单晶炉坩埚取出装置的制作方法

文档序号:8051629阅读:330来源:国知局
专利名称:单晶炉坩埚取出装置的制作方法
技术领域
本发明涉及单晶硅生产设备技术领域,特别涉及一种单晶炉坩埚取出装置。
背景技术
单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程的必备设备,而单晶硅又是光伏发电和半导体行业的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料,是目前世界上最重要的单晶材料之一,它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料,也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。在硅单晶拉制前,需要利用坩埚取出机构取出坩埚,一般的单晶炉坩埚取出机构, 都是采用人工拆装式来实现,如此劳动强度大且不安全。

发明内容
有鉴于此,有必要提供一种省力、安全的单晶炉坩埚取出装置。一种单晶炉坩埚取出装置,包括悬吊部及安装在悬吊部上的挂钩,悬吊部包括起吊架、上支撑环、固定件、连接杆、下支撑环、底托、把手,起吊架上端与挂钩固定连接,起吊架的下端固定在上支撑环上,连接杆的两端分别从上支撑环、下支撑环上穿过,并通过固定件将连接杆与上支撑环、下支撑环相对的可旋转的固定,把手的一端固定安装在连接杆的从上支撑环穿出的端部,底托的一端固定安装在连接杆的从下支撑环穿出的端部,其中把手的另一端与底托的另一端伸出方向相反,且把手、底托与上支撑环、下支撑环相互平行, 底托的另一端的指向下支撑环的轴线。利用本发明提供的单晶炉坩埚取出装置对坩埚进行取出操作时,旋转把手,底托随着旋转,以使底托托住坩埚的底部,再利用与挂钩连接机械设备把坩埚从炉体中取出,需要将放置在石墨托的坩埚释放时,只需相反方向旋转把手,使底托随着旋转,以使底托离开坩埚的底部,如此不需要工人手动拆卸单晶炉坩埚取出装置,就可使单晶炉坩埚取出装置与坩埚的固定与分离,进而减小了工人的劳动强度,且能保证工人的安全。


附图1是一较佳实施方式的单晶炉坩埚取出装置的结构示意图。附图2是图1中单晶炉坩埚取出装置的另一角度的结构示意图。附图3是图1中球头柱塞的结构示意图。附图4是图1中单晶炉坩埚取出装置的应用示意图。图中单晶炉坩埚取出装置60、悬吊部62、起吊架621、上支撑环622、固定件623、 连接杆624、下支撑环625、底托626、把手627、球头柱塞628、壳体6281、弹簧6282、滚珠 6283、定位座629、挂钩63、中轴81、石墨托82、石墨坩埚83、石英坩埚84、坩埚升降机构8具体实施例方式
如图1及图2所示的单晶炉坩埚取出装置60包括悬吊部62及安装在悬吊部62 上的挂钩63。悬吊部62包括起吊架621、上支撑环622、固定件623、连接杆624、下支撑环625、 底托626、把手627、球头柱塞628、定位座629。起吊架621上端与挂钩63固定连接,起吊架621的下端固定在上支撑环625上。连接杆624的两端分别从上支撑环622、下支撑环625上穿过,并通过固定件623 将连接杆6M与上支撑环622、下支撑环625相对的可旋转的固定。在本实施方式中,固定件623为螺帽,连接杆6 上设置于螺帽配合的螺纹,上支撑环622、下支撑环625上对应的设置有定位孔,连接杆6M的两端分别对应穿过上支撑环622、下支撑环625的定位孔后,通过螺帽与上支撑环622、下支撑环625在上支撑环622、下支撑环625的轴线方向上相对锁定。把手627的一端固定安装在连接杆624的从上支撑环622穿出的端部,底托6 的一端固定安装在连接杆624的从下支撑环625穿出的端部,其中把手627的另一端与底托626的另一端伸出方向相反,且把手627、底托6 与上支撑环622、下支撑环625相互平行,底托626的另一端的指向下支撑环625的轴线。在本实施方式中,把手627、底托拟6为长条形,把手627、底托拟6的一端都设置有固定孔,连接杆拟4的两端分别对应的穿过把手 627、底托626的固定孔,并通过螺帽锁定。定位座629固定在上支撑环622上且靠近把手627,球头柱塞6 安装在定位座 629上,把手627靠近连接杆6M端部的位置设置用于供球头柱塞6 顶入的定位孔。在本实施方式中,定位座为“L”形;请同时参看图3,球头柱塞6 包括壳体6281、弹簧6282及滚珠6283,弹簧6282及滚珠6283安装在壳体6281内,且滚珠6283的部分从壳体6281上的圆形口露出,其中滚珠6283的直径大于圆形口的直径。以下描述单晶炉坩埚取出装置60取放坩埚的过程,请同时参看图4,硅单晶作业过程中,坩埚升降机构86带动中轴81上升,在石墨托82的作用下,石墨坩埚83和石英坩埚44 一起上升,当到达限位时,通过坩埚取出机构60将石墨坩埚83和石英坩埚84取出, 具体为旋转把手627,底托6 随着旋转,通过球头柱塞6 定位,当把手627与球头柱塞 628成90度时,可用于取出石墨坩埚83和石英坩埚84 ;当把手627与球头柱塞6 成0度时,坩埚取出机构60可从石墨坩埚63的外侧取出。
权利要求
1.一种单晶炉坩埚取出装置,其特征在于该单晶炉坩埚取出装置包括悬吊部及安装在悬吊部上的挂钩,悬吊部包括起吊架、上支撑环、固定件、连接杆、下支撑环、底托、把手, 起吊架上端与挂钩固定连接,起吊架的下端固定在上支撑环上,连接杆的两端分别从上支撑环、下支撑环上穿过,并通过固定件将连接杆与上支撑环、下支撑环相对的可旋转的固定,把手的一端固定安装在连接杆的从上支撑环穿出的端部,底托的一端固定安装在连接杆的从下支撑环穿出的端部,其中把手的另一端与底托的另一端伸出方向相反,且把手、底托与上支撑环、下支撑环相互平行,底托的另一端的指向下支撑环的轴线。
2.根据权利要求1所述的单晶炉坩埚取出装置,其特征在于定位座为“L”形。
3.根据权利要求1所述的单晶炉坩埚取出装置,其特征在于固定件为螺帽,连接杆上设置于螺帽配合的螺纹。
4.根据权利要求1所述的单晶炉坩埚取出装置,其特征在于上支撑环、下支撑环上对应的设置有定位孔,连接杆的两端分别对应穿过上支撑环、下支撑环的定位孔后,通过固定件与上支撑环、下支撑环在上支撑环、下支撑环的轴线方向上相对锁定。
5.根据权利要求1所述的单晶炉坩埚取出装置,其特征在于把手、底托为长条形,把手、底托的一端都设置有固定孔,连接杆的两端分别对应的穿过把手、底托的固定孔,并通过固定件锁定。
6.根据权利要求1所述的单晶炉坩埚取出装置,其特征在于悬吊部还包括定位座、球头柱塞,定位座固定在上支撑环上且靠近把手,球头柱塞安装在定位座上,把手靠近连接杆端部的位置设置用于供球头柱塞顶入的定位孔。
7.根据权利要求6所述的单晶炉坩埚取出装置,其特征在于球头柱塞包括壳体、弹簧及滚珠,弹簧及滚珠安装在壳体内,且球体的部分从壳体上的圆形口露出,其中球体的直径大于圆形口的直径。
全文摘要
一种单晶炉坩埚取出装置,包括悬吊部及安装在悬吊部上的挂钩,悬吊部包括起吊架、上支撑环、固定件、连接杆、下支撑环、底托、把手,起吊架上端与挂钩固定连接,起吊架的下端固定在上支撑环上,连接杆的两端分别从上支撑环、下支撑环上穿过,并通过固定件将连接杆与上支撑环、下支撑环相对的可旋转的固定,把手的一端固定安装在连接杆的从上支撑环穿出的端部,底托的一端固定安装在连接杆的从下支撑环穿出的端部,其中把手的另一端与底托的另一端伸出方向相反,且把手、底托与上支撑环、下支撑环相互平行,底托的另一端的指向下支撑环的轴线。
文档编号C30B15/10GK102400208SQ20111036062
公开日2012年4月4日 申请日期2011年11月15日 优先权日2011年11月15日
发明者吴学军, 程旭兵 申请人:宁夏日晶新能源装备股份有限公司
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