一种新型多功能低辐射玻璃的制作方法
【专利摘要】本实用新型要解决的问题是提供一种新型多功能低辐射玻璃，能够提高玻璃的整体透过率，提高玻璃的生产效率，有效解决光污染的问题。本实用新型具有的优点和积极效果是：本实用新型提供的新型多功能低辐射玻璃的反射率较低，能有效的解决光污染的现象；能够提局玻璃的整体透过率，而且通用性强，可以在80%的主流膜系中使用；YZ0陶瓷靶滅射效率快，能提高玻璃生产效率；该YZ0陶瓷靶不容易出现结瘤等问题；该YZ0陶瓷靶在无明显串气的情况下，不会出现靶中毒现场。
【专利说明】一种新型多功能低辐射玻璃
【技术领域】
[0001]本实用新型属于镀膜玻璃【技术领域】，尤其涉及一种新型多功能低辐射玻璃。
【背景技术】
[0002]玻璃是重要的建筑材料，随着对建筑物装饰性要求的不断提高，玻璃在建筑行业中的使用量也不断增大。然而，当今人们在选择建筑物的玻璃门窗时，除了考虑其美学和外观特征外，更注重其热量控制、制冷成本和内部阳光投射舒适平衡等问题。这就使得镀膜玻璃家族中的新贵——low-e玻璃即低辐射玻璃脱颖而出，成为人们关注的焦点。Low-e玻璃两大关键点是透过和隔热性能，如何在保证隔热性能的情况下，提高透过是本领域的主要技术突破点。可见光透射比(Tvis)是在可见光谱(380nm至780nm)范围内，透过玻璃的光强度与入射光强度的百分比(又叫可见光透过率、透光率)。
[0003]目前市场上最高单片low-e透过率是80%，而且基本上是单银low-e居多。目前市场上常见的单银结构是SiNx/NiCr/Ag/NiCr/SiNx，目前该结构的镀膜玻璃可以通过降低前后阻挡层NiCr的厚度来提高可见光透过率。但是此方法有较大的局限性，如果一味降低NiCr厚度带来的隐患是导致Ag层被氧化，或者是与底层SiNx连接不好导致脱膜，所以一味降低抵挡层厚度的做法是不可取的。
[0004]目前市场上提供了一种透过率接近80%双银low-e,其结构是:SiNx/ZnA10x/Ag/NiCr/SiNx/ZnA10x/Ag/NiCr/AZ0/SiNx,本结构的特点是1.使用双银结构，有效的提高了玻璃的隔热系数U值。2.将Ag层前面的NiCr层去除，有效的提高透过率。3.使用了有良好的导电性能的AZO膜层，使得当减薄NiCr层时可以阻隔SiAl靶氮化气体串扰，防止Ag被氮气干扰，更好的保护Ag层。掺铝氧化锌(ΑΖ0)，作为一种新的溅射材料，因其性能优异而得到广泛使用，如导电性、高透过性、高红外反射性能等，这种材料已经广泛投入到各个领域，发挥其优越性能。相关实验证明:在潮湿恶劣的环境下，它表现出很好的耐久性，其膜层之间稳定性、粘结性很好，内应力较低，膜层分布均匀，与Ag之间的相互刻蚀现象较少，减少了功能层Ag的损失，而且在低功率下，有较快的溅射速率。除隔热系数外，镀膜产品整体性能主要关注其选择系数，即T (透过)/S。(遮阳)的比值。而AZO的优点在于它可以增大透过，同时减小遮阳系数，从而增大选择系数。AZO材料除了在光学性能方面有着很优越的性能之外，在耐热性，抗氧化性方面同样具备优势。
[0005]但是在实际生产中，AZO也有很多弊端，主要缺点如下:
[0006]1、不能直接作为Ag层的打底层与Ag直接相连，容易脱膜；
[0007]2、AZ0陶瓷靶容易放电。
[0008]3、AZO靶材在使用中容易出现表面结瘤，容易掉渣，影响玻璃成品率，且无法长时间高功率使用。
[0009]4、容易产生飞灰，影响成膜质量。
[0010]还有一种方法是使用新的膜层结构如:S i Nx/ZnA 10x/Ag/Ni Cr/ZnSn0x/S i Nx，此膜层结构是将底层的NiCr去除，从而提高透过，但是此方法只能将单片提高到80%，很难突破80%。在市场多元化的今天，上述几种技术已经不能满足市场需要。一种透过极高、隔热性能良好的low-e已经是市场所期待的产品。
实用新型内容
[0011]本实用新型要解决的问题是提供一种新型多功能低辐射玻璃，能够提高玻璃的整体透过率，提高玻璃的生产效率，有效解决光污染的问题。
[0012]为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是:一种新型多功能低辐射玻璃，包括玻璃基片和功能膜层，所述功能膜层包括YZO膜层和Ag层，其中，YZO膜层指的是氧化锌掺乾膜层，且其厚度在8.2nm?54.3nm之间。
[0013]其中，所述YZO膜层是以YZO陶瓷靶为原材料，通过磁控溅射方法制备而成，制备过程中真空度达到4?8X 10_3mbar后，使用中频交流电源溅射YZO陶瓷靶制备YZO膜层，其中YZO陶瓷靶中的Y2O3的质量分数为1-3%，Al2O3的质量分数为0%-1%，其余成分为ZnO，且其中的Y203、ZnO以及Al2O3的纯度分别为99.99%以上。Al2O3可以改善YZO陶瓷靶的导电性，但是靶材中掺入较多的Al2O3时，膜层的可见光透过率相对于常用的AZO膜层改善不大。但是，YZO膜层可以使用任何已知的现有YZO膜层材料进行替换，也可以达到相同的技术效果，解决技术问题。
[0014]进一步，所述功能膜层由SiNx/YZ0/Ag/YZ0/SiNx膜层结构组成，其中各膜层的厚度依次为 36.lnm、8.5nm、9.3nm、8.2nm、29.3nm。
[0015]进一步，所述功能膜层由所述功能膜层由SiNx/ZnA10x/Ag/YZ0/SiNx/ZnA10x/Ag/NiCr/SiNx膜层结构组成，其中各膜层的厚度依次为16.7nm、17.7nm、7.5nm、15.8nm、14.lnm、52.7nm> 12.9nm、l.2nm> 18.8nm。
[0016]进一步，所述功能膜层SnZn0/ZnA10x/Ag/YZ0/ZnA10x/Ag/YZ0/SiNx 膜层结构组成，其中各膜层的厚度依次为 22.4nm、17.7nm、8.3nm、54.3nm、14.lnm、ll.2nm、8.lnm、18.0nm。
[0017]本实用新型具有的优点和积极效果是:本实用新型提供的新型多功能低辐射玻璃的反射率较低，能有效的解决光污染的现象；能够提高玻璃的整体透过率，而且通用性强，可以在80%的主流膜系中使用；ΥΖ0陶瓷靶溅射效率快，能提高玻璃生产效率；该YZO陶瓷靶不容易出现结瘤等问题^YZO陶瓷靶在无明显串气的情况下，不会出现靶中毒现场。
【专利附图】
【附图说明】
[0018]图1是实施例一中使用YZO时的低辐射玻璃的透过光谱图；
[0019]图2是实施例一中使用AZO时的低辐射玻璃的透过光谱图；
[0020]图3是实施例二中使用YZO时的低辐射玻璃的透过光谱图；
[0021]图4是实施例二中使用AZO时的低辐射玻璃的透过光谱图；
[0022]图5是实施例三中的低辐射玻璃的反射光谱图；
[0023]图6是实施例三中的低辐射玻璃的透过光谱图；
[0024]图7是实施例一中使用YZO时的低辐射玻璃的简单结构示意图；
[0025]图8是实施例二中使用YZO时的低辐射玻璃的简单结构示意图；
[0026]图9是实施例三中使用YZO时的低辐射玻璃的简单结构示意图；
[0027]1、SiNx 膜层；2、YZO 膜层；3、Ag 膜层；4、ZnAlOx 膜层；5、NiCr 膜层；6、SnZnO 膜层；
【具体实施方式】
[0028]实施例一
[0029]一种新型多功能低辐射玻璃，其特征在于:所述功能膜层由SiNx/YZ0/Ag/YZ0/SiNx膜层结构组成。其中功能膜层中各膜层的厚度依次为36.lnm、8.5nm、9.3nm、8.2nm、29.3nm。
[0030]如图1所示，由测量的玻璃透过光谱得出，本实施例中低辐射玻璃在使用YZO膜层的情况下，透过率为85%。
[0031]将上述其它膜层和厚度不变，将YZO膜层用AZO膜层替换，如图2所示，透光率降低为80%。
[0032]经过试验证明，使用YZO膜层能使玻璃透过率升高约5个百分点，而且用此方法制备镀膜玻璃电阻率为6.0X 10_4Ω，且该玻璃经过钢化后电阻率下降至3.0-2.5Χ10_4Ω。
[0033]实施例二
[0034]一种新型多功能低辐射玻璃，其特征在于:所述功能膜层由所述功能膜层由SiNx/21^10!￡/^8八20/51队/21^10!￡/^8/附0/51队膜层结构组成。所述功能膜层中各膜层的厚度依次为 16.7nm> 17.7nm、7.5nm> 15.8nm> 14.lnm、52.7nm> 12.9nm、l.2nm> 18.8nm。
[0035]如图3所述，本实施中低辐射玻璃在使用YZO膜层的情况下，透过率为81%。
[0036]将上述其它膜层和厚度不变，将YZO膜层用AZO膜层替换，如图4所示，透光率降低为78%。
[0037]实施例三
[0038]—种新型多功能低福射玻璃，其特征在于:所述功能膜层由SnZn0/ZnA10x/Ag/YZ0/ZnA10x/Ag/YZ0/SiNx膜层结构组成，优选的，功能膜层中各膜层的厚度依次为22.4nm、
17.7nm、8.3nm、54.3nm、14.lnm、lL 2nm、8.lnm、18.0nm。
[0039]由图6所示，本实施例的低辐射玻璃的透过率为82%。
[0040]以上对本实用新型的实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本专利涵盖范围之内。
【权利要求】
1.一种新型多功能低辐射玻璃，包括玻璃基片和功能膜层，其特征在于:所述功能膜层包括YZO膜层和Ag层，其中，YZO膜层指的是氧化锌掺钇膜层，且其厚度在8.2nm?54.3nm 之间。
2.根据权利要求1所述的新型多功能低辐射玻璃，其特征在于:所述功能膜层由SiNx/YZ0/Ag/YZ0/SiNx膜层结构组成，其中各膜层的厚度依次为36.lnm、8.5nm、9.3nm、8.2nm、29.3nm。
3.根据权利要求1所述的新型多功能低辐射玻璃，其特征在于:所述功能膜层由SiNx/ZnA10x/Ag/YZ0/SiNx/ZnA10x/Ag/NiCr/SiNx膜层结构组成，其中各膜层的厚度依次为16.7nm> 17.7nm、7.5nm> 15.8nm> 14.lnm、52.7nm> 12.9nm、l.2nm> 18.8nm。
4.根据权利要求1所述的新型多功能低辐射玻璃，其特征在于:所述功能膜层由SnZn0/ZnA10x/Ag/YZ0/ZnA10x/Ag/YZ0/SiNx膜层结构组成，其中各膜层的厚度依次为22.4nm>17.7nm、8.3nm、54.3nm>14.lnm、ll.2nm、8.lnm>18.0nm0
【文档编号】B32B17/00GK204020102SQ201420037055
【公开日】2014年12月17日 申请日期:2014年1月20日 优先权日:2014年1月20日
【发明者】王勇, 王烁, 胡冰, 刘双, 童帅 申请人:天津南玻节能玻璃有限公司, 天津南玻工程玻璃有限公司中国南玻集团股份有限公司