专利名称：一种晶圆集装箱的搬运工具的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种搬运工具，尤其涉及一种晶圆集装箱的搬运工具。
背景技术：
晶圆在长距离或者短距离的运送过程中，常常以集装箱的形式来实现。我 们在搬运集装箱的过程中，要么用手直接搬运，或者用小车来运送。用手直接
搬运，容易使晶圆的受力不均，造成晶圆的损坏，并且不利于长距离的运送； 采用小车搬运，容易造成成本的增加。
实用新型内容
本实用新型为解决现有技术中，用手搬运晶圆集装箱容易造成晶圆损坏， 用小车搬运，造成成本增加的缺点，提供了一种晶圆集装箱的搬运工具。
一种晶圆集装箱的搬运工具，包括，第一握持部、第二握持部、旋转轴、 第一夹持部和第二夹持部，其中第一夹持部和第二夹持部的底端都包括一个勾 持部，第一夹持部和第一握持部通过旋转轴相连接；第二握持部和第二夹持部 通过旋转轴相连^"。
其中所述的第一握持部和第二握持部都包括一个手柄，位于握持部的顶端。
其中所述的手柄还包括一个固定套。
其中所述的第一夹持部和第二夹持部成轴对称分布；第一握持部和第二握 持部也成轴对称分布。
其中所述的勾持部包括一个凸起部和一个承载部，其中凸起部位于勾持部 的末端，承载部与凸起部相连。
本实用新型由于采用了以上技术，使之能实现晶圆集装箱的长距离或者短 距离的运送，并且不增加成本。
图l是本实用新型的立体图； 图2是本实用新型的左视图； 图3是本实用新型的俯视图。
具体实施方式
下面结合具体实施例对本使用新型一种晶圆集装箱的搬运工具作详细的描 述，如图1、图2、图3所示，
包括，第一握持部l、第二握持部2、旋转轴3、第一夹持部4和第二夹持 部5，其中第一夹持部4和第二夹持部5的底端都包括一个勾持部7，第一夹持 部4和第一握持部1通过旋转轴3相连接；第二握持部2和第二夹持部5通过 旋转轴3相连接，第一握持部1和第二握持部2都包括一个手柄6，位于握持部 的顶端，手柄6还包括一个固定套8。
第一夹持部4和第二夹持部5成轴对称分布；第一握持部1和第二握持部2 也成轴对称分布；勾持部7包括一个凸起部9和一个岸义载部10;其中凸起部9 位于勾持部7的末端，承载部10与凸起部9相连。
第一握持部1包括第一握持本体101和第二握持本体102;第二握持部2包 括第三握持本体201和第四握持本体202;、第一夹持部4包括第一夹持本体401 和第二夹持本体402;第二夹持部5包括第三夹持本体501和第四夹持本体502。
该装置的左视图如图2所示，俯视图如图3所示，其中第一握持部1和第 二握持部2并拢起来呈一个四边形，其中握持部手柄6到旋转轴3的垂直距离 为108.19mm,手柄6到第一握持部l(或者第二握持部2 )拐角的距离为50.91mm， 第一握持部l拐角到第二夹持部5拐角的垂直距离为194.45mm,手柄6到钩持 部7的垂直距离为360.37mm，夹持部(4或5 )的拐角到旋转轴3的水平距离 为133.66mm，垂直距离为137.18mm，勾持部7的凸起部9的垂直高度为10mm, 承载部10的水平长度为39.14mm,手柄6的长度为120mm,第一夹持部4的拐 角和第二夹持部5的拐角之间的水平距离为266.07mm，夹持部(4或5)拐角 和手柄6之间的水平距离为126.67mm,第一夹持部4拐角和第二握持部2拐角 之间的水平距离为32.07mm。在运送晶圆集装箱的过程中，先将该装置的第一握持部1和第二握持部2 分开，这样第一夹持部4和第二夹持部5也会分开一定的距离，用该装置的夹 持部来夹住晶圆的集装箱，然后将第一握持部1和第二握持部2向中间靠拢， 这样第一夹持部4和第二夹持部5就能牢牢的抓住集装箱，其中夹持部中的凸 起部9和承载部10能起到固定集装箱的作用。
为防止集装箱在运送的过程中滑落，在握持部的手柄上有一个固定套，来 固定握持部上的手柄，其中固定套先固定在一个手柄上，当夹持部将集装箱卡 牢固后，固定套将另外的一个手柄也固定好。这样在集装箱的运送过程中，该 工具能紧紧地抓住集装箱，有效的防止集装箱脱落，而且也能提高工作效率， 降低成本。
权利要求1、一种晶圆集装箱的搬运工具，其特征在于，包括，第一握持部(1)、第二握持部(2)、旋转轴(3)、第一夹持部(4)和第二夹持部(5)，其中第一夹持部(4)和第二夹持部(5)的底端都包括一个勾持部(7)，第一夹持部(4)和第一握持部(1)通过旋转轴(3)相连接；第二握持部(2)和第二夹持部(5)通过旋转轴(3)相连接。
2、 如权利要求l所述的一种晶圆集装箱的搬运工具，其特征在于，所述的第一 握持部(1)和第二握持部(2)都包括一个手柄(6)，位于握持部的顶端。
3、 如权利要求2所述的一种晶圓集装箱的搬运工具，其特征在于，所述的手柄 (6)还包括一个固定套(8)。
4、 如权利要求1所述的一种晶圆集装箱的搬运工具，其特征在于，所述的第一 夹持部(4)和第二夹持部(5)成轴对称分布；第一握持部(1)和第二握持部(2)也成轴对称分布。
5、 如权利要求l所述的一种晶圆集装箱的搬运工具，其特征在于，所述的勾持 部(7)包括一个凸起部(9)和一个承载部(10),其中凸起部(9)位于勾持 部(7)的末端，承载部(10)与凸起部(9)相连。
专利摘要一种晶圆集装箱的搬运工具，包括，第一握持部(1)、第二握持部(2)、旋转轴(3)、第一夹持部(4)和第二夹持部(5)，其中第一夹持部(4)和第二夹持部(5)的底端都包括一个勾持部(7)，第一夹持部(4)和第一握持部(1)通过旋转轴(3)相连接；第二握持部(2)和第二夹持部(5)通过旋转轴(3)相连接。本实用新型不但能提高搬运晶圆的效率，而且不增加成本。
文档编号B25J15/00GK201161384SQ20082005503
公开日2008年12月10日 申请日期2008年1月24日 优先权日2008年1月24日
发明者吕秋玲, 斌 杨, 杨洪春, 郭莹莹 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司