金刚线硅片切割工艺的制作方法

文档序号:14233176阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种能够实现硅棒线切割提高切割效率,降低切割成本的金刚线硅片切割工艺。该金刚线硅片切割工艺,包括以下步骤:1)采用硅棒上料装置在硅棒的上表面上粘接树脂板;2)硅棒上粘接完成树脂板后,将硅棒固定在硅棒线切割机上;并且切割金属线选用金刚线;3)然后对硅棒进行切割,在切割的过程中,使得进刀速度为0.12至0.32mm/min,金刚线的线速度为640至700m/min,放线张力为21N,收线张力20N,切割温度23℃,切割液流量35HZ。采用该金刚线硅片切割工艺有利于实现自动化切割,能够提高切割效率,降低切割成本。

技术研发人员:陈五奎;刘强;徐文州
受保护的技术使用者:乐山新天源太阳能科技有限公司
技术研发日:2017.11.27
技术公布日:2018.04.20
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