一种抽真空装置及采用该抽真空装置的操作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及显示器制作技术领域，尤其是指一种抽真空装置及采用该抽真空装置的操作方法。
【背景技术】
[0002]在液晶显示器的制作生产线中，有多项工艺需要用到真空腔室，该真空腔室用于提供电子器件制作工序中的真空环境或者其他充气气体环境。
[0003]现有技术的真空腔室当用于提供真空环境时，通常只设置有一个开孔，当需要抽真空时，利用抽气栗在通过该开孔进行抽真空操作；当用于提供其他充气气体环境时，通常设置有两个开孔，当利用抽气栗通过一个开孔进行抽真空操作后，利用充气栗通过另一个孔进行充气操作。
[0004]现有技术上述结构的真空腔室，抽真空或充气过程中的气流速度通过抽气栗来控制，存在气流不稳定的问题;另外从腔室密闭性角度考虑，真空腔室上的开孔与腔室的相对面积比需要控制在一定范围内，开孔过大则不利于腔室内气流稳定，开孔过小则又会导致抽气或充气的作用时间变长。因此，为了既保证真空腔室抽气或充气的效率又不影响腔室密封性，有必要对现有技术的真空腔室的结构进行改进。
【发明内容】
[0005]本发明技术方案的目的是提供一种抽真空装置及采用该抽真空装置的操作方法，解决现有技术真空腔室不能既保证密封性，又能够保证抽气效率或充气效率的问题。
[0006]本发明一方面提供一种抽真空装置，包括由外壳体围设成的腔体，其中，所述外壳体包括:通透孔设置区域，所述通透孔设置区域上设置有多个通透孔；与所述外壳体相连接、能够在第一状态和第二状态之间移动的密封盖；
[0007]其中，在所述第一状态，所述密封盖盖设于所述通透孔上，所述腔体密封;在所述第二状态，所述密封盖移离至少部分的所述通透孔，通过所述密封盖露出的所述通透孔形成为所述腔体的气体流通通道。
[0008]优选地，上述所述的抽真空装置，其中，所述外壳体上设置有第一通透孔设置区域和第二通透孔设置区域，所述第一通透孔设置区域和所述第二通透孔设置区域上分别设置有多个通透孔，其中所述密封盖包括第一密封盖和第二密封盖;所述第一密封盖对应所述第一通透孔设置区域设置;所述第二密封盖对应所述第二通透孔设置区域设置。
[0009]优选地，上述所述的抽真空装置，其中，所述密封盖为多个，且与所述通透孔的数量相同，每一所述密封盖对应与一个所述通透孔设置，所述密封盖在封闭相对应所述通透孔的位置和使相对应所述通透孔的至少一部分露出的位置之间移动。
[0010]优选地，上述所述的抽真空装置，其中，在所述第一状态，每一所述密封盖分别位于封闭相对应所述通透孔的位置;在所述第二状态，至少部分的所述密封盖位于使相对应所述通透孔的至少一部分露出的位置。[0011 ]优选地，上述所述的抽真空装置，其中，所述密封盖上设置有多个通孔;其中，在所述第一状态，所述密封盖盖设于所述通透孔设置区域上，所述通孔与所述通透孔不重叠;在所述第二状态，所述密封盖盖设于所述通透孔设置区域上，所述通孔与所述通透孔至少部分重叠。
[0012]优选地，上述所述的抽真空装置，其中，所述密封盖的形状与所述通透孔设置区域的形状相同，且在所述第一状态和所述第二状态，所述密封盖均贴合设置于所述外壳体上。
[0013]优选地，上述所述的抽真空装置，其中，所述抽真空装置还包括驱动结构，用于驱动所述密封盖在所述第一状态和所述第二状态之间动作。
[0014]优选地，上述所述的抽真空装置，其中，所述驱动结构包括与所述密封盖通过气动管路连接的气栗和设置于所述气动管路上的气动阀门。
[0015]本发明另一方面还提供一种采用上述任一项所述的抽真空装置的操作方法，其中所述操作方法包括:
[0016]调节所述密封盖至所述第二状态，通过所述密封盖露出的多个所述通透孔接设抽气栗，对所述腔体进行抽真空处理；
[0017]所述腔体内的真空度达到第一预设真空值时，将所述密封盖移动至所述第一状态，使所述腔体密封。
[0018]优选地，上述所述的操作方法，其中，所述抽真空装置的所述外壳体上设置有第一通透孔设置区域和第二通透孔设置区域，其中在所述调节所述密封盖至所述第二状态，通过所述密封盖露出的多个所述通透孔接设抽气栗，对所述腔体进行抽真空处理的步骤中:
[0019]调节位于第一通透孔设置区域的所述密封盖位于所述第一状态，位于第二通透孔设置区域的所述密封盖位于所述第二状态。
[0020]优选地，上述所述的操作方法，其中，在所述腔体内的真空度达到第一预设真空值时，将所述密封盖移动至所述第一状态，使所述腔体密封的步骤之后，所述操作方法还包括:
[0021]调节位于所述第二通透孔设置区域的所述密封盖位于所述第一状态，位于所述第一通透孔设置区域的所述密封盖位于所述第二状态，所述第一通透孔设置区域上通过所述密封盖露出的多个所述通透孔接设充气栗，对所述腔体进行充气处理；
[0022]所述腔体内的真空度达到第二预设真空值时，将位于所述第一通透孔设置区域的所述密封盖移动至所述第一状态，使所述腔体密封。
[0023]优选地，上述所述的操作方法，其中，在所述调节位于第二通透孔设置区域的所述密封盖位于所述第二状态的步骤中，第二通透孔设置区域中仅有部分所述通透孔地通过所述密封盖露出；
[0024]在调节位于所述第一通透孔设置区域的所述密封盖位于所述第二状态的步骤中，第一通透孔设置区域中仅有部分所述通透孔通过所述密封盖露出。
[0025]本发明具体实施例上述技术方案中的至少一个具有以下有益效果:
[0026]本发明所述抽真空装置，可移动地密封盖可以根据抽真空要求对部分的通透孔进行密封，在此基础上还能够通过多个通透孔同时进行吹气或抽气，从而在保证腔体的密封性的前提下，又能够保证抽气效率或充气效率。
【附图说明】
[0027]图1表示本发明第一实施例所述抽真空装置的结构示意图；
[0028]图2表示本发明第二实施例所述抽真空装置的结构示意图；
[0029]图3表示本发明第三实施例所述抽真空装置的结构示意图；
[0030]图4a表示本发明第四实施例所述抽真空装置在第一状态的结构示意图；
[0031 ]图4b表示本发明第四实施例所述抽真空装置在第二状态的结构示意图。
【具体实施方式】
[0032]为使本发明的实施例要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。
[0033]本发明实施例所述一种抽真空装置，包括由外壳体围设成的腔体，其中所述外壳体包括:通透孔设置区域，所述通透孔设置区域上设置有多个通透孔；与所述外壳体相连接、能够在第一状态和第二状态之间移动的密封盖；
[0034]其中，在所述第一状态，所述密封盖盖设于所述通透孔上，所述腔体密封;在所述第二状态，所述密封盖移离至少部分的所述通透孔，通过所述密封盖露出的所述通透孔形成为所述腔体的气体流通通道。
[0035]相较于现有技术通过一个孔进行抽气或充气，本发明上述结构的抽真空装置，由于可移动地密封盖可以根据抽真空要求对部分的通透孔进行密封，在此基础上还能够实现多个通透孔同时进行吹气或抽气，从而在保证腔体的密封性的前提下，又能够保证抽气效率或充气效率。
[0036]图1为本发明第一实施例所述抽真空装置的部分结构示意图。参阅图1，第一实施例中，抽真空装置包括外壳体10，该外壳体10围设成用于提供电子器件制作工序中的真空环境或其他充气气体环境的腔体，本发明图1中仅表示了外壳体10上设置用于抽气或充气的通透孔部分的结构示意图，本领域技术人员根据本发明的内容，应该能够了解采用本发明原理的抽真空装置的总体结构，在此不详细描述。<