专利名称：单晶炉放气装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及单晶炉领域，尤其涉及一种单晶炉放气装置。
背景技术：
单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，而单晶硅又是光伏发电和 半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重 要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用 太阳能的主要功能材料。在硅单晶拉制过程中，炉体内压力超过正常拉晶参数设定值时，便于调节炉体内 压力。如图1所示，现有技术中的放气装置为手动操作，包括放气阀体1、放气阀螺母2和卡 箍6，所述放气阀体1由卡箍6固定在隔离阀的放气接口 7上用内密封圈5密封，所述的放 气阀螺母2设置在放气阀体1的放气口上，放气阀螺母2轴心处设置有连接轴21，连接轴 21的顶端为锥形，锥形端面和放气阀体1的放气口相配合。需要放气时手动旋开放气阀螺 母2，连接轴21的锥形端面离开放气阀体1的放气口实现放气。该种放气装置在非放气状 态时紧紧依靠锥形面密封，密封性很差，而且放气阀螺母2在旋开的过程中容易完全旋出 掉落，可靠性差。
实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种单晶炉放气装置，该放气装置用外密 封圈保证非放气时机构的气密性，用顶丝定位防止放气阀螺母脱落，放气稳定平缓，极大保 证了作业的安全性。本实用新型是这样实现的一种单晶炉放气装置，包括放气阀体、放气阀螺母和卡 箍，所述放气阀体由卡箍固定在隔离阀的放气接口上用支架支撑内密封圈密封，放气阀螺 母设置在放气阀体的放气口上，所述放气阀体的放气口上设置有一圈密封圈槽，密封圈槽 内设置有外密封圈，外密封圈和放气阀螺母相配合，所述放气阀体的外壁设置有限位凸台， 所述放气阀螺母侧壁上开有通孔，通孔内装有顶丝，所述顶丝和限位凸台相配合。所述的密封圈槽为双V型密封圈槽。所述的顶丝共有四个，环形均布在放气阀螺母上。本实用新型单晶炉放气装置在放气时通过放气阀体与放气阀螺母的螺纹配合，实 现了放气平缓进行；放气阀体与放气阀螺母之间采用0型内密封圈密封，确保非放气时整 个结构的气密性；与内密封圈配合的密封圈槽为双V型，确保内密封圈不会被带入隔离阀 的真空室内；并且在放气阀螺母上设置了顶丝，避免了手动放气作业中产生放气阀螺母完 全旋出、掉落的现象，极大保证了作业的安全性。
图1为现有的放气装置结构示意图；[0010]图2为本实用新型单晶炉放气装置结构示意图。图中1放气阀体、2放气阀螺母、21连接轴、3外密封圈、4顶丝、5内密封圈、6卡 箍、7放气接口。
具体实施方式
下面结合具体实施例，进一步阐述本实用新型。应理解，这些实施例仅用于说明本 实用新型而不用于限制本实用新型的范围。此外应理解，在阅读了本实用新型表述的内容 之后，本领域技术人员可以对本实用新型作各种改动或修改，这些等价形式同样落于本申 请所附权利要求书所限定的范围。如图2所示，一种单晶炉放气装置，包括放气阀体1、放气阀螺母2和卡箍6，所述 放气阀体1由卡箍6固定在隔离阀的放气接口 7上用支架支撑内密封圈5密封，支架由不 锈钢制成，避免内部抽真空时将内密封圈5带走。所述放气阀螺母2设置在放气阀体1的 放气口上，所述放气阀体1的放气口上设置有一圈密封圈槽，密封圈槽内设置有外密封圈 3，外密封圈3和放气阀螺母2相配合，所述放气阀体1的外壁设置有限位凸台，所述放气阀 螺母2侧壁上开有通孔，通孔内装有顶丝4，所述顶丝4和限位凸台相配合。为了防止在使 用过程中外密封圈3被吸入隔离阀的真空室内，所述的密封圈槽为双V型密封圈槽。在本 实施例中所述的顶丝4共有四个，环形均布在放气阀螺母2上，旋动放气阀螺母2到一定位 置时，顶丝4卡在限位凸台上，防止放气阀螺母2完全旋出、掉落。
权利要求一种单晶炉放气装置，包括放气阀体(1)、放气阀螺母(2)和卡箍(6)，所述放气阀体(1)由卡箍(6)固定在隔离阀的放气接口(7)上用支架支撑内密封圈(5)密封，放气阀螺母(2)设置在放气阀体(1)的放气口上，其特征是所述放气阀体(1)的放气口上设置有一圈密封圈槽，密封圈槽内设置有外密封圈(3)，外密封圈(3)和放气阀螺母(2)相配合，所述放气阀体(1)的外壁设置有限位凸台，所述放气阀螺母(2)侧壁上开有通孔，通孔内装有顶丝(4)，所述顶丝(4)和限位凸台相配合。
2.如权利要求1所述的单晶炉放气装置，其特征是所述的密封圈槽为双V型密封圈槽。
3.如权利要求1或2所述的单晶炉放气装置，其特征是所述的顶丝(4)共有四个，环 形均布在放气阀螺母(2)上。
专利摘要本实用新型涉及单晶炉领域，尤其涉及一种单晶炉放气装置。一种单晶炉放气装置，放气阀体(1)由卡箍(6)固定在隔离阀的放气接口(7)上用内密封圈(5)密封，放气阀螺母(2)设置在放气阀体(1)的放气口上，所述放气阀体(1)的放气口上设置有一圈密封圈槽，密封圈槽内设置有外密封圈(3)，外密封圈(3)和放气阀螺母(2)相配合，所述放气阀体(1)的外壁设置有限位凸台，所述放气阀螺母(2)侧壁上开有通孔，通孔内装有顶丝(4)，所述顶丝(4)和限位凸台相配合。本实用新型放气平缓，非放气时整个结构气密性好，并且避免了手动放气作业中产生放气阀螺母完全旋出、掉落的现象，极大保证了作业的安全性。
文档编号C30B15/00GK201686763SQ20102021390
公开日2010年12月29日 申请日期2010年6月3日 优先权日2010年6月3日
发明者杨金海 申请人:宁夏日晶电子科技有限公司