一种砂液泵轴封安装工装的制作方法

本实用新型涉及到半导体硅片软损伤吸杂领域用到的砂液泵，具体的说是一种砂液泵轴封安装工装。

背景技术：

硅是集成电路制造技术中的基础半导体材料。随着集成电路(IC)的发展，对硅片的内在质量及表面质量，即高纯度，高完整性也不断提出新的要求。为了满足集成电路高速发展的需要，除了改进硅单晶生长技术，提高硅片加工质量外，通常在IC用硅片背面进行特殊加工，利用杂质吸除技术，以保证硅片的质量。

目前应用较广泛的吸除工艺主要分为内吸除和外吸除两类，作为应用外吸除技术的商品硅片主要由背封多晶硅薄片和背面软损伤处理两种，而在背面软损伤工艺中需要用到砂液泵。

背面软损伤机所使用的砂料颗粒极细，磨损性强，砂液泵的轴封为橡胶材质，需要定期更换，而在更换工作中，很容易出现轴封在进入轴套密封腔时的损坏以及不能同时装入两个轴封的问题。

技术实现要素：

为解决现有技术中在更换砂液泵的轴封时存在的轴封很难进入到密封腔的问题，本实用新型提供了一种砂液泵轴封安装工装，通过设计手持部和分别设置在手持部两端面上的推力部和轴封安装部，然后将两个轴封圈依次套在轴封安装部上，并将带有轴封圈的轴封安装部垂直放在轴套密封腔口，用铁锤敲击推力部，从而使轴封圈平滑的进入到轴套的密封腔内。

本实用新型为解决上述技术问题所采用的技术方案为：一种砂液泵轴封安装工装，包括圆柱状的手持部和分别设置在手持部两端面上的推力部和圆柱状的轴封安装部，且轴封安装部与手持部的端面之间具有卡台，沿所述轴封安装部的轴线方向上依次环套有两个轴封圈，以使轴封安装部带动两个轴封圈进入到砂液泵轴套的密封腔内。

所述两个轴封圈中其中一个的侧面顶住卡台，两个轴封圈之间具有间隙。

所述轴封圈的厚度与卡台的宽度相同，以使轴封圈安装到轴封安装部上时，轴封圈的外径与手持部的外径平齐。

所述轴封圈的外径上涂刷有润滑油。

所述推力部也为圆柱状，且推力部、手持部和轴封安装部的中轴线位于同一直线上。

所述推力部为圆柱状，且其直径小于手持部的直径，两者的连接部处形成凸台。

所述轴封安装部通过螺纹与手持部可拆卸连接，以便于更换不同直径的轴封安装部。

有益效果：本实用新型通过设置手持部和分别设置在手持部两端面上的推力部和轴封安装部，然后将两个轴封圈依次套在轴封安装部上，并将带有轴封圈的轴封安装部垂直放在轴套密封腔口，用铁锤敲击推力部，从而使轴封圈平滑的进入到轴套的密封腔内，具有使用方便的优点，提高了轴封圈安装的安全性和便捷性。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型与轴套配合的结构示意图；

附图标记：1、推力部，2、手持部，3、轴封安装部，4、凸台，5、卡台，6、轴封圈，7、间隙，8、密封腔。

具体实施方式

如图所示，一种砂液泵轴封安装工装，包括圆柱状的手持部（2和分别设置在手持部2两端面上的推力部1和圆柱状的轴封安装部3，且轴封安装部3与手持部2的端面之间具有卡台5，沿所述轴封安装部3的轴线方向上依次环套有两个轴封圈6，以使轴封安装部3带动两个轴封圈6进入到砂液泵轴套的密封腔8内。

以上为本实用新型的基本实施方式，可在以上基础上做进一步的优化、改进和限定：

如，所述两个轴封圈6中其中一个的侧面顶住卡台5，两个轴封圈6之间具有间隙7；

又如，所述轴封圈6的厚度与卡台5的宽度相同，以使轴封圈6安装到轴封安装部3上时，轴封圈6的外径与手持部2的外径平齐；

又如，所述轴封圈6的外径上涂刷有润滑油，从而便于轴封圈6进入到密封腔8内；

再如，所述推力部1也为圆柱状，且推力部1、手持部2和轴封安装部3的中轴线位于同一直线上；

再如，所述推力部1为圆柱状，且其直径小于手持部2的直径，两者的连接部处形成凸台4；

最后，所述轴封安装部3通过螺纹与手持部2可拆卸连接，以便于更换不同直径的轴封安装部3。

本实用新型中，推力部1、手持部2和轴封安装部3采用不锈钢制成，先将砂液泵轴套的密封腔8内壁涂抹少量润滑油，再将该轴封安装部3上安装好两个轴封圈6，然后把装有两个轴封圈6的一侧垂直对准砂液泵体轴套的密封腔8，之后，用手握住手持部2，用外力均匀敲击推力部1，在外力的作用下，将橡胶轴封圈6安装到位。