层叠体的制造方法及其用途与流程

文档序号:12629511阅读:来源:国知局
技术总结
本发明涉及层叠体的制造方法及其用途。本发明提供具有高耐热性、且能够将由聚酰亚胺树脂形成的基板顺利地剥离的新型的层叠体的制造方法及其相关技术。层叠体的制造方法包括:将形成基板(1)的聚酰亚胺树脂的酰亚胺键的一部分水解的水解工序;在支撑板(2)上形成含有具有下述式(1)所示的结构单元的聚酰胺酸而成的粘接层(3)的粘接层形成工序;和介由粘接层(3)贴合基板(1)和支撑板(2)的贴合工序。其中,式(1)中,R1为4价的有机基团,是碳原子数为2以上且11以下的芳香族基团等;R2为2价的有机基团,是可含有氮原子等的、碳原子数为2以上且50以下的芳香族基团等;n为1以上。

技术研发人员:室田敦史;绪方寿幸
受保护的技术使用者:东京应化工业株式会社
文档号码:201611026954
技术研发日:2016.11.22
技术公布日:2017.06.13

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