专利名称：单晶炉坩埚防尘装置的制作方法
技术领域：
单晶炉坩埚防尘装置属于机电技术领域，特别涉及多晶硅转化为单晶硅拉制过程中单晶炉坩埚防尘。
背景技术：
单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料；单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。在硅单晶拉制前，利用单晶炉坩埚防尘装置可防止作业杂质掉入磁流体内，造成磁流体卡死，不旋转，影响拉晶质量；众所周知，目前单晶炉坩埚装置，采用防尘装置密固性能差，容易造成设备损坏，晶棒精度低等现象。发明的内容本发明单晶炉坩埚防尘装置发明目的在于解决单晶炉晶体拉制过程中产生杂质易掉入磁流体、造成设备易损坏问题，设计制造一种与现有技术不同坩埚防尘装置。本发明单晶炉坩埚防尘装置是这样实现的含杂质和磁流体，由坩埚轴、压紧套和防尘法兰组成；坩埚轴为水冷焊接件和磁流体同轴心套装，在磁流体上平面和坩埚轴外圆轴面同轴心安装防尘法兰；压紧套套装在防尘法兰外侧并通过螺钉固定在坩埚轴上。在硅单晶拉制过程中，利用单晶炉坩埚防尘装置可防止作业时杂质掉入磁流体内，导致磁流体卡死、不旋转，影响拉晶质量。本发明单晶炉坩埚防尘装置的有益效果是在硅单晶拉制过程中，单晶炉坩埚防尘装置可防止作业时杂质掉入磁流体内，造成磁流体卡死，不旋转，影响拉晶质量；降低成本，提高作业效率。
附图为本发明单晶炉坩埚防尘装置结构示意图。图中坩埚轴1、压紧套2、杂质3、磁流体4、防尘法兰5。
具体实施例方式本发明单晶炉坩埚防尘装置，含杂质3和磁流体4，由坩埚轴1、压紧套2和防尘法兰5组成埚轴1为水冷焊接件和磁流体4同轴心套装，在磁流体4上平面和坩埚轴1外圆轴面同轴心安装防尘法兰5 ；压紧套2套装在防尘法兰5外侧并通过螺钉固定在坩埚轴1 上。
权利要求
1.单晶炉坩埚防尘装置，其特征在于含杂质(3)和磁流体G)，由坩埚轴(1)、压紧套 ⑵和防尘法兰(5)组成埚轴⑴为水冷焊接件和磁流体⑷同轴心套装，在磁流体⑷ 的上平面和坩埚轴(1)外圆轴面同轴心安装防尘法兰(5)；压紧套( 套装在防尘法兰(5) 外侧并通过螺钉固定在坩埚轴(1)上。
全文摘要
单晶炉坩埚防尘装置属于冶炼机电技术领域，特别涉及多晶硅转化为单晶硅拉制过程中单晶炉坩埚防尘；含杂质和磁流体，由坩埚轴、压紧套和防尘法兰组成；坩埚轴为水冷焊接件和磁流体同轴心套装，在磁流体的上平面和坩埚轴外圆轴面同轴心安装防尘法兰；压紧套套装在防尘法兰外侧并通过螺钉固定在坩埚轴上；在硅单晶拉制前，单晶炉坩埚防尘装置可防止作业时杂质掉入磁流体内，造成磁流体卡死，不旋转，影响拉晶质量；降低成本，提高作业效率。
文档编号C30B15/00GK102400207SQ201110366050
公开日2012年4月4日 申请日期2011年11月18日 优先权日2011年11月18日
发明者吴学军, 周凯平 申请人:宁夏日晶新能源装备股份有限公司