专利名称：一种单晶炉副室抽真空装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及单晶炉设备领域，特别是一种单晶炉副室抽真空装置。
背景技术：
在单晶炉取完一段或者二段晶棒后，需对副室进行抽真空，这时启动副室泵，打开副室手动阀，完成副室抽真空，单晶炉继续正常运转。原汉虹副室手动阀为螺纹旋转手阀， 在实际操作过程中，阀口的关闭完全靠操作员的感觉来完成，每个操作员的用力不同会引起阀口关闭的程度不同，从而引起的导气、晶棒变色、真空抽不下等设备问题，严重影响产量。
实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种单晶炉副室抽真空装置，克服螺纹旋转手阀带来的缺陷。本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是一种单晶炉副室抽真空装置， 包括副室手动阀和副室泵，副室泵通过副室手动阀与副室连接，对副室进行抽真空，副室手动阀为定点手动阀。本实用新型的有益效果是降低由与人员操作问题带来的对生产的影响。以下结合附图和实施例对本实用新型进一步说明；
图1是本实用新型的结构示意图；图中，1.副室手动阀，2.副室泵，3.副室。
具体实施方式
如图1所示，一种单晶炉副室抽真空装置，包括副室手动阀1和副室泵2，副室泵2 通过副室手动阀1与副室3连接，对副室3进行抽真空，副室手动阀1为定点手动阀，定点手动阀型号⑶-80 (F)。
权利要求1. 一种单晶炉副室抽真空装置，包括副室手动阀(1)和副室泵0)，副室泵(2)通过副室手动阀(1)与副室C3)连接，对副室C3)进行抽真空，其特征是所述的副室手动阀(1) 为定点手动阀。
专利摘要本实用新型涉及单晶炉设备领域，特别是一种单晶炉副室抽真空装置。其包括副室手动阀和副室泵，副室泵通过副室手动阀与副室连接，对副室进行抽真空，副室手动阀为定点手动阀。本实用新型的有益效果是降低由与人员操作问题带来的对生产的影响。
文档编号C30B15/00GK202164377SQ20112022611
公开日2012年3月14日 申请日期2011年6月30日 优先权日2011年6月30日
发明者韩曙波 申请人:常州天合光能有限公司