一种磷化镓多晶合成备料过程中真空封管装置制造方法
【专利摘要】一种磷化镓多晶合成备料过程中真空封管装置，包括箱本体和设于所述箱本体侧面的抽真空管道；所述箱本体的上盖上固设有互相平行的第一真空架和第二真空架，所述第一真空架和第二真空架上表面设置有若干对应的凹槽；所述箱本体内部设有真空泵，真空泵的管路通过所述箱本体侧面的通孔连接至抽真空管道；所述抽真空管道包括主管路和与所述主管路连接的若干分管路；所述主管路与所述真空泵的管路连接，所述分管路分别与各待抽真空的石英反应管连接。本实用新型可以简化、规范磷化镓多晶合成过程中的真空封管操作，大幅提高劳动效率，降低劳动强度，减小噪音，保护操作人员。
【专利说明】一种磷化镓多晶合成备料过程中真空封管装置
【技术领域】
[0001]本实用新型属于半导体材料制造【技术领域】，尤其涉及一种磷化镓多晶合成备料过
程中真空封管装置。
【背景技术】
[0002]磷化镓单晶是制备发光二极管的重要II1- V族化合物半导体材料，合成出高质量的磷化镓多晶是磷化镓单晶制备中必不可少的重要一步。目前生产磷化镓多晶主要采用高频高压合成炉。在合成备料过程中需要把镓放入煅烧过的石墨管中，并和磷一起放入石英反应管内，然后用真空泵对石英反应管抽真空，达到理想的真空度后再用氢氧焰将石英反应管密封。石英反应管内真空度的高低将直接影响合成出多晶的质量和原子化学配比。
[0003]现有技术中将石英反应管放在操作台上，连接上抽真空系统，通过抽真空系统将石英管内抽成理想真空状态，然后密封石英反应管。因现有真空架简陋导致封管操作困难且操作难以规范，且每次只能对一根石英反应管进行操作，工作效率很低；并且真空泵在工作的过程中会产生很大的噪音，长期处于噪音环境下，会直接影响操作人员身体健康。
实用新型内容
[0004]鉴于上述问题，本实用新型提供一种真空封管装置，采用该所述装置可以简化、规范磷化镓多晶合成过程中的真空封管操作，大幅提高劳动效率，降低劳动强度，减小噪音，保护操作人员。
[0005]为实现上述目的，本实用新型采取以下技术方案:
[0006]一种磷化镓多晶合成备料过程中真空封管装置，所述真空封管装置包括箱本体和设于所述箱本体侧面的抽真空管道；
[0007]所述箱本体的上盖上表面固定设置有互相平行的第一真空架和第二真空架，在所述第一真空架和第二真空架的上表面设置有若干对应的凹槽；所述箱本体内部设有真空泵，所述真空泵的抽气管路通过所述箱本体侧面的通孔连接至抽真空管道；
[0008]所述抽真空管道包括主管路和与所述主管路连接的若干分管路；所述主管路与所述真空泵的抽气管路连接，所述分管路分别与各待抽真空的石英反应管连接。
[0009]优选地,所述箱本体的上盖长边一侧边缘与所述箱本体固定转动连接,在所述箱本体的内部设置有传动装置，所述传动装置连接于所述上盖的底面，所述传动装置能使所述上盖的一侧以另一侧为轴升降一定角度。
[0010]进一步的，所述上盖的一侧升降角度为0-45度。
[0011]进一步的，所述箱本体内壁设有吸音壁。
[0012]进一步的，所述箱本体侧面设有若干固定横梁，各固定横梁上固设有固定块，所述抽真空管道穿设于各所述固定块中。
[0013]进一步的，所述主管路上设有主阀门及真空表，所述分管路上设有分阀门。
[0014]优选的，所述箱本体上盖上设有用于承接密封石英反应管时掉落的烧蚀物的托盘。
[0015]进一步的，所述箱本体侧面设有若干通气孔。
[0016]进一步的，所述箱本体侧面设有检修门。
[0017]进一步的,所述凹槽数量为1-8个。
[0018]本实用新型的有益效果是:本实用新型可以简化、规范磷化镓多晶合成过程中的真空封管操作，大幅提高劳动效率，降低劳动强度，减小噪音，保护操作人员。
【专利附图】
【附图说明】
[0019]图1a是本实用新型真空封管装置的立体示意图；
[0020]图1b是本实用新型真空封管装置的透视图；
[0021]图1c是本实用新型真空封管装置的工作状态的立体示意图；
[0022]图2是本实用新型真空封管装置的右视图；
[0023]图3是本实用新型真空封管装置的俯视图。
【具体实施方式】
[0024]以下将以具体实施例结合附图来说明本实用新型的结构和所欲达到的技术效果，但所选用的实施例仅用于说明解释，并非用以限制本实用新型的范围。
[0025]如图1a所示，本实用新型提供一种磷化镓多晶合成备料过程中真空封管装置，用于磷化镓多晶合成过程的真空封管操作，所述真空封管装置包括箱本体I和设置于所述箱本体I侧面的抽真空管道2。
[0026]所述箱本体I的上盖11的上表面固定设置有互相平行的第一真空架3和第二真空架4，在所述第一真空架3和第二真空架4的上表面设置有若干对应的凹槽，用于放置待抽真空的石英反应管。凹槽数量可以根据石英反应管的数量设置，具体可以为1-8个，各石英反应管在放置时相互平行。如图1c所示，所述上盖11长边一侧边缘与所述箱本体I固定转动连接，在所述箱本体I的内部设置有传动装置，所述传动装置连接于所述上盖11的底面，所述传动装置能使所述上盖11的一侧以另一侧为轴上下升降一定角度，升降角度可为0-45度不等，具体可以根据需要调整角度。本实用新型对所述传动装置不做具体限定，只要满足能使所述上盖11的长边一侧以另一侧为轴缓慢升起一定角度即可。另外，还可以在所述上盖11的上表面设置有用于承接密封石英反应管时掉落的烧蚀物的托盘5。
[0027]如图lb、图2所示,所述箱本体I内部设有真空泵6，真空泵6的抽气管路通过所述箱本体I侧面的通孔连接至抽真空管道2。所述抽真空管道2包括主管路21和与所述主管路21连接的若干分管路22。所述主管路21与所述真空泵6的抽气管路连接，所述分管路22分别与各待抽真空的石英反应管连接。所述主管路21上设有主阀门211及真空表212，用于控制主管路21的通断及监视真空度，所述分管路22上设有分阀门221，用于分别控制分管路的通断，达到每个分管路可单独控制的目的。
[0028]为了使所述抽真空管道2稳妥有条理的固定，所述箱本体I侧面设有若干固定横梁7，各固定横梁7上固设有固定块8，所述抽真空管道2穿设于各所述固定块8中。
[0029]如图1b所示，由于真空泵工作起来噪音很大,为了减少噪音对操作人员身体的伤害，在箱本体的四周内壁上安装有吸音壁9，可将大部分噪音吸收掉。吸声机理是声波深入吸音壁材料的孔隙，且孔隙多为内部互相贯通的开口孔，受到空气分子摩擦和粘滞阻力，以及使细小纤维作机械振动，从而使声能转变为热能。另外真空泵在工作过程中会产生一定的热量，本实用新型还可以根据需要在四周内侧壁上设置有数量不等的通气孔10，以及时将热量排出。
[0030]本实用新型的箱本体I侧面还可以设置检修门12用于维修保养真空泵。实际上，可以将箱本体的一个侧面设为可打开面，在箱本体的打开面上设置把手，通过拉动把手打开和闭合所述箱本体。
[0031]如图3所示，操作人员在进行密封石英反应管操作时，首先将石英反应管放在箱本体上面第一真空架3、第二真空架4的凹槽中，先关闭所有分阀门和主阀门，将石英反应管连接上分管路，再打开本分管路的所述分阀门和主阀门，开启真空泵进行抽真空操作；当真空抽到所需程度后，关闭本分管路的分阀门，密封本分管路石英反应管。当有多根石英反应管需要抽真空操作时，按以上方法先关闭上一路分阀门，再对下一路进行操作。当较靠近操作人员一端的石英反应管密封完后，距离稍远端的石英反应管因为距离较远，密封操作起来比较困难，此时可利用传动装置将远离操作人员的一侧慢慢升起，倾斜一定角度，这样就方便操作人员进行远端石英反应管的密封工作，密封操作完成后再缓缓放平。
[0032]由上可以看出，本实用新型可以简化、规范磷化镓多晶合成过程中的真空封管操作，可以同时对多个石英反应管进行抽真空操作，大幅提高了劳动效率，降低劳动强度，减小噪音危害，保护了操作人员。
[0033]需要指出的是，上述实施方式仅仅是可能的实施例，是为了清楚地理解本实用新型的原理而提出的。可以在不背离本实用新型原理和范围的情况下对上述本实用新型的实施方式进行许多变化和修改。所有这些修改和变化都包括在本实用新型揭示的范围中，并且受到所附权利要求的保护。
【权利要求】
1.一种磷化镓多晶合成备料过程中真空封管装置，其特征在于，所述真空封管装置包括箱本体和设于所述箱本体侧面的抽真空管道； 在所述箱本体的上盖上表面固定设置有互相平行的第一真空架和第二真空架，在所述第一真空架和第二真空架的上表面设置有若干对应的凹槽；所述箱本体内部设有真空泵，所述真空泵的抽气管路通过所述箱本体侧面的通孔连接至抽真空管道； 所述抽真空管道包括主管路和与所述主管路连接的若干分管路；所述主管路与所述真空泵的抽气管路连接，所述分管路分别与各待抽真空的石英反应管连接。
2.根据权利要求1所述的真空封管装置，其特征在于:所述箱本体的上盖长边一侧边缘与所述箱本体固定转动连接，在所述箱本体的内部设置有传动装置，所述传动装置连接于所述上盖的底面，所述传动装置能使所述上盖的一侧以另一侧为轴升降一定角度。
3.根据权利要求2所述的真空封管装置，其特征在于:所述上盖的一侧升降角度为0-45 度。
4.根据权利要求1或2所述的真空封管装置，其特征在于:所述箱本体内壁设有吸音壁。
5.根据权利要求1或2所述的真空封管装置，其特征在于:所述箱本体侧面设有若干固定横梁，各固定横梁上固设有固定块，所述抽真空管道穿设于各所述固定块中。
6.根据权利要求5所述的真空封管装置，其特征在于:所述主管路上设有主阀门及真空表，所述分管路上设有分阀门。
7.根据权利要求1或2所述的真空封管装置，其特征在于:所述箱本体上盖上设有用于承接密封石英反应管时掉落的烧蚀物的托盘。
8.根据权利要求1或2所述的真空封管装置，其特征在于:所述箱本体侧面设有若干通气孔。
9.根据权利要求1或2所述的真空封管装置，其特征在于:所述箱本体侧面设有检修门。
10.根据权利要求1或2所述的真空封管装置，其特征在于:所述凹槽数量为1-8个。
【文档编号】C30B29/44GK203613306SQ201320740354
【公开日】2014年5月28日 申请日期:2013年11月20日 优先权日:2013年11月20日
【发明者】马英俊, 林泉, 张洁, 王 琦, 钱钧 申请人:有研光电新材料有限责任公司