专利名称：曝光设备的冷却装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种曝光设备的冷却装置。
本实用新型的目的就是要解决现有技术的不足，提供一种能不受气候影响，可准确控制冷却水温度的冷却装置。
本实用新型的目的是通过下述的技术方案予以实现。
本实用新型曝光设备的冷却装置，包括电磁阀1、膨胀阀2、板式换热器3、水箱5、水泵6、曝光灯管夹套7、制冷装置8，所述的制冷装置8的制冷剂出口由管路依次与电磁阀1、膨胀阀2、板式换热器3的内进口、内出口和蒸发压力调节阀4连接后接回制冷装置8，形成一制冷剂回路；所述的水泵6从水箱5吸水并经管路与曝光灯管夹套7的进水口连接，曝光灯管夹套7的出水口与板式换热器3的外进口连接，板式换热器3的外出水口接回水箱5；由水箱5、水泵6、曝光灯管夹套7、板式换热器3及连接水管组成一水循环回路。
本实用新型中的制冷装置8，是由压缩机9、冷凝器10、阀门等组成，板式换热器3是一种高效换热器；制冷剂管路中包括电磁阀1、膨胀阀2、蒸发压力调节阀4等控制制冷剂开、关大小的元件，设备中的温控装置主要是通过对水箱5中水温的测定，与设定温度信号的对比，发出调整指令来控制制冷剂管路中的控制元件。
本实用新型与现有技术相比，具有水温控制准确，可以将水温有效控制在19-25摄氏度；从而使曝光产品质量稳定。
在
图1中，可以看到，水泵6从水箱5吸水并经管路与曝光灯管夹套7的进水口连接，冷水在曝光灯管夹套7中被加热，热水由曝光灯管夹套7的出水口经管路流向板式换热器3的外进水口，热水在板式换热器3中与制冷剂进行热交换，降温后的水流回水箱5；由水箱5、水泵6、曝光灯管夹套7、板式换热器3及连接它们的管路组成一水循环回路。由于制冷剂与水在板式换热器3中进行热交换不受外界气候的影响，通过控制制冷剂流量的大小，可准确的控制水箱的水温，使曝光灯在恒定的温度下工作，达到稳定曝光产品质量的目的。
权利要求1.一种曝光设备的冷却装置，包括电磁阀(1)、膨胀阀(2)、板式换热器(3)、蒸发压力调节阀(4)、水箱(5)、水泵(6)、曝光灯管夹套(7)、制冷装置(8)，其特征是所述的制冷装置(8)的制冷剂出口由管路依次与电磁阀(1)、膨胀阀(2)、板式换热器(3)的内进口、内出口和蒸发压力调节阀(4)连接后接回制冷装置(8)；所述的水泵(6)从水箱(5)吸水并经管路与曝光灯管夹套(7)的进水口连接，曝光灯管夹套(7)的出水口与板式换热器(3)的外进口连接，板式换热器(3)的外出口接回水箱(5)；由水箱(5)、水泵(6)、曝光管夹套(7)、板式换热器(3)及连接它们管路组成一水循环回路。
专利摘要本实用新型公开了一种曝光设备的冷却装置，旨在提供一种能使曝光灯管冷却水箱水温恒定，使曝光灯之能量输出稳定，达到曝光过程的产品质量稳定。其技术方案的要点是制冷装置经由管路与板式换热器连接，组成一制冷剂回路；由水箱、水泵、曝光灯管夹套、板式换热器及连接它们的管路组成一水循环回路。通过温度控制装置发出控制指令，适时的控制制冷剂回路中的控制元件，从而达到准确地控制水温的目的。本实用新型用于曝光设备中曝光管的水冷却系统。
文档编号G03F7/20GK2574075SQ0224860
公开日2003年9月17日 申请日期2002年10月14日 优先权日2002年10月14日
发明者梁茂忠 申请人:志圣科技(广州)有限公司