的标记M的位置的测量值执行曝光数据的变形处理，以便将被曝光的图形符合伸长/收缩变形的状态。请注意，此时，控制单元58可执行还包括图形记录位置校正(曝光起始时间校正)的处理。
在控制单元58执行曝光数据的变形处理的同时，控制单元58执行用于连续地给送柔性印刷线路板松材料28的控制，并执行接下来的单位曝光区域L的对齐标记M的位置的测量。
接下来，当控制单元58完成曝光数据的变形处理并且单位曝光区域L的前端被给送到曝光头单元48的位置时，通过在柔性印刷线路板松材料28之上的各个头组件54，控制单元58开始曝光。当该单位曝光区域L的后端(trailing end)到达曝光头单元48之后的预定位置时，控制单元58停止单位曝光区域L的曝光。
在当柔性印刷线路板材料28的单位曝光区域L经过所曝光头单元48曝光的曝光区域时，该曝光处理被执行。曝光处理通过以下步骤执行各个头组件54根据在控制单元58处经过变形处理的曝光数据，将激光照射到DMD上，激光沿着由光学系统设定的光学路径经过，并镜像或反射到柔性印刷线路板材料28上，其中所述激光在DMD的微镜处于接通状态时被反射。
绘图装置连续地执行上述曝光处理，并且当单位曝光区域L已经被曝光预先指定的次数时，停止夹紧驱动辊对32并结束曝光处理。
如上所述，在绘图装置中，柔性印刷线路板材料28延伸从而位于带式传送机构的环带33上并沿着环带33延伸，其中所述带式传送机构横跨在夹紧辊对30和夹紧驱动辊对32之间。由于夹紧驱动辊对32以均匀速度被旋转，柔性印刷线路板材料28与环带33整体地连续地被给送。然后，利用头组件54，在通过环带33横跨在夹紧辊对30和夹紧驱动辊对32之间的柔性印刷线路板材料28的伸展部分上，连续地执行激光曝光并绘制图形。因此，与用于对齐调整的处理在行进行程的记录介质上执行而曝光调整在返回行程上执行的结构相比较，绘图装置始终可连续地执行曝光处理，并且因此可提高生产能力。
接下来，将参照图6描述为上述绘图装置中的曝光处理部分12的传送路径上的环带33提供引导的结构实例。
在图6中所示的曝光处理部分12中，用作下支撑装置的旋转接触辊84被布置在对应于环带33正下方的位置处，所述位置对应于传送路径上头组件54执行的整个曝光处理区域。
旋转接触辊84旋转，同时接触环带33的底部表面，并引导环带33从而被从下方支撑。如图6中所示，旋转接触辊84被布置在传送方向上游侧和下游侧，从而夹着由头组件54曝光的各个曝光处理区域，并且旋转接触辊84被布置在传送方向上游侧和下游侧从而夹着由照相机部分52照相的照相区域。利用以此方式布置旋转接触辊84，当空气从吸引箱35被吸引时，可限制环带33被移动从而被拉向吸引箱35侧。
此处，图6中所示的曝光处理部分12可被构造为，代替旋转接触辊84，其中形成有大量吸孔的吸引台的平坦表面滑动地接触和引导环带33的相反侧，虽然此结构未显示。在这种结构的情况下，由于用于环带33的吸引的孔33A的吸住作用，柔性印刷线路板材料28被吸引到环带33的表面上，其中所述孔33A与形成在吸引台中的用于吸引的大量孔连通。
请注意，在图6所示的结构中，独立的吸引箱35分别地用于与曝光处理区域和照相区域相对应的部分。
通过以此方式设置旋转接触辊84，在传送路径上被环带33支撑和传送的柔性印刷线路板材料28经受由各个头组件54执行的曝光处理，同时被旋转接触辊84从环带33的相反侧间接地支撑并被引导以便其平面状态被维持。在这种结构的情况下，在曝光处理的时候，以更高的精度维持平面度，并且可防止柔性印刷线路板材料28的平坦的表面由于外部扰动而变化。因此，能够以更稳定的质量执行曝光处理。
此外，当两个旋转接触辊84被布置在曝光位置附近、环带33的相反表面处并且这些旋转接触辊84之间的区域被吸引箱35吸引时，由于吸引产生的环带33的陷入可以被保持为少量的，柔性印刷线路板材料28被保持为平面，并获得良好的曝光表面。另外，通过在对齐位置附近、在环带33处利用相似结构，也可合适地执行对齐处理。
虽然未图示说明，除设置旋转接触辊84之外，其中所述旋转接触辊84被布置为下支撑装置，可以使用一种结构，其中在照相机部分52正下方的位置处和在曝光头单元48正下方的位置处，一个或多个引导辊旋转地接触环带33的相反侧处的任意位置，并平坦地传送柔性印刷线路板材料28，同时引导柔性印刷线路板材料28从而保持其平面状态。
此外，在根据本实施例的绘图装置中，即使用于将柔性印刷线路板材料28吸引到环带33上的结构(即，吸引箱35，形成在环带33中的用于吸引的孔33A，鼓风机37等)被省去，并且曝光被执行，同时在使柔性印刷线路板材料28沿环还33的表面延伸的状态下驱动环带33，由于柔性印刷线路板材料28沿高平面度的环带33延伸，因此头组件54的焦距保持恒定。
另外，在根据本实施例的绘图装置中，即使作为张力设定装置的张力调节辊机构被省去，如果柔性印刷线路板材料28被吸引到环带33的表面上并被传送，那么即使张力未被施加到柔性印刷线路板28上，也可确保良好的平面度。在该结构的情况下，由于张力未通过张力设定装置被施加到柔性印刷线路板28上，可以使由于柔性印刷线路板材料28的伸展和收缩引起的曝光位置偏离是小的，并且可简化用于其校正的处理。
请注意，在本实施例中，DMD被用作用在曝光头单元48的头组件54处的空间光调制器(spatial light modulator)，其中所述曝光头单元48被构造为激光曝光装置，并且点图案通过打开和关闭DMD产生，同时照射时间的时间段是不变的。然而，根据打开时间比例(运行(duty))控制的脉宽调制(pulse width modulation)可以被执行。此外，点图案可以通过多次照射而产生，同时每一次照射时间段都是极短的时间段。
另外，在本实施例中，说明了具有作为空间光调制器的DMD的头组件54。然而，除这种反射型空间光调制器之外，例如，MEMS(微型机电系统，Micro Electro Mechanical System)型空间光调制器(SLM)，或者MEMS型之外的诸如透射型空间光调制器(LCD)的空间光调制器，根据电光效应调制透射光线的光学元件(PLZT元件)，诸如液晶光线快门(FLC)的液晶快门阵列等可以被使用以代替DMD。另外，可以使用一种结构，在所述结构中多个光栅光线阀(grating light valve，GLV)以二维形式被排列。在使用反射型空间光调制器(GLV)和透射型空间光调制器(LCD)的结构中，灯(lamp)等可以被用作光源，而非上述激光。
此外，可以使用以下光源作为本实施例中的光源具有多个多元激光光源(multiplex laser light source)的纤维阵列光源；一种纤维阵列光源，所述光源中排列有具有单个光学纤维的纤维光源，所述光源发射激光，并且使激光从具有一个发光点的单一半导体激光器入射；和一种光源，其中多个发光点被二维地排列(例如，LD阵列，有机EL阵列等)。
在绘图装置中，除辐射二维图案和执行曝光处理的头组件之外，例如，可使用激光曝光装置，所述激光曝光装置使用直线地执行曝光处理的多角镜(polygon mirror)等。
在绘图装置中可使用通过曝光信息被直接记录的光子模式(photon-mode)的感光材料，或者可以使用利用通过曝光产生的热量记录信息的热量模式的感光材料。在使用光子模式的感光材料的情况下，GaN半导体激光器、波长转换固态激光器等被用作激光器装置。此外，在使用热量模式的感光材料的情况下，AlGaAs半导体激光器(红外线激光器)或者固态激光器被用作激光器装置。
此外，在上述实施例中，在夹紧辊对30和夹紧驱动辊对32之间伸展的柔性印刷线路板材料28由于张力调节辊机构而以不变张力被伸展，其中张力调节辊机构用作张力设定装置并布置在夹紧辊对30的传送方向上游侧，而另一张力调节辊机构用作张力设定装置并被布置在夹紧驱动辊对32的传送方向下游侧处。然而，此处所使用的张力设定装置可以被构造为，通过以不同速度旋转和驱动一夹紧辊对和另一夹紧辊对而施加不变张力，或者被构造为，通过以预定制动力使一夹紧辊对制动并利用另一夹紧驱动辊对传送从而施加不变的张力。
请注意，除用作细长、带状、柔性记录介质的柔性印刷线路板材料28的绘图处理之外，绘图装置可以被构造为一种执行用于显示器的衬底的绘图处理的装置。
此外，本发明并不限于以上说明，并且可当然地设想不背离本发明的主旨的范围内的各种任意结构。
在本发明的对齐可以被校准的绘图装置中，校准部件可以被安装到扫描用传送部分上，以便表面与扫描用传送部分的传送路径的大致延伸平面重合。
根据这样的结构，除本发明的上述第二方面的操作和效果之外，在与检测在扫描用传送部分的传送路径上的细长、柔性记录介质的条件相同的条件下，对齐部分可以检测校准部件。因此，诸如焦点调整等麻烦的过程可以被排除。
在本发明的对齐可以被校准的绘图装置中，相对移动机构可以被构造为整体地移动扫描用传送部分和安装到其上的校准部件。
在本发明的对齐可以被校准的绘图装置中，当相对移动机构移动扫描用传送部分时，限制机构可以用于限制在扫描用传送部分的传送路径上的细长、柔性记录介质。
在本发明的对齐可以被校准的绘图装置中，对齐部分可以被构造为，照相机部分被安装到基部上从而能够在细长的、柔性记录介质的横向方向上移动。
在本发明的对齐可以被校准的绘图装置中，对齐部分可以被构造以通过被控制单元自动控制从而操作。
在本发明的对齐可以被校准的绘图装置中，绘图单元可以由激光曝光装置构成。
在本发明的对齐可以被校准的绘图装置中，绘图单元可以被构造从而利用空间光调制器调制光束并执行二维图案的曝光处理。
在本发明的对齐可以被校准的绘图装置中，光束位置检测装置和曝光表面功率测量装置可以被安装到扫描用传送部分上，以便表面与扫描用传送部分的传送路径的大致延伸平面重合。
根据这样的结构，除本发明的上述第二方面的操作和效果之外，通过使用光束位置检测装置和曝光表面功率测量装置，在与在扫描用传送部分的传送路径上的细长、柔性记录介质上由绘图单元执行绘图的那些条件相同的条件下，执行曝光处理的绘图装置的曝光位置的校准和所有曝光区域处的功率校准都可被执行。
在本发明的对齐可以被校准的绘图装置中，绘图单元可以被构造为通过被控制单元自动地控制而操作。
在本发明的校准对齐部分的方法中，通过整体地移动校准部件和构成传送路径的传送部分，可以执行相对移动。
在本发明的校准对齐部分的方法中，通过使校准部件的表面的位置在对齐时与柔性记录介质的位置重合，可执行相对移动。
在本发明的校准对齐部分的方法中，在柔性记录介质被限制在传送路径上的状态下，相对移动可以被执行。
根据校准对齐部分的上述方法，即使当细长、柔性记录介质在传送路径上时，通过使用校准部件，可以校准对齐部分的位置。
在本发明的传送装置中，校准部件可以被布置以便，表面与执行对齐的区域处的传送路径的大致延伸平面(substantially extended plane)相重合。
本发明的传送装置可以被构造为，校准部件被安装到传送部分上，并且相对移动机构被构造以整体地移动校准部件和传送部分。
在本发明的传送装置中，当相对移动机构移动传送部分时，限制装置可以用于限制传送部分处的柔性记录介质。
根据这样的结构，即使当细长、柔性记录介质在传送路径上时，通过使用校准部件可校准对齐部分的位置。
根据本发明的校准对齐部分的方法，可以校准对齐的绘图装置，和传送装置，具有的效果是形成为单一细长体并包括具有不同设置对齐标记位置的多种类型的柔性记录介质，通过高精度地执行对齐调整而连续地接受绘图处理，同时对具有不同设置对齐标记的位置的每一类型通过使用校准度盘校准对齐部分的位置。
权利要求
1.一种校准对齐部分的方法，包括以下步骤在通过对齐部分调整对齐并且，包括多种类型的对齐标记位置的一细长、柔性记录介质被传送的同时执行绘图的情况下，当柔性记录介质上的对齐标记位置变为不同位置时，限制绘图单元的传送路径上的柔性记录介质；相对地移动校准部件和对齐部分，从而使校准部件和对齐部分彼此相对应；并且通过使用校准部件，校准对齐部分的参考位置的数据。
2.一种绘图装置，进一步包括对齐部分，所述对齐部分被布置从而执行对柔性记录介质的对齐的检测，并且所述对齐部分被设定在传送路径上；校准部件，所述校准部件被布置在比传送路径更接近对齐部分的位置处；和机构，所述机构相对地移动对齐部分和校准部件，以便对齐部分被设定在检测校准部件的状态。
3.根据权利要求2所述的可以校准对齐的绘图装置，其中所述校准部件被安装到扫描用传送部分上，以便表面与扫描用传送部分的传送路径的大致延伸平面相重合。
4.根据权利要求2所述的可以校准对齐的绘图装置，其中所述相对移动机构被构造从而整体地移动扫描用传送部分和安装到其上的校准部件。
5.根据权利要求4所述的可以校准对齐的绘图装置，其中限制机构被设置以用于，当所述相对移动机构移动扫描用传送部分时，限制在扫描用传送部分的传送路径上的细长、柔性记录介质。
6.根据权利要求2所述的可以校准对齐的绘图装置，其中所述对齐部分被构造为，照相机部分被安装到基部上从而能够在细长、柔性的记录介质的横向方向上移动。
7.根据权利要求2所述的可以校准对齐的绘图装置，其中所述对齐部分被构造为通过被控制单元自动控制而操作。
8.根据权利要求2所述的可以校准对齐的绘图装置，其中所述绘图单元由激光曝光装置构成。
9.根据权利要求2所述的可以校准对齐的绘图装置，其中所述绘图单元被构造为利用空间光调制器调制光束并执行二维图案的曝光处理。
10.根据权利要求8所述的可以校准对齐的绘图装置，其中光束位置检测装置和曝光表面功率测量装置被安装到扫描用传送部分上，以便表面与扫描用传送部分的传送路径的大致延伸平面相重合。
11.根据权利要求2所述的可以校准对齐的绘图装置，其中所述绘图单元被构造以利用控制单元自动控制而操作。
12.一种校准细长、柔性记录介质的传送装置中的对齐部分的方法，所述方法包括以下步骤在柔性记录介质被设定在传送路径处的状态下，相对地移动对齐部分和校准部件，所述校准部件被布置在比传送路径更接近对齐部分的位置处，并且使对齐部分和校准部件的位置彼此相对；并且通过使用校准部件，执行对齐部分的位置校准。
13.根据权利要求12所述的校准对齐部分的方法，其中通过整体地移动校准部件和构成传送路径的传送部分，所述相对移动被执行。
14.根据权利要求13所述的校准对齐部分的方法，其中通过使校准部件的表面的位置在对齐时与柔性记录介质的位置相重合，所述相对移动被执行。
15.根据权利要求13所述的校准对齐部分的方法，其中所述相对移动在柔性记录介质被限制在传送路径上的状态下被执行。
16.一种细长、柔性记录介质的传送装置，所述传送装置包括传送部分，所述传送部分在给定传送方向上传送柔性记录介质；对齐部分，所述对齐部分被布置以能够在执行对齐并且设定在传送路径上的区域的位置处执行检测，其中柔性记录介质被传送部分沿着所述传送路径传送；校准部件，所述校准部件被布置在比传送路径更接近对齐部分的位置处；和相对移动机构，所述相对移动机构相对地移动对齐部分和校准部件，以便对齐部分被设定在检测校准部件的状态中。
17.根据权利要求16所述的传送装置，其中所述校准部件被布置，以便表面与对齐被执行的区域处的传送路径的大致延伸平面相重合。
18.根据权利要求16所述的传送装置，其中所述校准部件被安装到所述传送部分上，并且所述相对移动机构被构造以整体地移动校准部件和传送部分。
19.根据权利要求18所述的传送装置，其中限制机构被设置以用于，在相对移动机构移动传送部分时，限制在传送部分处的柔性记录介质。
全文摘要
一种对齐部分校准系统，所述系统使用在处理细长、柔性记录介质的装置中，所述系统具有对齐部分，校准部件和相对移动机构。对齐部分被布置从而在当绘图单元执行绘图并同时柔性记录介质在给定传送方向上在给送路径上被传送时，能够在执行对齐并且被设定在传送路径上的区域的位置处执行检测，其中传送路径设定在扫描用传送部分处。校准部件被布置在比传送路径更接近对齐部分的位置处。相对移动机构相对地移动对齐部分和校准部分，以便对齐部分被设定在检测校准部件的状态中。
文档编号H05K3/00GK1993652SQ20058002656
公开日2007年7月4日 申请日期2005年9月29日 优先权日2004年9月29日
发明者福井隆史 申请人:富士胶片株式会社