层叠体的制造方法及其用途与流程

技术特征：

1.一种层叠体的制造方法，其为将由聚酰亚胺树脂形成的基板、和支撑所述基板的支撑体介由粘接层进行层叠而成的层叠体的制造方法，其特征在于，包括：

水解工序，将存在于所述基板的两个平面部中的一个平面部的酰亚胺键的一部分水解；

粘接层形成工序，在所述支撑体上形成含有具有下述式(1)所示的结构单元的聚酰胺酸而成的粘接层，

所述式(1)中，R¹为4价的有机基团，是碳原子数为2以上且11以下的芳香族基团、脂肪族基团、或脂环式基团，

R²为2价的有机基团，是除碳原子及氢原子之外还可含有选自由氮原子、氧原子、硫原子、及卤素组成的组中的原子的、碳原子数为2以上且50以下的芳香族基团、脂肪族基团、或脂环式基团，

n为1以上；和

贴合工序，以所述酰亚胺键进行了水解的平面部与所述支撑体相对的方式，介由所述粘接层贴合所述基板和所述支撑体。

2.如权利要求1所述的层叠体的制造方法，其特征在于，所述式(1)所示的结构单元中的R¹为4价的芳香族基团，R²为选自由亚苯基、2价的二苯基醚基、及2价的二苯甲酮基组成的组中的至少1种基团。

3.如权利要求1或2所述的层叠体的制造方法，其特征在于，在所述水解工序中，通过含有有机碱化合物及水的处理液而将所述酰亚胺键水解。

4.如权利要求3所述的层叠体的制造方法，其特征在于，所述有机碱化合物为季铵碱。

5.如权利要求3或4所述的层叠体的制造方法，其特征在于，所述处理液进一步含有水溶性有机溶剂。

6.一种基板的处理方法，其特征在于，包括：

层叠体形成工序，通过权利要求1～5中任一项所述的层叠体的制造方法来制造层叠体，和

剥离工序，在所述层叠体形成工序后，将所述基板从所述层叠体剥离。

7.一种层叠体，其为将由聚酰亚胺树脂形成的基板、和支撑所述基板的支撑体介由粘接层进行层叠而成的层叠体，其特征在于，具有来自于下述氨基和下述羧基的酰胺键，

所述氨基为存在于所述基板的与所述支撑体相对的平面部的聚酰亚胺树脂所具有的氨基，

所述羧基为具有下述式(1)所示的结构单元的聚酰胺酸所具有的羧基，

所述式(1)中，R¹为4价的有机基团，是碳原子数为2以上且11以下的芳香族基团、脂肪族基团、或脂环式基团，

R²为2价的有机基团，是除碳原子及氢原子之外还可含有选自由氮原子、氧原子、硫原子、及卤素组成的组中的原子的、碳原子数为2以上且50以下的芳香族基团、脂肪族基团、或脂环式基团，

n为1以上。

8.如权利要求7所述的层叠体，其特征在于，所述式(1)所示的结构单元中的R¹为4价的芳香族基团，R²为选自由亚苯基、2价的苯基醚基、及2价的二苯甲酮基组成的组中的至少1种基团。

9.一种层叠体的形成用试剂盒，其为在权利要求3或4所述的层叠体的制造方法中使用的层叠体的形成用试剂盒，其特征在于，具有：

含有有机碱化合物及水而形成的上述处理液，和

含有具有上述式(1)所示的结构单元的聚酰胺酸、及有机溶剂而形成的粘接剂。

10.如权利要求9所述的层叠体的形成用试剂盒，其特征在于，所述处理液进一步含有水溶性有机溶剂。