载体剥离装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种载体剥离装置，特别涉及一种从在载体的表面上形成有挠性板的复合板剥离载体的载体剥离装置。
【背景技术】
[0002]作为烧性OLED (Organic Light-Emitting D1de:有机发光二极管)板等烧性板的生产工序，设计了如下的挠性板生产方法，即:在载体玻璃的表面上成膜，用成膜面贴合成膜后的载体玻璃，从而形成由载体玻璃夹着两面的挠性板的复合板，此后，从复合板剥离载体玻璃。因此，一直在寻求一种稳定高速地剥离易碎的载体玻璃的载体剥离装置。
[0003]关于这样的载体的剥离，在专利文献1 (日本特开2004-17623号公报)中公开了一种载体薄膜剥离方法，用于在载体薄膜的表面上形成有陶瓷生片的复合片中从所述陶瓷生片剥离所述载体薄膜，包含如下工序:剥离余量形成工序，在从所述复合片的端部开始到中途为止的区间内形成剥离余量，所述剥离余量是从所述陶瓷生片分离了的所述载体薄膜的一部分；以及载体薄膜去除工序，将外周面具有粘接性的粘接辊推到所述剥离余量的区域中避开了所述端部的位置，并对所述载体薄膜进行保持，随后使所述粘接辊旋转并从所述陶瓷生片剥下所述载体薄膜(参照权利要求1)。
[0004]另外，在专利文献2(日本专利第4482757号公报)中公开了一种片材贴附装置(从衬纸剥离片材的剥离装置)，所述片材贴附装置利用保持于片材的下表面并能在剥离棱边与被贴附物之间线性运动的贴附头，在所述剥离棱边位置从所述衬纸剥离连续贴附于衬纸上的片材(参照权利要求1)。
[0005]专利文献1:日本特开2004-17623号公报
[0006]专利文献2:日本专利第4482757号公报
[0007]在引用文献1公开的剥离方法中，由于利用粘接辊对载体薄膜进行剥离，因而需要从粘接辊去除已剥离了的载体薄膜。因此，将剥离方法分成剥离余量形成工序以及载体薄膜去除工序，在载体薄膜去除工序中形成载体薄膜的端部未保持于粘接辊的状态而形成能够从粘接辊除去载体薄膜的结构。可是，由于在引用文献1公开的剥离方法中载体薄膜的剥离所需时间变长，因而难以使生产性得到提高。
[0008]另外，在引用文献2公开的剥离方法中，由于利用剥离棱边从衬纸开始剥离片材，因而如果将其用于从由载体玻璃夹着两面的挠性板剥离载体玻璃的工序，则恐怕存在超过允许弯曲界限而导致载体玻璃、挠性板破损的风险。
【发明内容】
[0009]因此，本发明的课题在于提供一种剥离装置，所述剥离装置能够高效地从在载体的表面上形成有挠性板的复合板剥离载体。
[0010]用于解决课题的方案
[0011]为了解决这样的课题，本发明提供一种载体剥离装置，其特征在于，所述载体剥离装置具备:保持工作台，所述保持工作台载置由上载体、板、以及下载体构成的复合板；第一粘接升降销，所述第一粘接升降销设置于所述保持工作台，且具有能够上下移动的第一轴体部、以及设置于该第一轴体部的端部的第一粘接部；第二粘接升降销，所述第二粘接升降销设置于所述保持工作台，且具有能够上下移动的第二轴体部、以及设置于该第二轴体部的端部的第二粘接部；以及弓状的剥离工作台，所述剥离工作台具有第三粘接部以及橡胶吸附部。
[0012]发明效果
[0013]根据本发明，能够提供一种高效地从在载体的表面上形成有挠性板的复合板剥离载体的载体剥离装置。
【附图说明】
[0014]图1是复合板及本实施方式的载体剥离装置的示意图。
[0015]图2是表示本实施方式的载体剥离装置的剥离动作的流程图。
[0016]图3是表示剥离上载体玻璃的状态的载体剥离装置的动作图。
[0017]图4是表示从剥离工作台回收已剥离的上载体玻璃的状态的载体剥离装置的动作图。
[0018]附图标记说明
[0019]1载体剥离装置
[0020]10保持工作台
[0021]11真空吸附部
[0022]12、12A、12B 粘接升降销
[0023]13轴体部(第一轴体部、第二轴体部)
[0024]14粘接部(第一粘接部、第二粘接部)
[0025]15滑动移动机构
[0026]20剥离单元
[0027]21剥离工作台
[0028]22弓状板部
[0029]23粘接部(第二粘接部)
[0030]24橡胶吸附部
[0031]25辊单元
[0032]26 辊
[0033]27滑动移动机构
[0034]28 导轨
[0035]29剥离工作台卡定机构
[0036]30机座部
[0037]31 导轨
[0038]32支承柱
[0039]33线性驱动致动器(掀起机构)
[0040]100、100A 复合板
[0041]101上载体玻璃(上载体)
[0042]102挠性板(板)
[0043]103下载体玻璃(下载体)
[0044]Ml方向(保持工作台的移动方向)
[0045]M2方向(剥离单元端部的移动方向)
[0046]M3方向(辊单元的移动方向)
[0047]M4方向(剥离工作台端部的移动方向)
【具体实施方式】
[0048]以下，适当参照附图详细地对用于实施本发明的方式(以下称为“实施方式”)进行说明。此外，在各图中，对于通用的部分标注相同的附图标记，省略重复说明。
[0049]<复合板>
[0050]首先，在对本实施方式的载体剥离装置1进行说明之前，利用图1对复合板100进行说明。图1是复合板100及本实施方式的载体剥离装置1的示意图。
[0051]如图1所示，复合板100由上载体玻璃101、挠性板102、以及下载体玻璃103层叠构成。即，复合板100具有由载体玻璃101、103夹着挠性板102的两面的构造。
[0052]<载体剥离装置>
[0053]接下来，对本实施方式的载体剥离装置1进行说明。在此，本实施方式的载体剥离装置1是从复合板100 (挠性板102)剥离上载体玻璃101的装置。
[0054]如图1所示，本实施方式的载体剥离装置1由保持工作台10、剥离单元20、机座部30、以及控制部(未图示)构成。
[0055]保持工作台10具备:真空吸附部11、粘接升降销12、以及滑动移动机构15。
[0056]真空吸附部11形成于保持工作台10的上表面。在复合板100载置于保持工作台10的上表面的状态下，真空吸附部11利用减压机构(未图示)在保持工作台10的上表面与复合板100的下表面之间减压，从而能够将复合板100真空吸附于保持工作台10的上表面。此外，控制部(未图示)控制减压机构(未图示)的动作，从而能够对真空吸附部11上的复合板100的真空吸附及解除进行控制。
[0057]粘接升降销12具有:借助驱动部(未图示)而上下移动的轴体部13、以及由设置在轴体部13的上端部的粘接构件构成的粘接部14。在复合板100载置于保持工作台10的上表面的状态下，粘接升降销12利用驱动部(未图示)使轴体部13上升，从而能够将粘接部14粘接于复合板100的下表面，对复合板100进行保持。另外，利用驱动部(未图示)使轴体部13下降，从而能够从复合板100的下表面剥下粘接部14，解除复合板100的保持。此外，控制部(未图示)控制驱动部(未图示)的动作，从而能够对粘接升降销12的上下移动进行控制。
[0058]另外，对于粘接升降销12而言，在后述的剥离工作台21剥离上载体玻璃101的剥离方向(图1中的左右方向)上观察，其设置于真空吸附部11的两侧。在以下的说明中，在图1中真空吸附部11的左侧的粘接升降销12称为粘接升降销12A，在图1中真空吸附部11的右侧的粘接升降销12称为粘接升降销12B。此外，粘接升降销12