专利名称：一种单晶炉及其取单晶棒的保护装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及单晶硅生产技术领域，特别涉及一种单晶炉及其取单晶棒的保护
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背景技术：
单晶棒生产完成后，在出棒的过程中，设备的旋转会造成单晶棒的晃动，尤其在旋转启动、停止过程中由于惯性作用会加剧单晶棒的晃动，容易造成单晶棒的掉落。目前大部分单晶炉上装有的保护装置，大多为固定在设备一侧的单侧旋转式，例如北京京运通单晶炉、宁晋阳光半导体设备。如图I所示，这种单侧旋转式的保护装置，具有沿竖直方向设置的弹性回复装置，下端连接有保护盘子，平时整个保护装置固定在设备的左侧，不影响其正常工作；如图2所示，在使用时用力拉下该保护装置的摇臂，再将保护盘子旋转至设备的正下方，以防止单晶棒的掉落，而为了能够托起重达上百公斤的单晶棒，弹簧装置往往被设置具有较大的回复力，在保护盘子旋转至中央位置后，摇臂向上归位的过程中，会给设备带来较大的冲击，容易引起单晶棒晃动，从而带来安全隐患。请参阅图3，还有一种美国kayex的单晶炉晶棒保护装置是两侧为孔洞设计，保护盘子采用从一侧插入另一侧的方式，即单侧插入式。在操作过程中，保护装置容易接触、碰撞单晶棒尾部，同样存在安全隐患。可见，现有技术中的保护装置在使用过程中容易碰撞单晶棒，会对单晶棒产品质量造成损伤，甚至是砸坏设备。因此，如何设计一种取单晶棒的保护装置，尽量避免与单晶棒的过多接触，成为本领域技术人员亟待解决的重要技术问题。
实用新型内容有鉴于此，本实用新型首先提供了一种取单晶棒的保护装置，减少保护装置对单晶棒的碰撞，增加操作过程中的安全系数。本实用新型还提供了一种具有上述取单晶棒的保护装置的单晶炉。为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案一种取单晶棒的保护装置，具有用于托接单晶棒的保护托盘，所述取单晶棒的保护装置还具有用于悬挂在单晶炉外壁上的悬挂机构。优选的，所述悬挂机构具体为设置在所述保护托盘两侧的两个吊杆，两个所述吊杆的端部均开设有悬挂槽，分别用于悬挂在固定于所述单晶炉外壁两侧的螺栓上。优选的，所述吊杆的长度与所述单晶棒伸出所述单晶炉的部分相配合。优选的，所述吊杆上至少开设有两个所述悬挂槽，并沿所述吊杆的长度方向均匀分布。优选的，所述保护托盘具有中空的圆孔结构，且所述圆孔的直径小于所述单晶棒的最大直径。[0015]优选的，所述圆孔结构的内壁具有与所述单晶棒的倒锥形尾部配合的锥形结构。一种单晶炉，具有用于取单晶棒的保护装置，所述取单晶棒的保护装置为上述的取单晶棒的保护装置，所述单晶炉外壁两侧分别设置有供所述取单晶棒的保护装置悬挂的螺栓。从上述的技术方案可以看出，本实用新型提供的取单晶棒的保护装置，采用悬挂式设计，在单晶炉设备上安装固定螺栓，保护装置通过其悬挂机构可以轻松悬挂于螺栓上，不至于接触单晶棒。此外，由于悬挂式结构的活动性，单晶棒接触保护装置后，保护装置会跟随单晶棒一起晃动，产生甚少阻力，从另一角度增加了设备的安全性。
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅 是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图I为现有技术中单侧旋转式保护装置在使用前的示意图；图2为现有技术中单侧旋转式保护装置在使用过程中的示意图；图3为现有技术中单侧插入式保护装置的结构示意图；图4为本实用新型实施例提供的取单晶棒的保护装置的结构示意图；图5为本实用新型实施例提供的单晶炉的结构示意图。
具体实施方式
本实用新型公开了一种取单晶棒的保护装置，减少保护装置对单晶棒的碰撞，增加操作过程中的安全系数。下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。请参阅图4和图5，本实用新型实施例提供的取单晶棒的保护装置，具有用于托接单晶棒4的保护托盘1，其核心改进点在于，该保护装置还具有用于悬挂在单晶炉5外壁上的悬挂机构，为保护装置的悬挂提供依托，方便此装置的悬挂。与现有技术相比，本实用新型提供的取单晶棒的保护装置，采用悬挂式设计，在单晶炉5设备上安装固定螺栓6，保护装置通过其悬挂机构可以轻松悬挂于螺栓6上，不至于接触单晶棒4。此外，由于悬挂式结构的活动性，单晶棒4接触保护装置后，保护装置会跟随单晶棒4 一起晃动，产生甚少阻力，从另一角度减少保护装置对单晶棒的碰撞，增加操作过程中的安全系数。请参阅图4和图5，悬挂机构具体为连接在保护托盘I两侧的两个吊杆2，两个吊杆2的端部均开设有悬挂槽3，形成挂钩结构，分别用于悬挂在固定于单晶炉5外壁两侧的螺栓6上。保护装置其悬挂槽3的角度和开孔如图4所示，悬挂槽3的槽口沿水平方向开设，且槽口的尺寸小于槽内的尺寸，方便了挂钩结构其悬挂过程的实现，能够轻松的对其进行装卸；同时悬挂机构不会由于晃动而掉落，提高了安全性。当然，悬挂机构的具体形式并不唯一，还可以在悬挂机构上开设悬挂孔，通过小于上述悬挂孔尺寸的螺栓进行悬挂，效果相同，在此不再赘述。作为优选，吊杆2的长度与单晶棒4伸出单晶炉5的部分相配合，保护装置的吊杆2向下延伸，为单晶棒4预留充足的活动空间，方便悬挂过程中不与单晶棒尾部接触，避免发生磕碰，消除安全隐患，在使用过程中安全系数更高，同时为今后增加单晶棒4长度预留空间。进一步的，吊杆2上至少开设有两个悬挂槽3，并沿吊杆2的长 度方向均匀分布，以悬挂不同长度的单晶棒。还可以将吊杆2与保护托盘I进行可拆卸的连接，这样一来就可以通过准备不同长度的吊杆2，来适应不用尺寸的单晶棒4。本实用新型实施例提供的取单晶棒的保护装置，其保护托盘I具有中空的圆孔结构，且圆孔的直径小于单晶棒4的最大直径，保证单晶棒4晃动掉落后能够掉落进保护托盘I的圆孔内，做到真正意义的保护。为了进一步优化上述的技术方案，圆孔结构的内壁具有用于与单晶棒4的倒锥形尾部相配合的锥形结构，使单晶棒4尾部能够自然落入保护装置，并在其中保持稳定，方便之后再将其取出。本实用新型实施例还提供了一种单晶炉，具有用于取单晶棒的保护装置，该保护装置为上述的取单晶棒的保护装置，单晶炉5外壁两侧分别设置有供取单晶棒的保护装置悬挂的螺栓6，减少保护装置对单晶棒的碰撞，增加操作过程中的安全系数。本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
权利要求1.一种取单晶棒的保护装置，具有用于托接单晶棒(4)的保护托盘(1)，其特征在于，所述取单晶棒的保护装置还具有用于悬挂在单晶炉(5)的外壁上的悬挂机构。
2.根据权利要求I所述的取单晶棒的保护装置，其特征在于，所述悬挂机构具体为设置在所述保护托盘(I)两侧的两个吊杆(2)，两个所述吊杆(2)的端部均开设有悬挂槽(3)，分别用于悬挂在所述单晶炉(5)外壁两侧的螺栓(6)上。
3.根据权利要求2所述的取单晶棒的保护装置，其特征在于，所述吊杆(2)的长度与所述单晶棒(4)伸出所述单晶炉(5)的部分相配合。
4.根据权利要求3所述的取单晶棒的保护装置，其特征在于，所述吊杆(2)上至少开设有两个所述悬挂槽(3)，并沿所述吊杆(2)的长度方向均匀分布。
5.根据权利要求4所述的取单晶棒的保护装置，其特征在于，所述保护托盘(I)具有中空的圆孔结构，且所述圆孔的直径小于所述单晶棒(4)的最大直径。
6.根据权利要求5所述的取单晶棒的保护装置，其特征在于，所述圆孔结构的内壁具有与所述单晶棒(4)的倒锥形尾部配合的锥形结构。
7.一种单晶炉，具有用于取单晶棒的保护装置，其特征在于，所述取单晶棒的保护装置为权利要求1-6任意一项所述的取单晶棒的保护装置，所述单晶炉(5)外壁两侧分别设置有供所述取单晶棒的保护装置悬挂的螺栓(6 )。
专利摘要本实用新型公开了一种取单晶棒的保护装置，具有用于托接单晶棒的保护托盘，所述保护装置还具有用于悬挂在单晶炉外壁上的悬挂机构。本实用新型提供的取单晶棒的保护装置，采用悬挂式设计，在单晶炉设备上安装固定螺栓，保护装置通过其悬挂机构可以轻松悬挂于螺栓上，不至于接触单晶棒。此外，由于悬挂式结构的活动性，单晶棒接触保护装置后，保护装置会跟随单晶棒一起晃动，产生甚少阻力，从另一角度增加了设备的安全性。本实用新型还公开了一种具有上述取单晶棒的保护装置的单晶炉，具有较好的安全性。
文档编号C30B15/00GK202595348SQ201220206940
公开日2012年12月12日 申请日期2012年5月10日 优先权日2012年5月10日
发明者赵曙光, 张刚, 王永辉, 李盼 申请人:英利能源(中国)有限公司