专利名称：一种无机电致发光显示器中的底电极及其制作方法
技术领域：
本发明属于平板显示技术领域，特别涉及一种无机电致发光显示器，尤其涉及一
种无机电致发光显示器中的底电极及其制作方法。
背景技术：
无机电致发光平板显示器具有全固态、重量轻、厚度薄、视角大、结构简单等特点，能在低温、震动等恶劣环境中使用，并且可以实现大面积的彩色动态显示，有着很广阔的应用前景。传统的无机电致发光显示器一般使用低介电常数介质层(介电常数低于50)，上、下介质层对称分布于发光层两侧，器件易于受灰尘污染而发生击穿。传统的电致发光显示器的结构如图1所示，是由玻璃26、透明下电极25、下介质层24、发光层23、上介质层22和上电极21组成。 传统的底发射电致发光显示器的不足之处是信号透明电极IT025直接在玻璃26上的第一层，扫描金属电极21在最上层，发光层23发出的光要透过玻璃26发出来，故而在透过玻璃26的时候损失了一部分亮度。
发明内容
本发明提供了一种无机电致发光显示器中的底电极及其制作方法，所述的这种无机电致发光显示器中的底电极及其制作方法要解决现有技术中的顶发射结构无机EL的底电极不耐高温、导电不好的技术问题。 本发明提供了一种无机电致发光显示器中的底电极，所述的底电极的材料为Ti-Au复合薄膜。 本发明还提供了一种无机电致发光显示器底电极的制作方法，先将TFT玻璃基片清洗干净吹干，将玻璃基片放入电子束蒸发设备中，抽真空到1.5X10—3Pa_3. 0X10—卞a的气压，将玻璃基片温度加热到130-18(TC，蒸发速率为2A/s，采用Ti靶材，用电子束蒸发的方法镀上45- 55A厚的Ti膜，然后将Au靶转到蒸发位，同样蒸镀上140- 170A厚的Au膜，放大气从真空室取出玻璃基片，底电极就制作完成了 。 进一步的，用电热丝加热的方法将玻璃基片、底电极、下介质层、发光层一起加热。
本发明是将顶发射结构的器件将上下电极颠倒一下，光透过透明上电极ITO发出，不需要经过下面的玻璃。这个时候底下的金属电极不能采用A1电极了。因为发光层需要500度的高温退火才能结晶，而Al在此温度下会被氧化，从而失去原本优越的性能。也不能采用ITO，原因在于ITO的电阻较金属大很多，导致信号扫描速度过慢，另外金属电极也起到反射光的作用，使得光从一个方向发出，提高了亮度。
采用此结构的底电极有如下特点 l.Au材料的电阻率很小，小于Al的电阻率，符合扫描电极电阻小的特点，相应时间快。所以考虑采用Au作为底电极的基本材料。 2.考虑到无机EL的发光层需要进行高温退火，底下的底电极等薄膜必然也要经
3历高温退火这一过程。而传统结构中采用的A1电极，在高温下会被氧化，从而失去了原本导电好的性能。所以采用耐高温、耐氧化好的金属材料Au和Ti。 3.因为Au在玻璃上的附着力很差，而Ti在玻璃上的附着力很好，Ti和Au之间的
附着力也不错，所以采用Ti+Au的复合膜，解决了 Au附着力不强的问题。 本发明适于交流驱动方式工作，与现有技术相比，具有耐压高、漏电小、可靠性好、
发光亮度大、寿命长、成本低等特点。适合于大面积的平面显示，同时具有制备技术简单并
适合于大生产的特点。
图1是现有技术中的底发射电致发光显示器的结构示意 图2是采用本发明的底电极的无机电致发光显示器的结构示意图。
实施例1 如图2所示， 一种无机电致发光显示器，包括一层玻璃6，所述的玻璃6上设置有一层底电极5，所述的底电极5的上部设置有一层下介质层4，所述的下介质层4的上部设置有一层发光层3，所述的发光层3的上部设置有一层上介质层2，所述的上介质层2的上部设置有一层是上电极l。 进一步的，所述的底电极5的材料为Ti-Au复合薄膜。
进一步的，所述的上电极1为IT0。
进一步的，所述的上介质层2选自八1203、或者Ta205。
进一步的，所述的发光层3选自Zn0和Mn的混合物。
进一步的，所述的下介质层4的材料为BaSrT03。
实施例2 如图2所示，本发明还提供了一种无机电致发光显示器底电极的制作方法，先将TFT玻璃6清洗干净吹干，将玻璃基片6放入电子束蒸发设备中，抽真空到1. 5X 10—3Pa-3. 0X 10—3Pa的气压，将玻璃基片6温度加热到130_18(TC ，蒸发速率为2A/s ，采用99. 9%纯度Ti靶材，用电子束蒸发的方法镀上45-55A厚的Ti膜，然后将Au靶转到蒸发位，Au的纯度99. 9%，同样蒸镀上140-170A厚的Au膜，放大气从真空室取出来后，器件的底电极5就完成了。 进一步的，用电热丝加热的方法将玻璃基片6、底电极5、下介质层4、发光层3 —起加热。
权利要求
一种无机电致发光显示器中的底电极，其特征在于所述的底电极的材料为Ti-Au复合薄膜。
2. 权利要求1所述的一种无机电致发光显示器底电极的制作方法，其特征在于先将玻璃基片清洗干净吹干，将玻璃基片放入电子束蒸发设备中，抽真空到1. 5X 10—3Pa-3. OX 10—3Pa的气压，将玻璃基片温度加热到130-180 °C，蒸发速率为 1. 8-2. 2 A/s，采用Ti靶材，用电子束蒸发的方法镀上45-55 A厚的Ti膜，然后蒸镀上 140-170 A厚的Au膜，放大气从真空室取出玻璃基片，底电极就制作完成了。
3. 如权利要求2所述的一种无机电致发光显示器底电极的制作方法，其特征在于用 电热丝加热的方法将玻璃基片、底电极、下介质层、发光层一起加热。
全文摘要
本发明提供了一种无机电致发光显示器中的底电极，所述的底电极的材料为Ti-Au复合薄膜。本发明还提供了一种无机电致发光显示器底电极的制作方法，先将TFT玻璃清洗干净吹干，将玻璃基片放入电子束蒸发设备中，抽真空到1.5×10-3Pa-3.0×10-3Pa的气压，将基片温度加热到130-180℃，蒸发速率为采用Ti靶材，用电子束蒸发的方法镀上厚的Ti膜，然后蒸镀上厚的Au膜。本发明适于交流驱动方式工作，与现有技术相比，具有耐压高、漏电小、可靠性好、发光亮度大、寿命长、成本低等特点。适合于大面积的平面显示，同时具有制备技术简单并适合于大生产的特点。
文档编号H05B33/26GK101754511SQ20081020470
公开日2010年6月23日 申请日期2008年12月16日 优先权日2008年12月16日
发明者刘红君, 张羿, 楼均辉, 肖田 申请人:上海广电电子股份有限公司