八臂搬运机器人的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及八臂搬运机器人，尤其涉及一种八个机械臂可分别驱动，能够同时装载及取出以一定节距单位上下装载的搬运物(基板或晶片等)的八臂搬运机器人。
【背景技术】
[0002]半导体设备或液晶显示器等的制造工艺中，需执行引入或取出用于半导体晶片或液晶显示器的玻璃基板等基板的过程。
[0003]正在开发使用的基板处理装置(搬运机器人)有双臂机器人、由多个机械臂构成的搬运机器人等，通常具备:保持多个承载架的承载架保持部；处理基板的基板处理部；在承载架保持部与基板处理部之间，上下积层的反转单元；在各个反转单元与承载架保持部之间搬运基板的分度器机器人；在各个反转单元与基板处理部之间搬运基板的主搬运机器人。
[0004]此类搬运机器人根本上是为了更加有效地执行晶片、基板或搬运物的搬运，由此，缩短工序作业节拍时间(Tack Time)，提高工序效率。
[0005]从用于搬运一个基板的单臂搬运机器人，开发了具备两个机械臂的搬运机器人，并且，改造双臂构造，以进行更有效的工序为目的，公开了韩国公开专利公报10-2008-0047205号(搬运基板机器人)及韩国公开专利公报10-2012-0007449号(基板处理装置及基板搬运方法)。
[0006]韩国公开专利公报10-2008-0047205号，公开了一种具有进行独立性旋转移动及同时上下移动的多个机械臂，而能够有效地搬运基板的搬运基板机器人。
[0007]韩国公开专利公报10-2008-0047205号，其结构优点为，能够从各个方向搬运由东西南北4个方向配置的搬运物，但存在如下缺点:因从东西南北4个方向独立地工作，无法使用于直线式工艺或由一个方向进行的工序。
[0008]韩国公开专利公报10-2012-0007449号提供一种增加基板处理装置的生产量(throughput,单位时间的处理基板个数)，由此，能够缩短分度器机器人及主搬运机器人的等待时间的搬运机器人。
[0009]韩国公开专利公报10-2012-0007449号具有缩短工序时间的优点，但具有如下缺点:其为在一个机械臂上附着有多个机械手的结构，因此，需同时驱动，并且，根据多个机械手的结构，由一定间隔配置，才能够搬运多个搬运物。
[0010]现有技术文献
[0011]专利文献
[0012]专利文献I 韩国公开专利公报第10-2008-0047205号
[0013]专利文献2 韩国公开专利公报第10-2012-0007449号
【发明内容】
_4] 发明要解决的问题
[0015]本发明为了解决上述问题，提供一种通过相同的水平方向的直线运动，能够同时或个别地搬运搬运物的八臂搬运机器人。
[0016]并且，本发明的目的为提供一种八臂搬运机器人，在直线式(In-Line)工艺及由一个方向连续进行的工艺中，通过同时输送一张至8张货物，引导进行快速的工艺流程，由此，能够缩短工序时间，并提高工序效率。
_7] 用于解决问题的方案
[0018]为了解决上述问题，根据本发明的八臂搬运机器人，其包括:柱杆以及第I至第8机械臂，在该柱杆上结合有能够进行上下直线运动的机械臂单元，所述机械臂单元包括与所述柱杆的两侧面上下结合的第I至第4成对机械臂，所述第I至第4成对机械臂是由2个机械臂水平结合而形成一对的。
[0019]在此，所述第I至第8机械臂中配置于外侧的机械臂的外侧面安装有滑动器以能够滑动，所述第I至第8机械臂中配置于内侧的机械臂的内侧面安装有滑动器所述第I至第8机械臂中。
[0020]在此，沿与所述滑动器形成直角的方向，与所述滑动器连接有架桥。
[0021]在此，沿与所述架桥形成直角的方向，在所述架桥上安装有机械手。
[0022]在此，所述第I及第2成对机械臂配置于下侧，所述第3及第4成对机械臂配置于上侧，配置于下侧的所述第I及第2成对机械臂在内侧配置有第I及第2机械臂，并在外侧配置有第3及第4机械臂，配置于上侧的所述第3及第4成对机械臂在内侧配置有第7及第8机械臂，并在外侧配置有第5及第6机械臂。
[0023]在此，所述柱杆的下端部连接于能够旋转360度的旋转底座的一侧端，所述第I至第8机械臂分别安装有第I至第8机械手，所述第I至第8机械手的中心、所述旋转底座的旋转轴线及所述柱杆的中心在一个基准线上配置成一直线。
[0024]在此，所述第I至第8机械臂能够同时驱动、单独驱动或选择性驱动2个以上。
[0025]在此，所述第I至第8机械臂以借助能够前后驱动的滑动器安装有第I至第8机械手，所述第I至第8机械手上配置成上下排列，并且运动轨迹相同。
[0026]发明效果
[0027]根据上述本发明的构成，通过由相同的水平方向的直线运动，同时或个别地搬运搬运物，并且，在直线式(In-Line)工艺及由一个方向连续进行的工艺中，通过同时输送一张至8张货物，引导进行快速的工艺流程，由此，能够缩短工序时间，并提高工艺效率。
【附图说明】
[0028]图1为根据本发明的八臂搬运机器人的剖视图；
[0029]图2为根据本发明的八臂搬运机器人的机械臂单元结构图；
[0030]图3为体现根据本发明的八臂搬运机器人的最佳机械臂排列图；
[0031]图4为根据本发明的八臂搬运机器人的平面图；
[0032]图5为根据本发明的八臂搬运机器人的侧面图；
[0033]图6为根据本发明的八臂搬运机器人的8机械臂被折叠的状态图；
[0034]图7为根据本发明的八臂搬运机器人的第I机械臂水平前进的状态图；
[0035]图8为根据本发明的八臂搬运机器人的第4机械臂的水平前进状态图；
[0036]图9为根据本发明的八臂搬运机器人的第5机械臂的水平前进状态图；
[0037]图10为根据本发明的八臂搬运机器人的第8机械臂的水平前进状态图；
[0038]图11为根据本发明的八臂搬运机器人的8机械臂整体水平前进的状态图。
[0039]附图标记说明
[0040]100:八臂搬运机器人110:运行底座
[0041]120:运行滑动器130:旋转底座
[0042]130a:旋转轴140:上下柱杆
[0043]150，150a, 150d, 150e, 150h:工作面板
[0044]200:机械臂单元
[0045]211，212，213，214，215，216，217，218:机械臂
[0046]210, 220, 230, 240:成对机械臂
[0047]251，252，253，254，255，256，257，258:滑动器
[0048]261，262，263，264，265，266，267，268:架桥
[0049]271，272，273，274，275，276，277，278:机械手
[0050]310:下侧部机械臂320:上侧部机械臂
【具体实施方式】
[0051]以下参照【附图说明】根据本发明的八臂搬运机器人的结构及作用效果。
[0052]图1为根据本发明的八臂搬运机器人的剖视图；图2为根据本发明的八臂搬运机器人的机械臂单元结构图；图3为体现根据本发明的八臂搬运机器人的最佳机械臂排列图；图4为根据本发明的八臂搬运机器人的平面图；图5为根据本发明的八臂搬运机器人的侧面图。
[0053]如图1至图5所示，根据本发明的八臂搬运机器人(100)，包括:运行底座(110)、运行滑动器(120)、旋转底座(130)、上下柱杆(140)及机械臂单元(200)。
[0054]运行底座(110)可由4角框架形状形成，并且，根据需要可安装脚轮，而便于移动，并且，为了防止机器人在运转时移动，可安装多个固定装置。
[0055]并且，运行底座(110)的内侧安装运行滑动器(120)，运行底座(110)的两个内侧形成有用于运行滑动器(120)水平移动的导轨。
[0056]运行滑动器(120)与两侧的导轨连接，能够进行左右水平移动，并且，在中心上端与旋转底座(130)连接，旋转底座(130)的侧面前端部形成有上下柱杆(140)。
[0057]旋转底座(130)以旋转轴(130a)为基准可旋转360°，并根据旋转底座(130)的360°旋转，上下柱杆(140)也相同地旋转360度。
[0058]旋转底座(130)以旋转轴(130a)为基准，使第I至第8机械臂(211至218)进行360度旋转，上下柱杆(140)使得第I至第8机械臂(211至218)进行上下直线运动。
[0059]上下柱杆(140)的两侧面可形成有导轨，该导轨的两侧安装有机械臂单元(200)，进行上下直线运动。
[0060]参照图2及图3详细说明机械臂单元(200)的构造。
[0061]机械臂单元(200)包括:第I至第8机械臂(211至218)、第I至第8滑动器(251至258)、第I至第8架桥(261至268)及第I至第8机械手(271至278)。
[0062]第I至第8机械臂(211至218)，形成上下左右的4分隔排列，2个机械臂按一对水平接触，分别形成成对第I至第4成对机械臂(210至240)，并且，下侧的第I及第2成对机械臂(210，220)构成上侧部机械臂(320)，上侧的第3及第4成对机械臂(230，240)构成下侧部机械臂(310)。
[0063]第I及第3成对机械臂(210，230)在上下柱杆(140)的左侧面可滑动地连接，第2及第4机械臂成对件(220，24