专利名称：坩埚涂布加热装置的制作方法
技术领域：
本实用新型有关一种加热装置，尤指一种能够使电热板自动调整其与加工对象的 接触状态，进而使加工对象获较佳受热效果的加热装置。
背景技术：
按，于晶圆生长制程中用以盛装熔融硅原料的坩埚，多属于熔融硅石或石英的硅 石坩埚，类似的硅石坩埚于盛装熔融状态的硅原料时，其熔融的硅原料因直接与坩埚的硅 石原料接触而反应形成一氧化硅及氧，其中挥发性的一氧化硅与炉内石墨成分反应的后形 成碳化硅及一氧化碳，一氧化碳并与熔化硅原料反应，形成另外的挥发性一氧化碳及碳。为避免硅原料受上述氧及碳产物的污染，或与于硅石坩埚中的各种杂质(钼、铁、 铜、镍等金属)反应，多会于坩埚的内层涂布一保护层，以隔绝硅原料与坩埚本体直接接 触，并对坩埚本体表面所逐出的不纯物提供了 一种障蔽。目前于坩锅涂布保护层前必须先提高坩锅本身的温度，以便进行后续涂布保护层 的作业，而提高坩锅温度的方法有利用加热灯加热、利用烤箱烘烤或利用加热板直接加热。其中，利用加热板直接对坩埚本体加热的装置如图1所示，主要在一基座11上设 有一可被驱动旋转的载台12供放置坩埚20，于载台12上设有复数个推动板13，所有推动 板13配置呈一包围状，并可各别朝向载台12中心处的坩埚20相对位移，以及在各推动板 13的内侧板面设有至少一供与坩埚20本体接触的电热板14。当坩埚20确实被固定于载台12中心处的后，即可各别调整坩埚20推动板13的 位置，使相对包围在坩埚20四周的电热板14皆能与坩埚20本体接触，以期在所有电热板 14运作时，能够达到使坩埚20均勻受热的效果；并且，配合驱动载台12旋转以增加涂布保 护层的便利性。然而，上揭图1所示的加热装置当中的所有电热板14直接锁固在所属的推动板13 上，因此非常容易受推动板13本身角度偏斜，或是坩埚20放置角度的影响而无法让同一推 动板13内侧的电热板14皆与坩埚20本体接触，以致于无法让坩埚20获致原本预期的均 勻受热效果。再者，其载台12的旋转采用人力转动的方式操作，于实际操作时相对较容易 成为操作人员的负担。
实用新型内容本实用新型所解决的技术问题即在提供一种能够使电热板自动调整与加工对象 的接触状态，进而使加工对象获致较佳受热效果的加热装置。本实用新型的技术方案为一种加热装置，在一用以放置加工对象的载台上设有 至少一可调整相对位置的推动板，于各推动板的板面上设有至少一第一电热板；各第一电 热板可与所属的推动板相对位移，以及在各第一电热板与其所属的推动板之间衬设有复数 个弹性组件。一种加热装置，在一用以放置加工对象的载台上设有至少一可调整相对位置的推动板，于各推动板的板面上设有至少一第一电热板；该载台透过一转轴安装于一基座上，另 于该基座上设有一马达，以及设有一用以构成马达与转轴传动联结的传动机构。其中，各第一电热板分别锁固在一基板上，另有复数个导柱连接于各基板与推动 板之间；各导柱的一端固定在基板上，各导柱的另端穿设于推动板上。该各第一电热板分别锁固在一基板上，另有复数个导柱连接于各基板与推动板之 间；各导柱的一端利用螺丝穿锁固定在基板上，各导柱的另端分别透过一螺栓穿设于推动 板上。该载台的台面上设有至少一第二电热板供承接加工物件。各第一电热板分别锁固在一基板上，另有复数个导柱连接于各基板与推动板之 间；各导柱的一端固定在基板上，各导柱的另端穿设于推动板上；载台的台面上设有至少 一第二电热板供承接加工物件。该传动机构由分别固设于转轴及马达出力轴上的皮带轮，以及连接于皮带轮之间 的皮带所组成。本实用新型的有益效果为本实用新型的加热装置在一用以放置加工对象的载台 上设有至少一可调整相对位置的推动板，于各推动板的板面上设有至少一可与推动板相对 位移的第一电热板，以及在各第一电热板与推动板之间衬设有复数个弹性组件。而当推对板朝向加工对象压贴时，可透过弹性组件的收缩及弹力作用，使各第一 电热板自动调整至与加工对象保持最佳的接触状态，进而能够使加工对象获致最佳的受热 效果。再者，该载台的台面上设有至少一可与载台相对位移的第二电热板供承接加工对 象，以利透过第二电热板让加工对象的底部产生受热效果。上述的载台可透过一转轴安装于一基座上，另于基座上设有一马达，以及设有一 传动机构用以构成马达与转轴的传动联结；使当马达转动时，可透过传动机构带动转轴及 载台作任意角度的旋转，旋转角度可达0° 360°并可随意定位，例如可以正/逆方向旋转 至45°或90°甚至180°或270°定位，以做为最佳调整角度，以方便载台上的加工对象执 行其它的加工程序，并减轻相关操作人员的负担。
图1为一习用加热装置的外观结构图。图2为本实用新型一较佳实施例的正面结构外观立体图。图3为本实用新型一较佳实施例的正面结构图。图4为本实用新型第一电热板与推动板的组装分解图。图5为本实用新型中第一电热板与推动板的组装结构剖视图。图6为本实用新型中加工对象与推动板的相对位置示意图。图7为本实用新型中导柱的动作示意图。图8为本实用新型一较佳实施例的背面结构外观立体图。图号说明11基座；12载台；13推动板；14电热板；20坩埚；30加工物件；40载台；41转轴； 50推动板；51基板；52导柱；53螺丝力4螺栓；61第一电热板；62第二电热板；70弹性组件；80基座；91马达；92传动机构；921皮带轮；922皮带。
具体实施方式
如图2本实用新型一较佳实施例的正面结构外观立体图、图3所示，本实用新型一 较佳实施例的正面结构图所示，本实用新型的加热装置在一用以放置加工对象30的载台 40上设有至少一可调整相对位置的推动板50，于各推动板50的板面上设有至少一第一电 热板61 ；其特征在于各第一电热板61可与所属的推动板50相对位移，以及在各第一电热 板61与其所属的推动板50之间衬设有复数个弹性组件70。请同时配合参照图4及图5所示，上述各第一电热板61分别锁固在一基板51上， 另有复数个导柱52连接于各基板51与推动板50之间；各导柱52的一端可利用螺丝53直 接穿锁固定在基板51上，各导柱52的另端可分别透过一螺栓M穿设于推动板50上，以构 成基板51与推动板50的连接，并使可基板51连同固定在基板51上的第一电热板61能够 与推动板50相对位移(亦即第一电热板61具浮动效果)，至于各弹性组件70可由套设于 导柱52上的压缩弹簧所构成。本实用新型的加热装置于使用时，即如图6所示将加工对象30固定在载台40上， 并配合将推对板50调整至使其板面上的第一电热板61能够与加工对象40接触的位置。而 在将推对板50持续朝向加工对象40方向移动的相对位置调整时，如图7所示，可透过弹性 组件70的收缩及弹力作用，使各第一电热板61自动调整至与加工对象40保持最佳的接触 状态，进而能够使加工对象40获致最佳的受热效果。再者，如图3所示，本实用新型的加热装置可进一步于该载台40的台面上设有至 少一第二电热板62供承接加工对象30，以利透过第二电热板62让加工对象40的底部产生 受热效果。请同时配合参照图2及图8所示，本实用新型中的载台40可透过一转轴41安装 于一基座80上，另于该基座80上设有一马达91，以及设有一传动机构92用以构成马达91 与转轴41的传动联结。上述传动机构92可以由分别固设于转轴41及马达91出力轴上的皮带轮921，以 及连接于皮带轮921之间的皮带所组成；使当马达91转动时，可透过传动机构92带动转轴 41及载台40作360°旋转，以方便载台40上的加工对象30执行其它的加工程序，并减轻 相关操作人员的负担。藉由上述结构设计，可获致一种能够使电热板自动调整与加工对象的接触状态， 进而使加工对象获致较佳受热效果的加热装置，尤适合做为坩埚进行保护层涂布作业时， 用以提高坩埚温度的应用，不但可以确实让坩埚本体均勻受热，更可相对减轻操作人员的 负担。权利要求1.一种坩埚涂布加热装置，在一用以放置加工对象的载台上设有至少一可调整相对位 置的推动板，于各推动板的板面上设有至少一第一电热板；其特征在于各第一电热板可与所属的推动板相对位移，以及在各第一电热板与其所属的推动板之 间衬设有复数个弹性组件。
2.一种坩埚涂布加热装置，在一用以放置加工对象的载台上设有至少一可调整相对位 置的推动板，于各推动板的板面上设有至少一第一电热板；其特征在于该载台透过一转轴安装于一基座上，另于该基座上设有一马达，以及设有一用以构成 马达与转轴传动联结的传动机构。
3.如权利要求1或2所述的坩埚涂布加热装置，其特征在于，各第一电热板分别锁固在 一基板上，另有复数个导柱连接于各基板与推动板之间；各导柱的一端固定在基板上，各导 柱的另端穿设于推动板上。
4.如权利要求1或2所述的坩埚涂布加热装置，其特征在于，该各第一电热板分别锁固 在一基板上，另有复数个导柱连接于各基板与推动板之间；各导柱的一端利用螺丝穿锁固 定在基板上，各导柱的另端分别透过一螺栓穿设于推动板上。
5.如权利要求1或2所述的坩埚涂布加热装置，其特征在于，该载台的台面上设有至少 一第二电热板供承接加工物件。
6.如权利要求1或2所述的坩埚涂布加热装置，其特征在于，各第一电热板分别锁固在 一基板上，另有复数个导柱连接于各基板与推动板之间；各导柱的一端固定在基板上，各导 柱的另端穿设于推动板上；载台的台面上设有至少一第二电热板供承接加工物件。
7.如权利要求2所述的坩埚涂布加热装置，其特征在于，该传动机构由分别固设于转 轴及马达出力轴上的皮带轮，以及连接于皮带轮之间的皮带所组成。
专利摘要本实用新型坩埚涂布加热装置主要提供一种能够使电热板自动调整与加工对象的接触状态，进而使加工对象获致较佳受热效果的坩埚涂布加热装置。所述的坩埚涂布加热装置在一用以放置加工对象的载台上设有至少一可调整相对位置的推动板，于各推动板的板面上设有至少一可与推动板相对位移的第一电热板，以及在各第一电热板与推动板之间衬设有复数个弹性组件。而当推对板朝向加工对象压贴时，可透过弹性组件的收缩及弹力作用，使各第一电热板自动调整至与加工对象保持最佳的接触状态，进而能够使加工对象获致最佳的受热效果。
文档编号H05B3/00GK201830472SQ201020575099
公开日2011年5月11日 申请日期2010年10月25日 优先权日2010年10月25日
发明者傅礼勇 申请人:敬联机械有限公司