一种感应加热炉内的钨坩埚保护方法
【专利摘要】本发明涉及一种感应加热炉内的钨坩埚保护方法。该方法是将耐高温且不与碳反应的支架放置在石墨保温层上，支架有一个直径大于氮化硼圆桶直径的圆盘，用以减少石墨保温层中的碳向钨坩埚扩散。将钨坩埚放置在支架圆盘中心上，将氮化硼圆桶放置在支架圆盘上，并且氮化硼圆桶分别与石墨保温层、钨坩埚之间留有缝隙，使氮化硼圆桶的外壁与石墨保温层的内壁不接触，使氮化硼圆桶的内壁与钨坩埚的外壁不接触，以防止在高温下接触后互相扩散。本方法采用氮化硼圆桶与支架一起把钨坩埚与石墨保温层隔离开，可极大地减慢钨坩锅的碳化过程。本方法使钨坩锅的使用寿命有很大的提高，在温度为2200℃时，至少能使用350小时以上。
【专利说明】一种感应加热炉内的钨坩埚保护方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及对高温PVT晶体生长中使用的钨坩埚的保护，尤其涉及一种感应加热炉内的钨坩埚保护方法。
【背景技术】
[0002]钨作为熔点最高的金属广泛应用于高温条件下的晶体生长，石墨保温材料也是在高温保温环境下最常用保温材料，但在高温环境下，石墨保温材料很容易与钨发生反应形成碳化钨，钨元件被快速碳化，以至破坏原有钨元件结构，使钨元件发生变形开裂等问题，致使鹤元件失效。
【发明内容】
[0003]为了解决现有技术中存在的问题，本发明提供一种感应加热炉内的钨坩埚保护方法。本方法采用氮化硼圆桶与支架一起把钨坩埚与石墨保温层隔离开，以防止钨坩埚被碳化。氮化硼圆筒和支架在不妨碍钨坩埚的感应加热前提下，起到了保温和隔绝石墨保温层对钨坩埚的污染的作用。
[0004]本发明采取的技术方案是:一种感应加热炉内的钨坩埚保护方法，其特征在于:本方法采用氮化硼圆桶与支架一起把钨坩埚与石墨保温层隔离开，其方法有如下步骤:
一.将耐高温且不与碳反应的支架放置在石墨保温层上，支架有一个直径大于氮化硼圆桶直径的圆盘，用以减少石墨保温层中的碳向钨坩埚扩散。
[0005]二.将钨坩埚放置在支架圆盘中心上，将氮化硼圆桶放置在支架圆盘上，并且氮化硼圆桶分别与石墨保温层、钨坩埚之间留有缝隙，使氮化硼圆桶的外壁与石墨保温层的内壁不接触，使氮化硼圆桶的内壁与钨坩埚的外壁不接触，以防止在高温下接触后互相扩散。
[0006]本发明产生的有益效果是:本方法采用氮化硼圆桶与支架一起把钨坩埚与石墨保温层隔离开，可极大地减慢钨坩锅的碳化过程。本方法使钨坩锅的使用寿命有很大的提高，在温度为2200°C时，至少能使用350小时以上。
【专利附图】
【附图说明】
[0007]图1是采用本方法组装后的各部件位置剖视图。
[0008]图2是图1中氮化硼圆桶剖视图。
【具体实施方式】
[0009]以下结合实施例对本发明作进一步说明:
参照图1和图2，本发明采用的氮化硼圆桶包括桶壁和桶底，氮化硼圆桶与石墨保温层之间留有缝隙1_2_，氮化硼圆桶与钨坩埚之间留有缝隙2-5_，桶内的深度比钨坩埚的高度大l-3mm，以保证安装后氮化硼圆桶与钨坩埚不接触。
[0010]本发明在氮化硼圆桶的桶底上开一个测温孔，用于测量氮化硼圆桶内温度。
[0011]实施例:1、将耐高温且不与碳反应的支架4(如碳化钽、碳化钨、未完全碳化的钽片等材料)放置在石墨保温层I上，要求支架4必须有一个大于氮化硼圆桶2直径的圆盘，用以有效减少石墨保温层I中的碳向钨坩埚3扩散。
[0012]2、将钨坩埚3放置在支架4中心上，将氮化硼圆桶2放置在支架4上，即倒扣在钨坩埚3上。本实施例设计的氮化硼圆桶与石墨保温层之间留有缝隙为1.5mm,氮化硼圆桶与钨坩埚之间留有缝隙为3mm，桶内的深度比钨坩埚的高度大2mm，以保证安装后氮化硼圆桶与钨坩埚不接触。考虑到保温因素，以上缝隙应该在保证不接触的前提下尽量小一些。
[0013]3、根据需要，在氮化硼圆桶的桶底上开一个尽可能小的测温孔，用于测量氮化硼圆桶内温度。
【权利要求】
1.一种感应加热炉内的钨坩埚保护方法，其特征在于:本方法采用氮化硼圆桶与支架一起把钨坩埚与石墨保温层隔离开，其方法有如下步骤: 一.将耐高温且不与碳反应的支架放置在石墨保温层上，支架有一个直径大于氮化硼圆桶直径的圆盘，用以减少石墨保温层中的碳向钨坩埚扩散； 二.将钨坩埚放置在支架圆盘中心上，将氮化硼圆桶放置在支架圆盘上，并且氮化硼圆桶分别与石墨保温层、钨坩埚之间留有缝隙，使氮化硼圆桶的外壁与石墨保温层的内壁不接触，使氮化硼圆桶的内壁与钨坩埚的外壁不接触，以防止在高温下接触后互相扩散。
2.根据权利要求1所述的一种感应加热炉内的钨坩埚保护方法，其特征在于:所述的氮化硼圆桶包括桶壁和桶底，氮化硼圆桶与石墨保温层之间留有缝隙1_2_，氮化硼圆桶与钨坩埚之间留有缝隙2-5mm，桶内的深度比钨坩埚的高度大l_3mm，以保证安装后氮化硼圆桶与钨坩埚不接触。
3.根据权利要求2所述的一种感应加热炉内的钨坩埚保护方法，其特征在于:所述的氮化硼圆桶的桶底上开一个测温孔，用于测量氮化硼圆桶内温度。
【文档编号】C30B35/00GK104357912SQ201410732779
【公开日】2015年2月18日 申请日期:2014年12月7日 优先权日:2014年12月7日
【发明者】史月增, 徐永宽, 齐海涛, 张丽 申请人:中国电子科技集团公司第四十六研究所